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キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7929913 酸化ケイ素、窒化ケイ素及びポリシリコンの選択的及び非選択的CMP用のセリア系スラリー組成物 2026年10月 5日
特許 7922144 誘電体のCMPに使用される高分子量ポリマーを含むシリカ系スラリー組成物 2026年 9月15日
特許 7920448 硫黄含有アニオン性界面活性剤を含むタングステンCMP組成物 2026年 9月14日
特許 7909565 CMPスラリーの粒子分散を改善するための添加剤 2026年 8月21日
特許 7906942 ホウ素ドープポリシリコンを研磨するための組成物及び方法 2026年 8月18日
特許 7902929 アニオン性研磨剤を含むCMP組成物 2026年 8月10日
特許 7864687 二酸化チタン含有ルテニウム化学機械研磨スラリー 2026年 5月25日
特許 7864723 炭窒化ケイ素研磨組成物及び方法 2026年 5月25日
特許 7851243 酸化ケイ素及び炭素ドープ酸化ケイ素CMPのための組成物並びに方法 2026年 4月24日
特許 7839885 酸化ケイ素、窒化ケイ素及びポリシリコンの選択的及び非選択的CMP用のセリア系スラリー組成物 2026年 4月 2日
特許 7832212 高トポロジカル選択比のための自己停止ポリッシング組成物及び方法 2026年 3月17日
特許 7830317 選択的酸化物CMPのための組成物及び方法 2026年 3月16日
特許 7815420 ポリマー粒子を含むテクスチャ加工CMPパッド 2026年 2月17日
特許 7803851 ポリシリコンCMP用組成物および方法 2026年 1月21日

14 件中 1-14 件を表示

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7929913 7922144 7920448 7909565 7906942 7902929 7864687 7864723 7851243 7839885 7832212 7830317 7815420 7803851

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