特許6296145単結晶ウェーハの劈開方法、単結晶ウェーハの遷移金属汚染の評価方法、及び単結晶ウェーハ劈開用治具

発明の名称　単結晶ウェーハの劈開方法、単結晶ウェーハの遷移金属汚染の評価方法、及び単結晶ウェーハ劈開用治具

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 673 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 357 位（70件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6296145

公報発行日　2018年3月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6296145

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