特許 6248612 マーカー付き光導波路

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6248612

(24)【登録日】2017年12月1日

(45)【発行日】2017年12月20日

(54)【発明の名称】マーカー付き光導波路

(51)【国際特許分類】

   G02B 6/122 20060101AFI20171211BHJP

【ＦＩ】

   G02B6/122

【請求項の数】13

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-265889(P2013-265889)

(22)【出願日】2013年12月24日

(65)【公開番号】特開2015-121704(P2015-121704A)

(43)【公開日】2015年7月2日

【審査請求日】2016年11月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004455

【氏名又は名称】日立化成株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100078732

【弁理士】

【氏名又は名称】大谷 保

(74)【代理人】

【識別番号】100119666

【弁理士】

【氏名又は名称】平澤 賢一

(74)【代理人】

【識別番号】100125092

【弁理士】

【氏名又は名称】佐藤 玲太郎

(72)【発明者】

【氏名】酒井 大地

(72)【発明者】

【氏名】黒田 敏裕

【審査官】 岸 智史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１９５４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／１０５４７０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開平０５−０９６０３４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００８−０２０７２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／００２０４９９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ６／１２−６／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

コアパターンと、
前記コアパターンを覆うクラッドと、
前記コアパターンの光路を変換させる光路変換ミラーと、
前記クラッドに形成されたマーカー用空隙部と、を備えたマーカー付き光導波路であって、
前記マーカー用空隙部は、前記コアパターンの光軸方向が上下方向となるように前記マーカー付き光導波路を置いて、前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射する方向から又は前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射される方向と逆の方向から前記マーカー用空隙部を観察した場合に、前記マーカー用空隙部が左右非対称となる形状又は位置に形成された、マーカー付き光導波路。

【請求項2】

前記クラッドは、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドとを有し、
前記マーカー用空隙部は、前記上部クラッドに形成されている、請求項１に記載のマーカー付き光導波路。

【請求項3】

前記マーカー用空隙部は、前記積層方向において、前記上部クラッドと前記下部クラッドに連通する、請求項２に記載のマーカー付き光導波路。

【請求項4】

前記クラッドは、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドと、前記上部クラッドに積層された有色感光性クラッドとを有し、
前記マーカー用空隙部は、前記有色感光性クラッドに形成されている、請求項１に記載のマーカー付き光導波路。

【請求項5】

前記クラッドは、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドＡと、前記上部クラッドＡに積層された別の上部クラッドＢとを有し、
前記マーカー用空隙部は、前記上部クラッドＢに形成されている、請求項１に記載のマーカー付き光導波路。

【請求項6】

前記クラッドに積層された透過性基板を備え、
前記透過性基板は、前記マーカー用空隙部を塞ぐ、請求項１から５のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項7】

前記積層方向から観察した場合において、前記光軸方向における、前記光路変換ミラーと前記マーカー用空隙部との間の距離がロケーション番号と関連付けられている、請求項１から６のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項8】

前記マーカー用空隙部は、前記積層方向から観察した場合において、前記コアパターンに重ならない位置に形成されている、請求項１から６のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項9】

左右非対称を判断する対称軸を、前記コアパターンが左右対称となる位置とする請求項１〜８のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項10】

前記クラッドは、前記マーカー用空隙部とは別の空間部を有し、
前記光路変換ミラーは、前記空間部の内部に露出する位置に形成され、
前記積層方向から観察した場合において、前記光軸方向における、前記空間部と前記マーカー用空隙部との間の距離がロケーション番号と関連付けられている、請求項７に記載のマーカー付き光導波路。

【請求項11】

前記マーカー用空隙部の形状は、前記積層方向から観察した場合において、ロケーション番号と関連付けられている、請求項１から１０のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項12】

前記積層方向から観察した場合における前記マーカー用空隙部の形状は、円、多角形、楕円、星形、又は、これらの組み合わせである、請求項１から１１のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【請求項13】

前記マーカー用空隙部は、フォトリソグラフィー加工によって形成されてなる、請求項１から１２のいずれかに記載のマーカー付き光導波路。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表裏が分かるマーカー付き光導波路に関する。

【背景技術】

【0002】

情報容量の増大に伴い、幹線やアクセス系といった通信分野のみならず、ルータやサーバ内の情報処理や、民生機器ではパソコン、携帯電話にも光信号を用いる光インターコネクション技術の開発が進められている。光伝送路としては、光ファイバに比べ、配線の自由度が高く、かつ高密度化が可能な光導波路を用いることが望ましく、中でも加工性や経済性に優れたポリマー材料を用いた光導波路が有望である。
また、光導波路基板垂直方向から光信号を入力又は出力するために、光導波路基板平行方向に配線された光導波路コアパターンに光信号の光路を変換する光路変換ミラーを設けることも一般的に行われている（特許文献１）。

【0003】

この光路変換ミラーを有する光導波路は、光信号の入出力をする側が定まっているので、実装基板等に設置する際には、光導波路の表面や裏面を正しい向きにして設置する必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００１−２０１６４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、クラッドの積層方向から観察した場合において、光導波路自体が明確に左右非対称の形状であると、その光導波路の表裏を簡単に区別することもできるが、一般に、光導波路は長方形や台形等の左右対称又はほぼ左右対称の形状に形成されていることが多く、この場合、その光導波路の表裏を簡単に区別することは難しいという課題がある。
さらに、光導波路は、その大きさも小さく、また、外観が表面と裏面との区別がし難い略対称形状を有しているので、一見して表面と裏面とを区別することが難しい。特に、光導波路の材料が透過性材料で形成されていると、コアパターン等でマーカーを形成しても、視認性が殆ど向上しないので、表面と裏面とを区別することは難しいという課題がある。

【0006】

本発明の目的は、前記の課題を解決するためになされたもので、光導波路の表裏を簡単に区別することができるマーカー付き光導波路を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明者は、上記課題に対して、クラッドに左右非対称の視認可能なマーカーを設けることで、前記課題を解決し得ることを見出した。本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。

【0008】

本発明に係るマーカー付き光導波路は、コアパターンと、前記コアパターンを覆うクラッドと、前記コアパターンの光路を変換させる光路変換ミラーと、前記クラッドに、好ましくは視認可能に、形成されたマーカー用空隙部と、を備える。前記マーカー用空隙部は、前記コアパターンの光軸方向を上下方向となるように前記マーカー付き光導波路を置いて、前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射する方向から又は前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射される方向と逆の方向から前記マーカー用空隙部を観察した場合に、左右非対称となる形状又は位置に形成されている。本発明における、前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射する方向とは、光路変換されて光が出射される面を視認でき、該光が出射される面と視認方向のなす角が、本発明におけるマーカー用間隙部を視認可能な０超〜９０°の範囲内を指す。また、前記コアパターンを伝搬する光が前記光路変換ミラーによって光路変換されて出射される方向と逆の方向とは、光路変換されて光が出射される面と略平行な裏面であって、該裏面と視認方向のなす角が、本発明におけるマーカー用間隙部を視認可能な０超〜９０°の範囲内を指す。

【0009】

マーカー付き光導波路のうちマーカー用空隙部以外の部分が長方形や台形等の左右対称又はほぼ左右対称の形状に形成されていても、その部分の対称軸は容易に把握することができるので、その部分の対称軸を左右非対称を判断する対称軸とし、マーカー用空隙部がその部分の対称軸に対して左右非対称となる形状又は位置に形成されていることを把握することは容易である。
また、マーカー付き光導波路のうちコアパターンは、クラッドの積層方向から比較的容易に把握することができるので、そのコアパターンに基づいて左右非対称を判断する対称軸を設定し、マーカー用空隙部がその対称軸に対して左右非対称となる形状又は位置に形成されていることを把握することは容易である。例えば、コアパターンが３本形成されている場合は、その中央のコアパターンの中心軸を、左右非対称を判断する対称軸してもよいし、４本形成されている場合は、その中央の２本のコアパターンの間に、左右非対称を判断する対称軸となる中心軸を設定してもよい。
前記コアパターンは、光路変換ミラーの近傍のものとすることができる。
このように、コアパターンの光軸方向を上下方向となるようにマーカー付き光導波路を置いて、クラッドの積層方向からマーカー用空隙部を観察した場合に、左右非対称を判断する対称軸に対して、マーカー用空隙部が非対称となる形状に形成されたり、非対称な位置に視認可能なマーカー用空隙部があったりするので、光導波路の裏表を容易に認識できる。

【0010】

前記クラッドは、一般に、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドとを有する。前記マーカー用空隙部は、前記上部クラッドに形成されたマーカー用上部空隙部であってもよい。
そのようにすることにより、上部クラッドにマーカー用空隙部が形成されるので、マーカー用空隙部の形成を光路変換ミラーの開口部の形成と同時に行うことができる。
マーカー用空隙部は、内部が空洞であるから、クラッドとマーカー用空隙部との屈折率差を大きく確保することができ、視認性を向上させることができる。

【0011】

前記マーカー用空隙部は、前記積層方向において、前記マーカー用上部空隙部前記下部クラッドに形成されたマーカー用下部空隙部が連通するマーカー用空隙部であってもよい。
そのようにすることにより、下部クラッドにもマーカー用空隙部が形成されるので、より視認しやすい、深いマーカー用空隙部を形成することができる。

【0012】

前記クラッドは、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドと、前記上部クラッドに積層された有色感光性クラッドとを有し、前記マーカー用空隙部は、前記有色感光性クラッドに形成してもよい。
そのようにすることにより、マーカー用空隙部の周囲が有色になるので、マーカーの視認性を向上させることができる。

【0013】

前記クラッドに積層された透過性基板を備え、前記透過性基板は、前記マーカー用空隙部を塞ぐようにしてもよい。
そのようにすることにより、マーカー用空隙部への異物の侵入を阻止することができる。なお、マーカー用空隙部を覆っている基板が透過性基板なので、マーカー用空隙部の視認性は損なわない。

【0014】

前記クラッドは、前記コアパターンが積層された下部クラッドと、前記コアパターンを覆うように前記下部クラッドに積層された上部クラッドＡと前記上部クラッドＡに積層された別の上部クラッドＢを有し、前記マーカー用空隙部は、前記上部クラッドＢに形成されたマーカー用空隙部を有し、前記別の上部クラッドＢのその上は、前記マーカー用空隙部が塞がれるような層が形成されていてもよい。
そのようにすることにより、マーカー用空隙部への異物の侵入を阻止することができる。

【0015】

前記積層方向から観察した場合において、非対称となる対称軸方向における、前記光路変換ミラーと前記マーカー用空隙部との間の距離がロケーション番号と関連付けられていてもよいし、また、前記マーカー用空隙部の形状は、前記積層方向から観察した場合において、ロケーション番号と関連付けられていてもよい。
そのようにすることにより、マーカー付き光導波路のロッドの管理をすることができる。

【0016】

前記クラッドは、前記マーカー用空隙部とは別に、空間部を有し、前記光路変換ミラーは、前記空間部の内部に露出する位置に形成され、前記積層方向から観察した場合において、前記対称軸方向における、前記空間部と前記マーカー用空隙部との間の距離がロケーション番号と関連付けられていてもよい。前記空間部は、中空状であってもよい。
そのようにすることにより、マーカー付き光導波路のロッドの管理をすることができる。さらに、視認容易な空間部を計測の基準とすることができるので、前記空間部とマーカー用空隙部との間の距離を容易に測定することができる。

【0017】

前記積層方向から観察した場合における前記マーカー用空隙部の形状は、円、多角形、楕円、星形、又は、これらの組み合わせであってもよい。ここでの組み合わせとは、それらの複合形状や、複数の独立したマーカー用空隙部を「組」とみなした飛び地状等を含む。
そのようにすることにより、マーカー用空隙部の形状は、他の部品の形状とは異なる形状となるので、マーカー用空隙部の視認性を向上させることができる。

【0018】

前記マーカー用空隙部は、フォトリソグラフィー加工によって形成してもよい。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、コアパターンの光軸方向を上下方向となるようにマーカー付き光導波路を置いて、クラッドの積層方向からマーカー用空隙部を観察した場合に、マーカー用空隙部が左右非対称となる形状又は位置に形成されているので、マーカー付き光導波路の表裏を簡単に区別することができるマーカー付き光導波路を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明に係る第１実施形態のマーカー付き光導波路の一部を省略した正面図である。

【図2】図１に示したマーカー付き光導波路のＸ−Ｘにおける一部を省略した断面図である。

【図3】本発明に係る第２実施形態のマーカー付き光導波路の一部を省略した断面図である。

【図4】本発明に係る第３実施形態のマーカー付き光導波路の一部を省略した断面図である。

【図5】本発明に係る第４実施形態のマーカー付き光導波路の一部を省略した正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
［第１の実施形態］
図１及び図２に示すように、マーカー付き光導波路１０は、基板１５と、コアパターン２０と、コアパターン２０を覆うように、基板１５に積層されたクラッド３０と、コアパターン２０の光路を変換させる光路変換ミラー４０と、クラッド３０に視認可能に形成されたマーカー用空隙部５０とを備える。
クラッド３０には、透過性の上部基板（透過性基板）６０が積層されている。
クラッド３０は中空状の空間部７０を有し、また、光路変換ミラー４０は空間部７０の内部に露出する位置に形成されている。

【0022】

基板１５には、クラッド３０が載置される。基板１５の材質としては、特に限定はないが、クラッド３０に接着性がある場合、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム、電気配線板等が挙げられる。基板１５とクラッド３０とを接合させることによってクラッド３０に強靭性を持たせることができるため、基板１５は設置することが好ましいが、基板１５は省略してもよい。

【0023】

クラッド３０は、コアパターン２０が積層された下部クラッド３２と、コアパターン２０を覆うように下部クラッド３２に積層された上部クラッド３４とを有する。
クラッド３０は、特に限定されないが、例えば以下の方法で形成される。基板１５上に積層された平面状の下部クラッド３２の上面に、シート状にコア層を積層した後、そのコア層の一部をフォトリソグラフィー加工によって除去して、コアパターン２０に形成する。そして、そのコアパターン２０上に、コアパターン２０のうち光路変換ミラー４０の近傍が露出し、かつ、それ以外のコアパターン２０が埋め込まれるように、上部クラッド３４を積層して、中空状の空間部７０が形成されたクラッド３０が形成される。

【0024】

コアパターン２０は、上部クラッド３４の内部に埋め込まれることにより、周囲がクラッド３０によって覆われることになる。光信号の閉じ込めの観点から、クラッド３０は、コアパターンの各コアの上下左右に５μｍ以上の厚さがあると良く、特に、省スペース・低背化の観点、及びハンドリング性の観点から、コアパターンの上下にそれぞれ５μｍ〜１００μｍの厚さのクラッド層があれば良く、１０μｍ〜５０μｍであるとなお良い。

【0025】

下部クラッド３２、上部クラッド３４は、コアパターン２０を形成する材料よりも屈折率が低い材料で形成されば特に限定されず、各種樹脂材料等を使用するが、下部クラッド３２は、基板１５上に積層形成する場合には、基板１５と接着力のあるものを用いるとよい。ただし、下部クラッド３２が基板１５に対して接着できない場合には、基板１５としては接着層付きの基板を用いるとよい。下部クラッド３２は、光信号の閉じ込めの観点から、５μｍ以上の厚さがあればよく、積層後の厚さ均一性の観点から１００μｍ以下であると良い。
また、上部クラッド３４は、上部基板６０の接着層６４が接着するような材料によって形成されればよい。
また、コアパターン２０は、クラッド３０よりも屈折率が高く、パターンを形成し得る材料で形成されれば特に限定されないが、上記したようにフォトリソグラフィー加工によりパターン化する場合には、フォトリソグラフィー加工可能な材料であると良く、感光性樹脂組成物であるとより好ましい。

【0026】

光路変換ミラー４０は、コアパターン２０と光の送受が可能なように空間部７０内に配置されている。
光路変換ミラー４０は、コアパターン２０を伝搬する光信号を基板１５がある方向に光路変換させたり、基板１５の垂直方向（積層方向Ｚ）からの光信号を伝搬方向αに光路変換させたりすることができるよう、コアパターン２０を一体的に削られて形成されたＶ溝の傾斜面に形成されている。
光路変換ミラー４０は、３５〜５５°の斜面であることが好ましく、４５°の斜面であることがより好ましい。また、光路変換ミラー４０に蒸着装置を用いて、金等の金属を蒸着し、反射金属層を備えた光路変換ミラー４０としてもよい。
光路変換ミラー４０の傾斜面の形成方法は、下部クラッド３２にコアパターン２０を形成した後に、上部クラッド３４を形成する前に、そのコアパターン２０を、ダイシングソーを用いて切削する方法や、レーザアブレーションを用いて加工する方法が挙げられるが、角度制御の観点からダイシングソーによる加工方法がより好適である。

【0027】

図１に示すように、マーカー付き光導波路１０をコアパターン２０の光軸方向（α方向）を上下方向として置いた場合、左右非対称を判断する対称軸Ｓは、マーカー付き光導波路１０のうちマーカー用空隙部５０以外の部分の対称軸（マーカー付き光導波路１０の左右の幅方向に対称な対称軸）であり、また、マーカー付き光導波路１０の左右の幅の中央であるからみた対称軸としても、３つのコアパターン２０が左右対称となる対称軸である。
マーカー用空隙部５０は、光路変換ミラー４０の近傍に形成され、対称軸Ｓとした場合において、クラッド３０の積層方向Ｚからみて非対称となる位置に形成されている。
マーカー用空隙部５０は、上部クラッド３４に形成されたマーカー用上部空隙部５２を有する。
マーカー用空隙部５０は、積層方向Ｚにおいて、マーカー用上部空隙部５２に連通する、下部クラッド３２に形成されたマーカー用下部空隙部５４を有する。

【0028】

なお、マーカー用空隙部５０は、下部クラッド３２及び上部クラッド３４に形成されているが、コアパターン２０には形成されていないので、コアパターン２０に光伝達性能は維持されている。
マーカー用空隙部５０は、レーザー加工等で形成してもよいし、フォトリソグラフィー加工で加工してもよい。マーカー用空隙部５０をフォトリソグラフィー加工で加工すると、マーカー用空隙部５０はコアパターンとの高精度な位置合わせが可能であり、また、加工くず等の異物がマーカー用空隙部５０を汚染することを抑制することが出来るため、好ましい。

【0029】

上部基板６０は、上部基板本体６２と接着層６４とを備え、マーカー用空隙部５０を塞ぐように、上部クラッド３４に積層されている。マーカー用空隙部５０は、上部基板６０によって塞がれているので、マーカー用空隙部５０の内部に異物が浸入することがない。

【0030】

上部基板本体６２は、変形が容易な樹脂で形成された板状の基材で形成され、また、透過性のある材料で形成されている。上部基板本体６２は、例えば、柔軟性及び強靭性のあるフレキシブル基板を用いることが好ましい。

【0031】

上部基板本体６２の材質としては、特に制限はなく、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム等が挙げられる。
上部基板本体６２の厚さは、５μｍ〜５００μｍであることが好ましい。上部基板本体６２が容易に変形するよう、上部基板本体６２の厚さは、１０μｍ〜５０μｍであることが好ましい。

【0032】

以上のマーカー付き光導波路１０は、クラッドの積載方向Ｚからみて、非対称な位置に視認可能なマーカー用空隙部５０があるので、マーカー付き光導波路１０の裏表を容易に認識できる。

【0033】

また、下部クラッド３２や上部クラッド３４にマーカー用空隙部５０が形成されるので、視認しやすい、深いマーカー用空隙部５０を形成することができる。
また、上部クラッド３４にマーカー用空隙部５０を形成することができるので、マーカー用空隙部５０の形成を光路変換ミラー４０の空間部７０の形成と同時に行うことができる。
マーカー用空隙部５０は、内部を空洞にすることができるので、クラッド３０とマーカー用空隙部５０との屈折率差を大きく確保することができ、マーカー用空隙部５０の視認性を向上させることができる。
さらに、マーカー用空隙部５０の上下の開口を、基板１５と上部基板６０とで塞いでいるので、マーカー付き光導波路１０の両表面は平坦となり、異物のトラップや光導波路の破断を抑制することができる。

【0034】

また、積層方向Ｚから観察した場合において、対称軸Ｓ方向における、光路変換ミラー４０とマーカー用空隙部５０との間の距離を、ロケーション番号に関連付けることができるし、また、マーカー用空隙部５０の形状を、積層方向Ｚから観察した場合において、ロケーション番号に関連付けることもできる。例えば、形成する開口部５０の数をロケーション番号に応じた数にしたり、複数の開口部５０間の距離をロケーション番号に応じた距離にしたり、開口部５０の形状をロケーション番号に応じた形状にさせたりすることができる。
このように、マーカー付き光導波路１０は、その表裏を簡単に区別することができる。

【0035】

［第２の実施形態］
図３に示すように、マーカー付き光導波路１０ａは、下部クラッド３２にマーカー用下部空隙部５４が形成されていない点以外は、マーカー付き光導波路１０と同じである。

【0036】

マーカー付き光導波路１０ａは、マーカー用空隙部５０をマーカー用上部空隙部５２のみで形成しているので、その内部空間は、マーカー付き光導波路１０のマーカー用空隙部５０よりも小さい。このため、マーカー用上部空隙部５２の内部の空気の膨張の影響を小さくすることができる。

【0037】

［第３の実施形態］
図４に示すように、マーカー付き光導波路１０ｂは、上部基板６０が積層されていない点以外は、マーカー付き光導波路１０ａと同じである。
基板１５の強度が充分高い場合、上部基板６０の積層を省略して、マーカー用上部空隙部５２を開口にすることができる。このため、マーカー付き光導波路１０ｂの厚さを薄くすることができる。

【0038】

［第４の実施形態］
図５に示すように、マーカー付き光導波路１０ｃは、上部基板６０とクラッドＡ ３０との間に別の上部クラッドＢ ３６を積層し、上部クラッド３４Ａ にマーカー用上部空隙部５２を形成せずに、別の上部クラッドＢ ３６にマーカー用第２上部空隙部（マーカー用別の上部空隙部）５６を形成したこと以外は、マーカー付き光導波路１０ａと同じである。
つまり、マーカー付き光導波路１０ｃは、クラッド３０に積層された別の上部クラッドＢ ３６を有し、マーカー用空隙部５０は、別の上部クラッドＢ ３６に形成されたマーカー用第２上部空隙部５６を有し、別の上部クラッド３６は、マーカー用空隙部５０を塞ぐようにしている。これにより、マーカー用空隙部５０への異物の侵入を阻止することができる。
このとき、別の上部クラッド３６とコアパターン２０とが互いに直接接触しない場合、別の上部クラッドＢ ３６は、透明性がなく着色していてもよいし、コアパターン２０よりも低いか同等の屈折率を有してもよい。

【0039】

別の上部クラッドＢ ３６は、上部クラッドＡ ３４や下部クラッド３２とは異なる感光層であることが好ましい。これにより、別の上部クラッドＢ ３６に形成されたマーカー用第２上部空隙部５６の視認性を向上させることができる。

【0040】

［その他の実施形態］
積層方向Ｚから観察した場合におけるマーカー用空隙部５０の形状は、円、多角形、楕円、星形、又は、これらの組み合わせであってもよい。このようにすることにより、マーカー用空隙部の形状は、他の部品の形状とは異なる形状となるので、マーカー用空隙部５０の視認性を向上させることができる。
また、マーカー用空隙部５０の数は１つでもよいし、複数であってもよい。
また、マーカー用空隙部５０は、光路変換ミラー４０の近傍のコアパターン２０を対称軸とした場合において、クラッドの積層方向Ｚからみて非対称となる形状又は位置に形成されていればよい。

【実施例】

【0041】

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されない。

【0042】

実施例１
＜クラッド層形成用樹脂フィルムの作製＞
［（Ａ）（メタ）アクリルポリマー（ベースポリマー）の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと、及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部及び乳酸メチル２３質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。液温を６５℃に上昇させ、メチルメタクリレート４７質量部、ブチルアクリレート３３質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１６質量部、メタクリル酸１４質量部、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部、及び乳酸メチル２３質量部の混合物を３時間かけて滴下後、６５℃で３時間撹拌し、さらに９５℃で１時間撹拌を続けて、（Ａ）（メタ）アクリルポリマーの溶液（固形分４５質量％）を得た。

【0043】

［重量平均分子量の測定］
（Ａ）（メタ）アクリルポリマーの重量平均分子量（標準ポリスチレン換算）をＧＰＣ（東ソー株式会社製「ＳＤ−８０２２」、「ＤＰ−８０２０」、及び「ＲＩ−８０２０」）を用いて測定した結果、３．９×１０⁴であった。なお、カラムは日立化成工業株式会社製「Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ａ１５０−Ｓ」及び「Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ａ１６０−Ｓ」を使用した。

【0044】

［酸価の測定］
（Ａ）（メタ）アクリルポリマーの酸価を測定した結果、７９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。なお、酸価は（Ａ）（メタ）アクリルポリマー溶液を中和するのに要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。

【0045】

［クラッド層形成用樹脂ワニスの調合］
ベースポリマーとして、前記（Ａ）（メタ）アクリルポリマー溶液（固形分４５質量％）８４質量部（固形分３８質量部）、（Ｂ）光硬化成分として、ポリエステル骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ｕ−２００ＡＸ」）３３質量部、及びポリプロピレングリコール骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（新中村化学工業株式会社製「ＵＡ−４２００」）１５質量部、（Ｃ）熱硬化成分として、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型三量体をメチルエチルケトンオキシムで保護した多官能ブロックイソシアネート溶液（固形分７５質量％）（住化バイエルウレタン株式会社製「スミジュールＢＬ３１７５」）２０質量部（固形分１５質量部）、（Ｄ）光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・ジャパン株式会社製「イルガキュア２９５９」）１質量部、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（チバ・ジャパン株式会社製「イルガキュア８１９」）１質量部、及び希釈用有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３質量部を撹拌しながら混合した。孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製「ＰＦ０２０」）を用いて加圧濾過後、減圧脱泡し、クラッド層形成用樹脂ワニスを得た。

【0046】

＜クラッド層形成用樹脂フィルムの作製＞
上記で得られたクラッド層形成用樹脂ワニスを、支持フィルムであるＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製「コスモシャインＡ４１００」、厚さ５０μｍ）の非処理面上に、塗工機（マルチコーターＴＭ−ＭＣ、株式会社ヒラノテクシード製）を用いて塗布し、１００℃で２０分乾燥後、保護フィルムとして表面離型処理ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製「ピューレックスＡ３１」、厚さ２５μｍ）を貼付け、クラッド層形成用樹脂フィルムを得た。
このとき、クラッド層形成用樹脂ワニスより形成される樹脂層の厚さは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であり、その膜厚については後述する。

【0047】

＜コア層形成用樹脂フィルムの作製＞
（Ａ）ベースポリマーとして、フェノキシ樹脂（商品名：フェノトートＹＰ−７０、東都化成株式会社製）２６質量部、（Ｂ）光重合性化合物として、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン（商品名：Ａ−ＢＰＥＦ、新中村化学工業株式会社製）３６質量部、及びビスフェノールＡ型エポキシアクリレート（商品名：ＥＡ−１０２０、新中村化学工業株式会社製）３６質量部、（Ｃ）光重合開始剤として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名：イルガキュア８１９、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）１質量部、及び１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名：イルガキュア２９５９、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）１質量部、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４０質量部を用いたこと以外は上述のクラッド層形成用樹脂ワニスの調合と同様の方法及び条件でコア層形成用樹脂ワニスを調合した。その後、上記と同様の方法及び条件で加圧濾過さらに減圧脱泡した。
上記で得られたコア層形成用樹脂ワニスを、支持フィルムであるＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャインＡ１５１７、東洋紡績株式会社製、厚さ：１６μｍ）の非処理面上に、上記製造例と同様な方法で塗布乾燥し、次いで保護フィルムとして離型ＰＥＴフィルム（商品名：ピューレックスＡ３１、帝人デュポンフィルム株式会社、厚さ：２５μｍ）を離型面が樹脂側になるように貼り付け、コア層形成用樹脂フィルムを得た。
このとき、コア層形成用樹脂ワニスより形成される樹脂層の厚さは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であり、その膜厚については後述する。

【0048】

＜図４の光導波路の作製例＞
基板１５として１００ｍｍ×１００ｍｍのポリイミドフィルム（ポリイミド：カプトンＥＮ、厚さ；１２．５μｍ）を用い、上記で得られた１５μｍ厚さのクラッド層形成用樹脂フィルムの保護フィルムを剥離した後に、真空加圧式ラミネータ（株式会社名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１１０℃、加圧時間３０秒の条件にて加熱圧着して、ラミネートした。続いて、紫外線露光機（株式会社オーク製作所製、ＥＸＭ−１１７２）を用いて、クラッド層形成用樹脂フィルムの支持フィルム側から紫外線（波長３６５ｎｍ）を３Ｊ／ｃｍ²で照射した。その後、支持フィルムを剥離し、１７０℃で１時間加硬化した。下部クラッド３２の厚さは基板１上から１５μｍであった。

【0049】

次いで、上記で形成した下部クラッド３２形成面側から、上記で得られた４５μｍ厚さのコア層形成用樹脂フィルムを、保護フィルムを剥離した後に、ロールラミネータ（日立化成テクノプラント株式会社製、ＨＬＭ−１５００）を用い圧力０．４ＭＰａ、温度５０℃、ラミネート速度０．２ｍ／ｍｉｎの条件をラミネートし、次いで上記の真空加圧式ラミネータ（株式会社名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度７０℃、加圧時間３０秒の条件にて加熱圧着した。

【0050】

続いて、開口部（４５μｍ×９０ｍｍ、２５０μｍピッチで３本／組、各組間のピッチが１０ｍｍ、５組）を有するネガ型フォトマスクを介し、支持フィルム側から上記紫外線露光機を用いて、紫外線（波長３６５ｎｍ）を０．８Ｊ／ｃｍ²で照射し、次いで８０℃で５分間露光後加熱を行った。その後、支持フィルムであるＰＥＴフィルムを剥離し、現像液（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド＝８／２、質量比）を用いてエッチングした。続いて、洗浄液（イソプロパノール）を用いて洗浄し、１００℃で１０分間加熱乾燥し、コアパターン２０を形成した。得られたコアパターン２０の下部クラッド３２表面からの高さは４５μｍであった。また、コア幅は４５μｍであった。

【0051】

得られた光導波路のコアパターン２０形成面側から、ダイシングソー（ＤＡＣ５５２、株式会社ディスコ社製）を用いて対向した４５°の傾斜面からなる光路変換ミラー４０を２箇所（光路変換ミラー４０の間隔は５０ｍｍ）設けた。

【0052】

得られたコアパターン２０上から、上記で得られた７５μｍ厚さのクラッド層形成用樹脂フィルムを、保護フィルムを剥離した後に、真空加圧式ラミネータ（株式会社名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１１０℃、加圧時間３０秒の条件にて加熱圧着して、ラミネートした。
続いて、遮光部（光路変換ミラー４０上に２００μｍ×１ｍｍの遮光部、マーカー用空隙部を形成するためにφ１００μｍの遮光部が、３本のコアパターン２０の近傍に、かつ該コアパターン２０と同軸方向に１組目は２個、２組目は３個、Ｎ組目は（Ｎ＋１）個となるように、さらに３本のコアパターンを対称軸にして反対方向のミラー近傍にそれぞれ１個が配置される）を有するネガ型フォトマスクを位置合わせして、上記紫外線露光機を用いて、クラッド層形成用樹脂フィルムの支持フィルム側から紫外線（波長３６５ｎｍ）を３５０ｍＪ／ｃｍ²で照射し、その後、支持フィルムを剥離し、現像液（１％炭酸カリウム水溶液）を用いて、未硬化部の上部クラッド層形成用樹脂を除去し、次いで水洗浄を行い、さらに上記紫外線露光機を用いて３．０Ｊ／ｃｍ²照射し、１７０℃で１時間加熱乾燥及び硬化した。上部クラッド３４の厚さは下部クラッド３２表面から７５μｍであった。

【0053】

得られた光導波路を、矩形のダイシングブレードを備えたダイシングソー（ＤＡＣ５５２、株式会社ディスコ社製）を用いてマーカー用上部空隙部５２を内包するように、７０ｍｍ×８ｍｍに個片加工した。
得られたミラー付き光導波路は、Ｎ番目には（Ｎ＋１）個のマーカー用上部空隙部を有するため、ロケーションも明確であり、面視方向も容易に判断出来た。なお、上記マーカーは白色照明下で容易に視認出来た。

【0054】

実施例２
＜図３の光導波路の作製例＞
実施例１において、個片加工を行う前に、上部基板６０として、透明熱硬化型接着剤（厚さ１５μｍ）付きのポリイミドフィルム（厚さ１２．５μｍ）を用い、ロールラミネータ（日立化成テクノプラント株式会社製、ＨＬＭ−１５００）で圧力０．４ＭＰａ、温度５０℃、ラミネート速度０．２ｍ／ｍｉｎの条件をラミネートし、さらに１８０℃で１時間加熱した後に、個片加工を行った以外は同様の方法でミラー付き光導波路を作製した。
得られたミラー付き光導波路は、Ｎ番目には（Ｎ＋１）個のマーカー用上部空隙部を有するため、ロケーションも明確であり、面視方向も容易に判断出来た。なお、上記マーカーは白色照明下で容易に視認出来た。

【0055】

実施例３
＜図２の光導波路の作製例＞
実施例２において、下部クラッドとして１５μｍ厚さのクラッド層形成用樹脂フィルムラミネートした後に、実施例１で用いた上部クラッド形成用の遮光部を有するネガ型フォトマスクのうち、光路変換ミラー４０部近傍の遮光部を開口部にしたネガ型フォトマスクを介して、紫外線（波長３６５ｎｍ）を３５０ｍＪ／ｃｍ²で照射した。その後、支持フィルムを剥離し、現像液（１％炭酸カリウム水溶液）を用いて、未硬化の下部クラッド層形成用樹脂を除去し、次いで水洗浄を行い、さらに上記紫外線露光機を用いて３．０Ｊ／ｃｍ²照射し、１７０℃で１時間加熱乾燥及び硬化した以外は同様の方法でミラー付き光導波路を作製した。
得られたミラー付き光導波路は、Ｎ番目には（Ｎ＋１）個のマーカー用上部空隙部を有するため、ロケーションも明確であり、面視方向も容易に判断出来た。なお、上記マーカーは白色照明下で容易に視認出来た。

【0056】

実施例４
＜図５の光導波路の作製例＞
実施例２において、下部クラッド３２、及び上部クラッドＡ ３４にマーカー用の開口部を設けず（光路変換ミラー４０部の上部クラッドのみを開口）、上部クラッドＡ ３４まで形成した後に、別の上部クラッドＢ ３６として緑色に着色した１５μｍの感光性レジスト（日立化成株式会社製、商品名；フォテック）を上部クラッドＡ ３４に上記ロールラミネータを用いて積層し、実施例２の上部クラッドＡ ３４形成で用いたネガ型フォトマスクを用いて、紫外線（波長３６５ｎｍ）を３５０ｍＪ／ｃｍ²で照射した。その後、支持フィルムを剥離し、現像液（１％炭酸カリウム水溶液）を用いて、未硬化の別の上部クラッドＢ ３６を除去し、次いで水洗浄を行い、さらに上記紫外線露光機を用いて３．０Ｊ／ｃｍ²照射し、１７０℃で１時間加熱乾燥及び硬化してマーカー用第２上部空隙部５６を作製した。
得られたミラー付き光導波路は、Ｎ番目には（Ｎ＋１）個のマーカー用上部空隙部を有するため、ロケーションもより明確であり、面視方向も容易に判断出来た。なお、上記マーカーは白色照明下でより容易に視認出来た。

【産業上の利用可能性】

【0057】

以上詳細に説明したように、光導波路の表裏を簡単に区別することができるマーカー付き光導波路を得ることが出来る。このため、光信号伝搬用のデバイス、光路変換部品、光電変換部品等として有用である。

【符号の説明】

【0058】

Ｓ 対称軸
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 光導波路
１５ 基板
２０ コアパターン
３０ クラッド
３２ 下部クラッド
３４ 上部クラッド
３６ 別の上部クラッド
４０ 光路変換ミラー
５０ マーカー用空隙部
５２ マーカー用上部空隙部
５４ マーカー用下部空隙部
５６ マーカー用第２上部空隙部（マーカー用 別の上部空隙部）
６０ 上部基板
６２ 上部基板本体
６４ 接着層
７０ 空間部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】