特許6290275高度なＲＦ及び温度の均一性を備えた静電チャック

発明の名称　高度なＲＦ及び温度の均一性を備えた静電チャック

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（531件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（521件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6290275

公報発行日　2018年3月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6290275

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