特許6272842モリブデン研磨のための組成物および方法

発明の名称　モリブデン研磨のための組成物および方法

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6272842

公報発行日　2018年1月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6272842

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