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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6302786
(24)【登録日】2018年3月9日
(45)【発行日】2018年3月28日
(54)【発明の名称】蒸着装置、蒸着方法、及び有機ＥＬ素子の製造方法
(51)【国際特許分類】
C23C 14/24 20060101AFI20180319BHJP
H01L 51/50 20060101ALI20180319BHJP
H05B 33/10 20060101ALI20180319BHJP
【ＦＩ】
C23C14/24 C
H05B33/14 A
H05B33/10
【請求項の数】15
【全頁数】45
(21)【出願番号】特願2014-158220(P2014-158220)
(22)【出願日】2014年8月1日
(65)【公開番号】特開2016-35089(P2016-35089A)
(43)【公開日】2016年3月17日
【審査請求日】2017年5月1日
(73)【特許権者】
【識別番号】000005049
【氏名又は名称】シャープ株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】591065413
【氏名又は名称】キヤノントッキ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000040
【氏名又は名称】特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
(72)【発明者】
【氏名】越智 貴志
(72)【発明者】
【氏名】川戸 伸一
(72)【発明者】
【氏名】小林 勇毅
(72)【発明者】
【氏名】松永 和樹
(72)【発明者】
【氏名】菊池 克浩
(72)【発明者】
【氏名】市原 正浩
(72)【発明者】
【氏名】松本 栄一
【審査官】
村岡 一磨
(56)【参考文献】
【文献】
特開２０１４−０３７５６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１０−１５９４４８（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１２−１１１９７７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｃ２３Ｃ １４／００−１４／５８
Ｈ０１Ｌ ２７／３２
Ｈ０５Ｂ ３３／００ー３３／２８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の蒸着源と、
前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、
前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、
前記排気バルブに接続される排気ポンプと、
を具備する蒸着装置であって、
前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源が含まれ、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から交互に放出されることを特徴とする蒸着装置。
前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、
前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、
前記排気バルブに接続される排気ポンプと、
を具備する蒸着装置であって、
前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源が含まれ、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から交互に放出されることを特徴とする蒸着装置。
【請求項2】
前記第１の蒸着源は、第１のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続されている請求項１に記載の蒸着装置。
前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続されている請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項3】
複数の蒸着源と、
前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、
前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、
前記排気バルブに接続される排気ポンプと、
を具備する蒸着装置であって、
前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源と、アシスト材料の蒸着粒子を発生する第３の蒸着源が含まれ、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子と、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から順次放出されることを特徴とする蒸着装置。
前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、
前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、
前記排気バルブに接続される排気ポンプと、
を具備する蒸着装置であって、
前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源と、アシスト材料の蒸着粒子を発生する第３の蒸着源が含まれ、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子と、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から順次放出されることを特徴とする蒸着装置。
【請求項4】
前記第１の蒸着源は、第１のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第３の蒸着源は、第３のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続され、
前記第３のスイッチングバルブには、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子を排気するための第３の排気用ポンプが接続されている請求項３に記載の蒸着装置。
前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第３の蒸着源は、第３のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続され、
前記第３のスイッチングバルブには、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子を排気するための第３の排気用ポンプが接続されている請求項３に記載の蒸着装置。
【請求項5】
前記少なくとも１つの共通配管として、第１、第２、第３、及び第４の共通配管が設けられ、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源として、前記第１、第２、第３、及び第４の共通配管にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源が設けられ、
前記排気バルブとして、前記第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の排気バルブが設けられ、
前記第１の蒸着源は、第１及び第３のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第１の蒸着源は、第１及び第４のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続され、
前記第２の蒸着源は、第２及び第５のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第２の蒸着源は、第２及び第６のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続されている請求項１に記載の蒸着装置。
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源として、前記第１、第２、第３、及び第４の共通配管にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源が設けられ、
前記排気バルブとして、前記第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の排気バルブが設けられ、
前記第１の蒸着源は、第１及び第３のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第１の蒸着源は、第１及び第４のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続され、
前記第２の蒸着源は、第２及び第５のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第２の蒸着源は、第２及び第６のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続されている請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項6】
前記第１、第２、第３、及び第４の排気バルブには、１つの排気ポンプが接続されている請求項５に記載の蒸着装置。
【請求項7】
前記複数の各蒸着源と前記少なくとも１つの共通配管との間には、対応する蒸着源からの蒸着粒子の発生量をモニタするレートモニタが設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項8】
前記複数の各蒸着源には、坩堝と当該坩堝の内部を加熱するヒータとが含まれている請求項１〜７のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項9】
複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、前記排気バルブに接続される排気ポンプを備えた蒸着装置を用いて、基板上に蒸着粒子を付着させて被膜を形成する蒸着工程を行う蒸着方法であって、
前記蒸着工程では、第１及び第２の蒸着源にそれぞれ接続される第１及び第２のスイッチングバルブを交互に動作して、前記第１及び第２の蒸着源を交互に１つの共通配管に導通させることにより、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層と、ドーパント材料の蒸着粒子からなるドーパント材料層とを蒸着する、
ことを特徴とする蒸着方法。
前記蒸着工程では、第１及び第２の蒸着源にそれぞれ接続される第１及び第２のスイッチングバルブを交互に動作して、前記第１及び第２の蒸着源を交互に１つの共通配管に導通させることにより、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層と、ドーパント材料の蒸着粒子からなるドーパント材料層とを蒸着する、
ことを特徴とする蒸着方法。
【請求項10】
前記蒸着工程では、前記ホスト材料層を形成するホスト材料層形成工程と、前記ドーパント材料層を形成するドーパント材料層形成工程とが順次行われ、
前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程である請求項９に記載の蒸着方法。
前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程である請求項９に記載の蒸着方法。
【請求項11】
前記蒸着工程では、前記ホスト材料層を形成するホスト材料層形成工程と、前記ドーパント材料層を形成するドーパント材料層形成工程と、アシスト材料の蒸着粒子からなるアシスト材料層を形成するアシスト材料層形成工程とが順次行われ、
前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源と第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続
しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記アシスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程である請求項９に記載の蒸着方法。
前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源と第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続
しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記アシスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程である請求項９に記載の蒸着方法。
【請求項12】
前記蒸着工程は、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源から放出させる第１のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源から放出させる第２のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第４の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第１の
蒸着粒子放出源から放出させる第３のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第３の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第２の蒸着粒子放出源から放出させる第４のサブ蒸着工程を含んでいる請求項９に記載の蒸着方法。
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源から放出させる第１のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源から放出させる第２のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第４の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第１の
蒸着粒子放出源から放出させる第３のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第３の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第２の蒸着粒子放出源から放出させる第４のサブ蒸着工程を含んでいる請求項９に記載の蒸着方法。
【請求項13】
前記基板と、前記第１〜第４の蒸着粒子放出源のうち、隣接する２つの各蒸着粒子放出源との間には、制御板が形成され、
前記第１、第２、第３、及び第４の各サブ蒸着工程では、前記ホスト材料の蒸着粒子と前記ドーパント材料の蒸着粒子とが前記基板上で重ならないように、放出される請求項１２に記載の蒸着方法。
前記第１、第２、第３、及び第４の各サブ蒸着工程では、前記ホスト材料の蒸着粒子と前記ドーパント材料の蒸着粒子とが前記基板上で重ならないように、放出される請求項１２に記載の蒸着方法。
【請求項14】
前記第１、第２、第３、及び第４の各サブ蒸着工程では、前記ホスト材料の蒸着粒子と前記ドーパント材料の蒸着粒子とが前記基板上で重なるように、放出される請求項１２に記載の蒸着方法。
【請求項15】
請求項９〜１４のいずれかに記載の蒸着方法を用いて前記基板上に前記被膜を形成する蒸着工程を有することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板上に被膜を形成するための蒸着装置及び蒸着方法に関する。特に、本発明は、二種類以上の材料を共蒸着する蒸着装置及び蒸着方法に関する。また、本発明は、蒸着により形成された発光層等を有する有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、様々な商品や分野でフラットパネルディスプレイが活用されており、フラットパネルディスプレイのさらなる大型化、高画質化、低消費電力化が求められている。
【0003】
そのような状況下、有機材料の電界発光（Electro Luminescence）を利用した有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を備えた有機ＥＬ表示装置は、全固体型で、低電圧駆動可能、高速応答性、自発光性等の点で優れたフラットパネルディスプレイとして、高い注目を浴びている。
【0004】
また、上記のような有機ＥＬ素子には、陽極と、陰極と、これらの陽極と陰極との間に形成された発光層とが設けられている。また、このような有機ＥＬ素子では、その発光層での発光効率の向上などを図るために、陽極と発光層との間に、正孔注入層や正孔輸送層を設けたり、陰極と発光層との間に、電子注入層や電子輸送層を設けたりすることが行われている。さらに、このような有機ＥＬ素子では、その発光層などの各構成要素は、例えば真空蒸着法を用いて形成されている。すなわち、有機ＥＬ素子は、蒸着装置に設けられた真空槽内において、ベースとなる基板に対して、各構成要素に対応する蒸着粒子が順次放出されて、各構成要素が基板上に適宜形成されるようになっている。
【0005】
また、有機ＥＬ素子では、例えば発光層において、所望する発光色を得るため、または、発光効率を向上させるため等の目的で、「ホスト」と呼ばれる母体材料中に、「ドーパント」と呼ばれる添加材料（ゲスト化合物）を添加するドーピング法を用いて発光層を形成することが知られている。
【0006】
具体的にいえば、従来の蒸着装置には、例えば下記特許文献１に記載されているように、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とを共蒸着して、発光層を形成することが提案されている。
【0007】
すなわち、図２４に示すように、この従来の蒸着装置１００は、ホスト材料１０３ｈの蒸着粒子を発生する第１の蒸着源１０１と、ドーパント材料１０３ｄの蒸着粒子を発生する第２の蒸着源１０２と、真空槽１０４内に設けられるとともに、基板１０５に対して、第１の蒸着源１０１からのホスト材料１０３ｈの蒸着粒子と第２の蒸着源１０２からのドーパント材料１０３ｄの蒸着粒子との混合された混合蒸着粒子１０６を放出する蒸着粒子放出源１０７とを備えている。
【0008】
第１の蒸着源１０１には、坩堝１０１ａとこの坩堝１０１ａの内部を加熱するヒータ１０１ｂとが設けられており、第１の蒸着源１０１は、坩堝１０１ａ内に入れられたホスト材料１０３ｈを加熱して、その蒸着粒子を発生するようになっている。また、第１の蒸着源１０１には、バルブ１０８ａが設けられた配管１０８が接続されている。また、この配管１０８には、当該配管１０８内を流れるホスト材料１０３ｈの蒸着粒子の粒子量（蒸着粒子の濃度）をモニタするレートモニタ１１０が設けられている。
【0009】
第２の蒸着源１０２には、坩堝１０２ａとこの坩堝１０２ａの内部を加熱するヒータ１０２ｂとが設けられており、第２の蒸着源１０２は、坩堝１０２ａ内に入れられたドーパント材料１０３ｄを加熱して、その蒸着粒子を発生するようになっている。また、第２の蒸着源１０２には、バルブ１０９ａが設けられた配管１０９が接続されている。また、この配管１０９には、当該配管１０９内を流れるドーパント材料１０３ｄの蒸着粒子の粒子量（蒸着粒子の濃度）をモニタするレートモニタ１１１が設けられている。
【0010】
また、配管１０８及び１０９には、一端が蒸着粒子放出源１０７に接続された混合配管１１２の他端が接続されており、当該混合配管１１２内でホスト材料１０３ｈの蒸着粒子とドーパント材料１０３ｄとの蒸着粒子とを混合し、混合蒸着粒子１０６を生成するようになっている。
【0011】
そして、この従来の蒸着装置１００では、ホスト材料１０３ｈの蒸着粒子とドーパント材料１０３ｄとの蒸着粒子との混合蒸着粒子１０６を放出して、当該混合蒸着粒子１０６からなる発光層を形成するようになっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0012】
【特許文献1】国際公開第２０１２／０９８９２７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
しかしながら、上記のような従来の蒸着装置１００では、ホスト材料１０３ｈの蒸着粒子とドーパント材料１０３ｄとの蒸着粒子とが混合配管１１２内で混合されていた。このため、この従来の蒸着装置１００では、配管１０８から混合配管１１２内に流入するホスト材料１０３ｈの蒸着粒子の圧力と配管１０９から混合配管１１２内に流入するドーパント材料１０３ｄの蒸着粒子の圧力との相互干渉等によって、形成した発光層（共蒸着膜）でのホスト材料１０３ｈとドーパント材料１０３ｄとの濃度比と、レートモニタ１１０及び１１１でそれぞれ観測されたホスト材料１０３ｈの蒸着粒子の濃度及びドーパント材料１０３ｄの蒸着粒子の濃度の比とが一致しないことがあった。このため、この従来の蒸着装置１００では、ホスト材料１０３ｈとドーパント材料１０３ｄとの共蒸着を行った場合に、これらのホスト材料１０３ｈとドーパント材料１０３ｄとの濃度比を所望の値とすることができずに、これらの共蒸着膜を精度よく形成することができないという問題点を生じることがあった。
【0014】
上記の課題を鑑み、本発明は、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、共蒸着膜を精度よく形成することができる蒸着装置、蒸着方法、及びそれを用いた有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0015】
上記の目的を達成するために、本発明にかかる蒸着装置は、複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、
前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、
前記排気バルブに接続される排気ポンプとを具備していることを特徴とするものである。
【0016】
上記のように構成された蒸着装置では、複数の蒸着源が少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、複数の各蒸着源からの蒸着粒子は少なくとも１つの共通配管に接続された少なくとも１つの蒸着粒子放出源から放出される。また、少なくとも１つの蒸着粒子放出源には、排気バルブ及び排気ポンプが接続されている。これにより、排気ポンプにより、少なくとも１つの共通配管の内部及び少なくとも１つの蒸着粒子放出源の内部に残留している不要な蒸着粒子を排気しつつ、少なくとも１つの蒸着粒子放出源から、複数の各蒸着源からの蒸着粒子を互いに独立して放出することができる。従って、複数の各蒸着源からの蒸着粒子を、安定した蒸着レートで放出することができ、複数の各蒸着源からの蒸着粒子の濃度比を所望の値とすることができる。この結果、上記従来例と異なり、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、共蒸着膜を精度よく形成することができる。
【0017】
また、上記蒸着装置において、前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源が含まれ、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から交互に放出されてもよい。
【0018】
この場合、１つの蒸着粒子放出源からホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とを交互に放出することができるので、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層及びドーパント材料の蒸着粒子からなるドーパント材料層を精度よく形成することができ、これらのホスト材料層及びドーパント材料層からなる共蒸着膜も精度よく形成することができる。
【0019】
また、上記蒸着装置において、前記第１の蒸着源は、第１のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続されることが好ましい。
【0020】
この場合、第１及び第２の蒸着源を常に同時に動作して、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とを交互に放出することができる。この結果、ホスト材料及びドーパント材料の各蒸着粒子の蒸着レート制御が容易となり、高品質な共蒸着膜を容易に形成することができる。
【0021】
また、上記蒸着装置において、前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源と、アシスト材料の蒸着粒子を発生する第３の蒸着源が含まれ、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子と、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子と、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子とは、１つの前記共通配管を通って、１つの前記蒸着粒子放出源から順次放出されてもよい。
【0022】
この場合、１つの蒸着粒子放出源からホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とアシスト材料の蒸着粒子とを順次放出することができるので、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層、ドーパント材料の蒸着粒子からなるドーパント材料層、及びアシスト材料の蒸着粒子からなるアシスト材料層を精度よく形成することができ、これらのホスト材料層、ドーパント材料層、及びアシスト材料層からなる共蒸着膜も精度よく形成することができる。
【0023】
また、上記蒸着装置において、前記第１の蒸着源は、第１のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、前記第２の蒸着源は、第２のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第３の蒸着源は、第３のスイッチングバルブを介して前記１つの共通配管に接続され、
前記第１のスイッチングバルブには、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を排気するための第１の排気用ポンプが接続され、
前記第２のスイッチングバルブには、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を排気するための第２の排気用ポンプが接続され、
前記第３のスイッチングバルブには、前記第３の蒸着源からの前記アシスト材料の蒸着粒子を排気するための第３の排気用ポンプが接続されることが好ましい。
【0024】
この場合、第１、第２、及び第３の蒸着源を常に同時に動作して、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とアシスト材料の蒸着粒子とを順次放出することができる。この結果、ホスト材料、ドーパント材料、及びアシスト材料の各蒸着粒子の蒸着レート制御が容易となり、高品質な共蒸着膜を容易に形成することができる。
【0025】
また、上記蒸着装置において、前記複数の蒸着源には、ホスト材料の蒸着粒子を発生する第１の蒸着源と、ドーパント材料の蒸着粒子を発生する第２の蒸着源が含まれ、前記少なくとも１つの共通配管として、第１、第２、第３、及び第４の共通配管が設けられ、
前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源として、前記第１、第２、第３、及び第４の共通配管にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源が設けられ、
前記排気バルブとして、前記第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源にそれぞれ接続された第１、第２、第３、及び第４の排気バルブが設けられ、
前記第１の蒸着源は、第１及び第３のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第１の蒸着源は、第１及び第４のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続され、
前記第２の蒸着源は、第２及び第５のスイッチングバルブを介して前記第１及び第２の共通配管に接続されるとともに、前記第２の蒸着源は、第２及び第６のスイッチングバルブを介して前記第３及び第４の共通配管に接続されてもよい。
【0026】
この場合、第１及び第２の蒸着源を常に同時に動作した場合でも、ホスト材料及びドーパント材料の各蒸着粒子を第１〜第４の蒸着粒子放出源のいずれかの蒸着粒子放出源から別個に放出することができる。この結果、各蒸着粒子の利用効率を向上させることができ、共蒸着膜を歩留まりよく形成することができる。
【0027】
また、上記蒸着装置において、前記第１、第２、第３、及び第４の排気バルブには、１つの排気ポンプが接続されていることが好ましい。
【0028】
この場合、第１〜第４の排気バルブ毎に、排気ポンプを設ける場合に比べて、装置構成を簡略化することができる。
【0029】
また、上記蒸着装置において、前記複数の各蒸着源と前記少なくとも１つの共通配管との間には、対応する蒸着源からの蒸着粒子の発生量をモニタするレートモニタが設けられていることが好ましい。
【0030】
この場合、レートモニタによって蒸着粒子の発生量をモニタすることができるので、共蒸着膜をより精度よく形成することができる。
【0031】
また、上記蒸着装置において、前記複数の各蒸着源には、坩堝と当該坩堝の内部を加熱するヒータとが含まれていることが好ましい。
【0032】
この場合、蒸着粒子を効率よく発生することができる。
【0033】
また、本発明にかかる蒸着方法は、複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源に接続される少なくとも１つの共通配管と、前記少なくとも１つの共通配管に接続されるとともに、前記複数の各蒸着源からの蒸着粒子を放出する少なくとも１つの蒸着粒子放出源と、前記少なくとも１つの蒸着粒子放出源に接続される排気バルブと、前記排気バルブに接続される排気ポンプを備えた蒸着装置を用いて、基板上に蒸着粒子を付着させて被膜を形成する蒸着工程を行う蒸着方法であって、前記蒸着工程では、第１及び第２の蒸着源にそれぞれ接続される第１及び第２のスイッチングバルブを交互に動作して、前記第１及び第２の蒸着源を交互に１つの共通配管に導通させることにより、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層と、ドーパント材料の蒸着粒子からなるドーパント材料層とを蒸着することを特徴とするものである。
【0034】
上記のように構成された蒸着方法では、排気ポンプにより、少なくとも１つの共通配管の内部及び少なくとも１つの蒸着粒子放出源の内部に残留している不要な蒸着粒子を排気しつつ、少なくとも１つの蒸着粒子放出源から、複数の各蒸着源からの蒸着粒子を互いに独立して放出することができる。従って、複数の各蒸着源からの蒸着粒子を、安定した蒸着レートで放出することができ、複数の各蒸着源からの蒸着粒子の濃度比を所望の値とすることができる。この結果、上記従来例と異なり、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、上記被覆としての共蒸着膜を精度よく形成することができる。
【0035】
また、上記蒸着方法において、前記蒸着工程では、前記ホスト材料層を形成するホスト材料層形成工程と、前記ドーパント材料層を形成するドーパント材料層形成工程とが順次行われ、前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であってもよい。
【0036】
この場合、第１及び第２の蒸着源を常に同時に動作して、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とを交互に放出することができる。この結果、ホスト材料及びドーパント材料の各蒸着粒子の蒸着レート制御が容易となり、高品質な共蒸着膜を容易に形成することができる。
【0037】
また、上記蒸着方法において、前記蒸着工程では、前記ホスト材料層を形成するホスト材料層形成工程と、前記ドーパント材料層を形成するドーパント材料層形成工程と、アシスト材料の蒸着粒子からなるアシスト材料層を形成するアシスト材料層形成工程とが順次行われ、前記ホスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１及び第２の蒸着源と第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と第２の排気用ポンプとを接続しており、
第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第２及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記ドーパント材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第３の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であって、
前記アシスト材料層形成工程においては、
蒸着中の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記１つの共通配管とを接続しており、
前記排気バルブは閉じられており、かつ、
前記第１及び第２の排気用ポンプが動作する工程であって、
蒸着後の工程は、
前記第１、第２、及び第３の蒸着源が同時に動作するとともに、
前記第１のスイッチングバルブが前記第１の蒸着源と前記第１の排気用ポンプとを接続しており、
前記第２のスイッチングバルブが前記第２の蒸着源と前記第２の排気用ポンプとを接続しており、
前記第３のスイッチングバルブが前記第３の蒸着源と前記第３の排気用ポンプとを接続しており、
前記排気バルブは開放されており、かつ、
前記第１、第２、及び第３の排気用ポンプ、及び前記排気ポンプが動作する工程であってもよい。
【0038】
この場合、第１、第２、及び第３の蒸着源を常に同時に動作して、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とアシスト材料の蒸着粒子とを順次放出することができる。この結果、ホスト材料、ドーパント材料、及びアシスト材料の各蒸着粒子の蒸着レート制御が容易となり、高品質な共蒸着膜を容易に形成することができる。
【0039】
また、上記蒸着方法において、前記蒸着工程は、前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源から放出させる第１のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源から放出させる第２のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第４の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第１の蒸着粒子放出源から放出させる第３のサブ蒸着工程と、
前記第１の蒸着源からの前記ホスト材料の蒸着粒子を前記第３の蒸着粒子放出源から放出させるとともに、前記第２の蒸着源からの前記ドーパント材料の蒸着粒子を前記第２の蒸着粒子放出源から放出させる第４のサブ蒸着工程を含んでもよい。
【0040】
この場合、第１及び第２の蒸着源を常に同時に動作した場合でも、ホスト材料及びドーパント材料の各蒸着粒子を第１〜第４の蒸着粒子放出源のいずれかの蒸着粒子放出源から別個に放出することができる。この結果、各蒸着粒子の利用効率を向上させることができ、共蒸着膜を歩留まりよく形成することができる。
【0041】
また、上記蒸着方法において、前記基板と、前記第１〜第４の蒸着粒子放出源のうち、隣接する２つの各蒸着粒子放出源との間には、制御板が形成され、前記第１、第２、第３、及び第４の各サブ蒸着工程では、前記ホスト材料の蒸着粒子と前記ドーパント材料の蒸着粒子とが前記基板上で重ならないように、放出されてもよい。
【0042】
この場合、ホスト材料及びドーパント材料の各蒸着粒子の利用効率を向上させることができ、上記ホスト材料層とドーパント材料層との積層構造からなる共蒸着膜を歩留まりよく形成することができる。
【0043】
また、上記蒸着方法において、前記第１、第２、第３、及び第４の各サブ蒸着工程では、前記ホスト材料の蒸着粒子と前記ドーパント材料の蒸着粒子とが前記基板上で重なるように、放出されてもよい。
【0044】
この場合、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とが混合された共蒸着膜を効率よく形成することができるとともに、より均質な共蒸着膜を形成することができる。
【0045】
また、本発明にかかる有機ＥＬ素子では、上記いずれかの蒸着方法を用いて形成された前記被膜を有することを特徴とするものである。
【0046】
上記のように構成された有機ＥＬ素子では、被膜が精度よく形成された共蒸着膜により構成されているので、高品質な有機ＥＬ素子を容易に構成することができる。
【0047】
また、上記有機ＥＬ素子において、前記被膜が発光層であることが好ましい。
【0048】
この場合、優れた特性を有する発光層を備えた有機ＥＬ素子を容易に構成することができる。
【0049】
また、上記有機ＥＬ素子において、前記被膜が正孔注入層であることが好ましい。
【0050】
この場合、優れた特性を有する正孔注入層を備えた有機ＥＬ素子を容易に構成することができる。
【発明の効果】
【0051】
本発明によれば、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、共蒸着膜を精度よく形成することができる蒸着装置、蒸着方法、及びそれを用いた有機ＥＬ素子の製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【発明を実施するための形態】
【0053】
以下、本発明の蒸着装置、蒸着方法、及び有機ＥＬ素子の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
【0054】
［第１の実施形態］図１は、本発明の第１の実施形態にかかる有機ＥＬ素子の構成を示す断面図である。図１において、本実施形態の有機ＥＬ素子１は、基板２と、基板２上に設けられた陽極３と、陽極３の上方に設けられた陰極４を備えている。また、有機ＥＬ素子１では、陽極３と陰極４との間に、被膜としての発光層５が設けられている。また、有機ＥＬ素子１では、陽極３と発光層５との間に、発光層５から陽極３側に向かって正孔輸送層７、及び正孔注入層８が順次設けられている。さらに、有機ＥＬ素子１では、陰極４と発光層５との間に、発光層５から陰極４側に向かって電子輸送層９及び電子注入層１０が順次設けられている。
【0055】
基板２には、例えばガラスなどの材料が用いられている。陽極３には、例えばＩＴＯなどの透明電極材料が用いられている。また、この陽極３の厚さは、例えば２０ｎｍ〜１００ｎｍ程度である。
【0056】
陰極４には、例えばアルミニウム、銀などが使われている。また、陰極４の厚みは自由度があるが、例えば陰極４側に光を取り出すトップエミッション構造の場合は、一般的に数ｎｍ〜３０ｎｍ程度である場合が好ましい。また、基板２側に光を取り出すボトムエミッション構造の場合は、数１０ｎｍで構わない。また、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明電極材料を用いてもよい。
【0057】
発光層５は、後述する本実施形態の蒸着装置によって形成されるものであり、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層５ａと、ドーパント材料（ゲスト化合物）の蒸着粒子からなるドーパント材料層５ｂとが交互に積層された積層構造（共蒸着膜）によって構成されている（詳細は後述。）。
【0058】
正孔輸送層７には、例えば通常の有機ＥＬ素子が有するものを用いることができ、例えば、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル（α−ＮＰＤ）等が挙げられる。また、この正孔輸送層７の厚さは、例えば１５ｎｍである。
【0059】
正孔注入層８には、例えばフタロシアニン系材料や、スターバーストポリアミン類や、ポリアニリン類などが挙げられる。この正孔注入層８の厚さは、例えば数１０ｎｍである。
【0060】
電子輸送層９には、例えばＢＰｈｅｎが用いられている。また、この電子輸送層９の厚さは、例えば２０ｎｍである。
【0061】
電子注入層１０には、例えば金属リチウムや、金属バリウムなど、もしくはそれらの化合物であるリチウムフロライドのような物が用いられている。また、この電子注入層１０の厚さは、非常に薄い場合が多く、例えば０．１ｎｍである。
【0062】
次に、図２を用いて、本実施形態の蒸着装置１１について具体的に説明する。
【0063】
図２は、本発明の第１の実施形態にかかる蒸着装置を説明する図である。
【0064】
図２において、本実施形態の蒸着装置１１は、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を発生する第１の蒸着源１２と、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を発生する第２の蒸着源１３を備えている。
【0065】
第１の蒸着源１２には、ホスト材料１４ｈが内部に入れられる坩堝１２ａと、この坩堝１２ａの周りに設けられ、当該坩堝１２ａの内部を加熱するヒータ１２ｂとが含まれており、第１の蒸着源１２は、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を効率よく発生することができるようになっている。
【0066】
同様に、第２の蒸着源１３には、ドーパント材料１４ｄが内部に入れられる坩堝１３ａと、この坩堝１３ａの周りに設けられ、当該坩堝１３ａの内部を加熱するヒータ１３ｂとが含まれており、第２の蒸着源１３は、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を効率よく発生することができるようになっている。
【0067】
また、上記ホスト材料１４ｈには、例えばＣＢＰ（４，４’−bis［９−discarbazolyl］−２，２’−biphenyl）やＴＣＴＡ（４，４’，４”−トリス（Ｎ−カルバゾリル）トリフェニルアミン）が用いられている。また、ドーパント材料１４ｄには、赤色、緑色、及び青色の発光層をそれぞれ構成する場合、例えば赤色燐光としてのＩｒ（ｐｉｃ）3、緑色燐光としてのＩｒ（ｐｐｙ）3、及び青色燐光としてのＦＩｒｐｉｃが用いられている。また、発光層５としての膜厚は、例えば３００Åである。
【0068】
また、第１の蒸着源１２は、第１のスイッチングバルブ１６を介して少なくとも１つの共通配管としての１つの共通配管２７に接続され、第２の蒸着源１３は、第２のスイッチングバルブ２２を介して共通配管２７に接続されている。
【0069】
具体的にいえば、第１の蒸着源１２には、一端が第１のスイッチングバルブ１６に接続された配管１５の他端が接続されている。また、第１のスイッチングバルブ１６は、配管１７を介して共通配管２７の一端部である接続点Ｃ１に接続されるとともに、第１のスイッチングバルブ１６は、配管１９を介して第１の排気用ポンプ２０に接続されている。さらに、第１のスイッチングバルブ１６は、配管１５と配管１７との間の連通及び配管１５と配管１９との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0070】
また、配管１５には、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子の発生量（蒸着密度）をモニタするレートモニタ１８が設けられている。これにより、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料層５ａをより精度よく形成することができ、ひいては発光層（共蒸着膜）５をもより精度よく形成することができる。
【0071】
また、第２の蒸着源１３には、一端が第２のスイッチングバルブ２２に接続された配管２１の他端が接続されている。また、第２のスイッチングバルブ２２は、配管２３を介して上記接続点Ｃ１（共通配管２７の一端部）に接続されるとともに、第２のスイッチングバルブ２２は、配管２５を介して第２の排気用ポンプ２６に接続されている。さらに、第２のスイッチングバルブ２２は、配管２１と配管２３との間の連通及び配管２１と配管２５との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0072】
また、配管２１には、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の発生量（蒸着密度）をモニタするレートモニタ２４が設けられている。これにより、本実施形態の蒸着装置１１では、ドーパント材料層５ｂをより精度よく形成することができ、ひいては発光層（共蒸着膜）５をもより精度よく形成することができる。
【0073】
また、共通配管２７の他端部には、複数に分岐された複数の分岐配管が設けられており、これら複数の分岐配管が、真空槽２８内に設けられた蒸着粒子放出源２９に接続されている。また、この蒸着粒子放出源２９は、蒸着粒子を放出するための孔部（図示せず）を有しており、配管３１を介して排気バルブ３２に接続されている。また、この排気バルブ３２は、配管３３を介して排気ポンプ３４に接続されている。
【0074】
そして、本実施形態の蒸着装置１１では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３は同時に動作されており、第１及び第２のスイッチングバルブ１６及び２２を適切に動作することにより、第１及び第２の蒸着源１２及び１３からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の一方のみが、対応する第１または第２のスイッチングバルブ１６または２２を介して共通配管２７に交互に流入される。そして、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、交互に、共通配管２７から蒸着粒子放出源２９に送られ、当該蒸着粒子放出源２９から基板Ｓに向かう蒸着粒子３０として放出される。
【0075】
また、本実施形態の蒸着装置１１は、真空槽２８内の１つの基板Ｓに対して、上記蒸着粒子の蒸着処理を行うクラスタータイプのものであり、さらに本実施形態の蒸着装置１１は、蒸着粒子放出源２９と基板Ｓとの間に、発光層５の所定パターンを形成するためのマスク（図示せず）が設置されており、蒸着粒子放出源２９からの蒸着粒子の放出時に、基板Ｓ及び当該マスクが図２の紙面に垂直な方向に沿って移動するスキャン蒸着装置を構成している。これにより、基板Ｓ上には、所定パターンを有する被膜としての発光層５が形成される。
【0076】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の一方の蒸着粒子の基板Ｓへの放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、当該一方の蒸着粒子の排気を行うように構成されている。
【0077】
具体的にいえば、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子の放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、共通配管２７の内部、及び蒸着粒子放出源２９の内部に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を、配管３１、排気バルブ３２、及び配管３３を通して外部に排気する。
【0078】
また、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、共通配管２７の内部、及び蒸着粒子放出源２９の内部に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を、配管３１、排気バルブ３２、及び配管３３を通して外部に排気する。
【0079】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３が同時に動作されて、それぞれホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を発生しているので、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子が共通配管２７内に流入されているときには、第２の排気用バルブ２６が、配管２５を介して第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を外部に排気するようになっている。また、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が共通配管２７内に流入されているときには、第１の排気用バルブ２０が、配管１９を介して第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を外部に排気するようになっている。
【0081】
図３は、本発明の第１の実施形態にかかる蒸着方法を説明するフローチャートである。図４は、図３に示したホスト材料層形成工程での上記蒸着装置の動作状態を説明する図である。図５は、図３に示したドーパント材料層材料形成工程での上記蒸着装置の動作状態を説明する図である。
【0082】
図３のステップＳ１に示すように、本実施形態では、まず基板Ｓ上に、ホスト材料層５ａを形成するホスト材料層形成工程が行われる。
【0083】
具体的にいえば、このホスト材料層形成工程は、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程と、この蒸着後の工程とに分けられる。
【0084】
ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３を同時に動作して、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が発生される。
【0085】
また、第１のスイッチングバルブ１６の接続点Ｃ１側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と（１つの）共通配管２７とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、排気バルブ３２は、閉じられている。さらに、第２の排気用ポンプ２６が、動作している。
【0086】
これにより、この蒸着中の工程では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図４に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、配管１７、接続点Ｃ１、及び共通配管２７を通って、蒸着粒子放出源２９から蒸着粒子３０ｈとして放出される。この結果、基板Ｓ上では、ホスト材料層５ａが形成される。一方、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図４に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１及び配管２５を通って、第２の排気用ポンプ２６により排気される。なお、この蒸着中の工程では、第１の排気用ポンプ２０及び排気ポンプ３４は、オン（動作）状態またはオフ（停止）状態とされている。
【0087】
次に、蒸着後の工程では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３を同時に動作する。また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、排気バルブ３２は、開放されている。さらに、第１及び第２の排気用ポンプ２０及び２６と排気ポンプ３４が、動作している。
【0088】
これにより、この蒸着後の工程では、第１の排気用ポンプ２０が、配管１５の内部、及び配管１９の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１９側の内部も含む。）に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。つまり、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、第１の排気用ポンプ２０により排気される。
【0089】
また、第２の排気用ポンプ２６が、配管２１の内部、及び配管２５の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２５側の内部も含む。）に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。つまり、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、第２の排気用ポンプ２６により排気される。
【0090】
さらに、排気ポンプ３４が、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、共通配管２７の内部、及び蒸着粒子放出源２９の内部に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。
【0091】
次に、図３のステップＳ２に示すように、ドーパント材料層５ｂを形成するドーパント材料層形成工程が行われる。
【0092】
具体的にいえば、このドーパント材料層形成工程は、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程と、この蒸着後の工程とに分けられる。
【0093】
ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３を同時に動作して、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が発生される。
【0094】
また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の接続点Ｃ１側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と（１つの）共通配管２７とを接続している。また、排気バルブ３２は、閉じられている。さらに、第１の排気用ポンプ２０が、動作している。
【0095】
これにより、この蒸着中の工程では、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図５に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、配管２３、接続点Ｃ１、及び共通配管２７を通って、蒸着粒子放出源２９から蒸着粒子３０ｄとして放出される。この結果、基板Ｓ上では、ドーパント材料層５ｂが形成される。一方、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図５に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５及び配管１９を通って、第１の排気用ポンプ２０により排気される。なお、この蒸着中の工程では、第２の排気用ポンプ２６及び排気ポンプ３４は、オン（動作）状態またはオフ（停止）状態とされている。
【0096】
次に、蒸着後の工程では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３を同時に動作する。また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、排気バルブ３２は、開放されている。さらに、第１及び第２の排気用ポンプ２０及び２６と排気ポンプ３４が、動作している。
【0097】
これにより、この蒸着後の工程では、第１の排気用ポンプ２０が、配管１５の内部、及び配管１９の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１９側の内部も含む。）に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。つまり、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、第１の排気用ポンプ２０により排気される。
【0098】
また、第２の排気用ポンプ２６が、配管２１の内部、及び配管２５の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２５側の内部も含む。）に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。つまり、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、第２の排気用ポンプ２６により排気される。
【0099】
さらに、排気ポンプ３４が、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、共通配管２７の内部、及び蒸着粒子放出源２９の内部に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。
【0100】
続いて、図３のステップＳ３に示すように、発光層５が形成されたかどうかについて判別される。つまり、発光層５が、所定の厚さ（例えば、３００Å）で形成されたかどうかについて判別され、所定の厚さで形成されていると判別されれば、蒸着工程が終了される。一方、所定の厚さで形成されていないと判別されれば、上記ステップＳ１に戻る。
【0101】
尚、ホスト材料層形成工程では、ホスト材料１４ｈは、例えば３Å／ｓのレートで蒸着される。また、ドーパント材料層形成工程では、ドーパント材料１４ｄは、例えば０．３Å／ｓのレートで蒸着される。また、第１及び第２のスイッチングバルブ１６及び２２の各切り換え間隔は、例えば１回／ｓである。
【0102】
以上のように構成された本実施形態の蒸着装置１１では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３が１つの共通配管２７に接続されるとともに、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子及び第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は１つの共通配管２７に接続された１つの蒸着粒子放出源２９から放出される。また、１つの蒸着粒子放出源２９には、排気バルブ３２及び排気ポンプ３４が接続されている。これにより、本実施形態の蒸着装置１１では、排気ポンプ３４により、１つの共通配管２７の内部及び１つの蒸着粒子放出源２９の内部に残留している不要な蒸着粒子を排気しつつ、１つの蒸着粒子放出源２９から、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子及び第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を互いに独立して放出することができる。従って、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を、安定した蒸着レートで放出することができ、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子及び第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の濃度比を所望の値とすることができる。この結果、本実施形態の蒸着装置１１では、上記従来例と異なり、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、発光層（共蒸着膜）５を精度よく形成することができる。
【0103】
また、本実施形態では、１つの蒸着粒子放出源２９からホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とを交互に放出しているので、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子からなるホスト材料層５ａ及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子からなるドーパント材料層５ｂを精度よく形成することができ、これらのホスト材料層５ａ及びドーパント材料層５ｂからなる発光層５も精度よく形成することができる。
【0104】
また、本実施形態では、１つの蒸着粒子放出源２９により、発光層（共蒸着膜）５を精度よく形成することができるので、蒸着装置１１の構成を容易に簡略化することができる。また、このように蒸着装置１１の構成を容易に簡略化することができるので、プロセスマージンを容易に増加させることができるとともに、有機ＥＬ素子１の製造タクトも向上させることができる。
【0105】
また、本実施形態の有機ＥＬ素子１では、蒸着装置１１の蒸着方法を用いて形成された被膜としての発光層５を有しているので、優れた発光特性を有する高品質な有機ＥＬ素子１を容易に構成することができる。
【0107】
図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、アシスト材料の蒸着粒子を発生する第３の蒸着源を設けた点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
【0108】
つまり、図６に示すように、本実施形態の有機ＥＬ素子１では、その発光層５は、ホスト材料の蒸着粒子からなるホスト材料層５ａと、ドーパント材料（ゲスト化合物）の蒸着粒子からなるドーパント材料層５ｂと、アシスト材料（Co-Host材料）の蒸着粒子からなるアシスト材料層５ｃが順次積層された積層構造（共蒸着膜）によって構成されている。
【0109】
また、図７に示すように、本実施形態の蒸着装置１１には、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を発生する第３の蒸着源３５が設けられている。
【0110】
この第３の蒸着源３５には、アシスト材料１４ａが内部に入れられる坩堝３５ａと、この坩堝３５ａの周りに設けられ、当該坩堝３５ａの内部を加熱するヒータ３５ｂとが含まれており、第３の蒸着源３５は、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を効率よく発生することができるようになっている。
【0111】
また、アシスト材料１４ａには、例えばＴＰＢＩ（２，２’，２”−（１，３，５−ベンゼントリイル）トリス（１−フェニル−１Ｈ−ベンゾイミダゾール））が用いられている。
【0112】
また、第３の蒸着源３５は、第３のスイッチングバルブ３７を介して少なくとも１つの共通配管としての１つの共通配管４２に接続されている。具体的にいえば、第３の蒸着源３５には、一端が第３のスイッチングバルブ３７に接続された配管３６の他端が接続されている。また、第３のスイッチングバルブ３７は、配管３８を介して共通配管４２の一端部である接続点Ｃ２に接続されるとともに、第３のスイッチングバルブ３７は、配管４０を介して第３の排気用ポンプ４１に接続されている。さらに、第３のスイッチングバルブ３７は、配管３６と配管３８との間の連通及び配管３６と配管４０との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0113】
また、接続点Ｃ２には、配管１７及び２３が接続されており、共通配管４２に対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子及び第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が流入可能に構成されている。
【0114】
また、配管３６には、第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子の発生量（蒸着密度）をモニタするレートモニタ３９が設けられている。これにより、本実施形態の蒸着装置１１では、アシスト材料層５ｃをより精度よく形成することができ、ひいては発光層（共蒸着膜）５をもより精度よく形成することができる。
【0115】
また、共通配管４２の他端部には、複数に分岐された複数の分岐配管が設けられており、これら複数の分岐配管が、真空槽２８内に設けられた蒸着粒子放出源４３に接続されている。また、この蒸着粒子放出源４３は、第１の実施形態のものと同様に、蒸着粒子を放出するための孔部（図示せず）を有しており、配管３１を介して排気バルブ３２に接続され、この排気バルブ３２は、配管３３を介して排気ポンプ３４に接続されている。
【0116】
そして、本実施形態の蒸着装置１１では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５は同時に動作されており、第１、第２、及び第３のスイッチングバルブ１６、２２、及び３７を適切に動作することにより、第１及び第２の蒸着源１２、１３、及び３５からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、アシスト材料１４ａの蒸着粒子の一つのみが、対応する第１、第２、または第３のスイッチングバルブ１６、２２、または３７を介して共通配管４２に順次流入される。そして、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子は、順次、共通配管４２から蒸着粒子放出源４３に送られ、当該蒸着粒子放出源４３から基板Ｓに向かう蒸着粒子４４として放出される。
【0117】
また、本実施形態の蒸着装置１１は、第１の実施形態のものと同様に、真空槽２８内の１つの基板Ｓに対して、上記蒸着粒子の蒸着処理を行うクラスタータイプのものであり、さらに本実施形態の蒸着装置１１は、蒸着粒子放出源４３と基板Ｓとの間に、発光層５の所定パターンを形成するためのマスク（図示せず）が設置されており、蒸着粒子放出源４３からの蒸着粒子の放出時に、基板Ｓ及び当該マスクが図５の紙面に垂直な方向に沿って移動するスキャン蒸着装置を構成している。これにより、基板Ｓ上には、所定パターンを有する被膜としての発光層５が形成される。
【0118】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子のいずれか一つの蒸着粒子の基板Ｓへの放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、当該一つの蒸着粒子の排気を行うように構成されている。
【0119】
具体的にいえば、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子の放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を、配管３１、排気バルブ３２、及び配管３３を通して外部に排気する。
【0120】
また、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子の放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を、配管３１、排気バルブ３２、及び配管３３を通して外部に排気する。
【0121】
また、アシスト材料１４ａの蒸着粒子の放出が終わった場合、排気ポンプ３４は、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を、配管３１、排気バルブ３２、及び配管３３を通して外部に排気する。
【0122】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５が同時に動作されて、それぞれホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子を発生しているので、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子が共通配管４２内に流入されているときには、第２の排気用バルブ２６が、配管２５を介して第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を外部に排気するとともに、第３の排気用バルブ４１が、配管４０を介して第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子を外部に排気するようになっている。
【0123】
また、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が共通配管４２内に流入されているときには、第１の排気用バルブ２０が、配管１９を介して第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を外部に排気するとともに、第３の排気用バルブ４１が、配管４０を介して第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子を外部に排気するようになっている。
【0124】
また、アシスト材料１４ａの蒸着粒子が共通配管４２内に流入されているときには、第１の排気用バルブ２０が、配管１９を介して第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を外部に排気するとともに、第２の排気用バルブ２６が、配管２５を介して第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を外部に排気するようになっている。
【0126】
図８は、本発明の第２の実施形態にかかる蒸着方法を説明するフローチャートである。図９は、図８に示したホスト材料層形成工程での図７に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図１０は、図８に示したドーパント材料層材料形成工程での図７に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図１１は、図８に示したアシスト材料層材料形成工程での図７に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。
【0127】
図８のステップＳ４に示すように、本実施形態では、まず基板Ｓ上に、ホスト材料層５ａを形成するホスト材料層形成工程が行われる。
【0128】
具体的にいえば、このホスト材料層形成工程は、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程と、この蒸着後の工程とに分けられる。
【0129】
ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作して、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子が発生される。
【0130】
また、第１のスイッチングバルブ１６の接続点Ｃ１側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と（１つの）共通配管４２とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の第３の排気用ポンプ４１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と第３の排気用ポンプ４１とを接続している。また、排気バルブ３２は、閉じられている。さらに、第２及び第３の排気用ポンプ２６及び４１が、動作している。
【0131】
これにより、この蒸着中の工程では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図９に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、配管１７、接続点Ｃ１、及び共通配管４２を通って、蒸着粒子放出源４３から蒸着粒子４４ｈとして放出される。この結果、基板Ｓ上では、ホスト材料層５ａが形成される。一方、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図９に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１及び配管２５を通って、第２の排気用ポンプ２６により排気される。また、アシスト材料１４ａの蒸着粒子は、図９にクロスハッチにて示すように、配管３６及び配管４０を通って、第３の排気用ポンプ４１により排気される。なお、この蒸着中の工程では、第１の排気用ポンプ２０及び排気ポンプ３４は、オン（動作）状態またはオフ（停止）状態とされている。
【0132】
次に、蒸着後の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作する。また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の第３の排気用ポンプ４１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と第３の排気用ポンプ４１とを接続している。また、排気バルブ３２は、開放されている。さらに、第１、第２、及び第３の排気用ポンプ２０、２６、及び４１と排気ポンプ３４が、動作している。
【0133】
これにより、この蒸着後の工程では、第１の排気用ポンプ２０が、配管１５の内部、及び配管１９の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１９側の内部も含む。）に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。つまり、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、第１の排気用ポンプ２０により排気される。
【0134】
また、第２の排気用ポンプ２６が、配管２１の内部、及び配管２５の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２５側の内部も含む。）に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。つまり、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、第２の排気用ポンプ２６により排気される。
【0135】
また、第３の排気用ポンプ４１が、配管３６の内部、及び配管４０の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管４０側の内部も含む。）に存在する、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を排気する。つまり、第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子は、第３の排気用ポンプ４１により排気される。
【0136】
さらに、排気ポンプ３４が、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。
【0137】
次に、図８のステップＳ５に示すように、ドーパント材料層５ｂを形成するドーパント材料層形成工程が行われる。
【0138】
具体的にいえば、このドーパント材料層形成工程は、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程と、この蒸着後の工程とに分けられる。
【0139】
ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作して、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子が発生される。
【0140】
また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の接続点Ｃ１側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と（１つの）共通配管４２とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の第３の排気用ポンプ４１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と第３の排気用ポンプ４１とを接続している。また、排気バルブ３２は、閉じられている。さらに、第１及び第３の排気用ポンプ２０及び４１が、動作している。
【0141】
これにより、この蒸着中の工程では、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１０に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、配管２３、接続点Ｃ１、及び共通配管４２を通って、蒸着粒子放出源４３から蒸着粒子４４ｄとして放出される。この結果、基板Ｓ上では、ドーパント材料層５ｂが形成される。一方、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１０に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５及び配管１９を通って、第１の排気用ポンプ２０により排気される。また、アシスト材料１４ａの蒸着粒子は、図１０にクロスハッチにて示すように、配管３６及び配管４０を通って、第３の排気用ポンプ４１により排気される。なお、この蒸着中の工程では、第２の排気用ポンプ２６及び排気ポンプ３４は、オン（動作）状態またはオフ（停止）状態とされている。
【0142】
次に、蒸着後の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作する。また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の第３の排気用ポンプ４１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と第３の排気用ポンプ４１とを接続している。また、排気バルブ３２は、開放されている。さらに、第１、第２、及び第３の排気用ポンプ２０、２６、及び４１と排気ポンプ３４が、動作している。
【0143】
これにより、この蒸着後の工程では、第１の排気用ポンプ２０が、配管１５の内部、及び配管１９の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１９側の内部も含む。）に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。つまり、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、第１の排気用ポンプ２０により排気される。
【0144】
また、第２の排気用ポンプ２６が、配管２１の内部、及び配管２５の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２５側の内部も含む。）に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。つまり、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、第２の排気用ポンプ２６により排気される。
【0145】
また、第３の排気用ポンプ４１が、配管３６の内部、及び配管４０の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管４０側の内部も含む。）に存在する、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を排気する。つまり、第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子は、第３の排気用ポンプ４１により排気される。
【0146】
さらに、排気ポンプ３４が、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。
【0147】
次に、図８のステップＳ６に示すように、アシスト材料層５ｃを形成するアシスト材料層形成工程が行われる。
【0148】
具体的にいえば、このアシスト材料層形成工程は、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程と、この蒸着後の工程とに分けられる。
【0149】
アシスト材料１４ａの蒸着粒子を蒸着する蒸着中の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作して、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子、及びアシスト材料１４ａの蒸着粒子が発生される。
【0150】
また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の接続点Ｃ１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と（１つの）共通配管４２とを接続している。また、排気バルブ３２は、閉じられている。さらに、第１及び第３の排気用ポンプ２０及び４１が、動作している。
【0151】
これにより、この蒸着中の工程では、アシスト材料１４ａの蒸着粒子は、図１１にクロスハッチにて示すように、配管３６、配管３８、接続点Ｃ１、及び共通配管４２を通って、蒸着粒子放出源４３から蒸着粒子４４ａとして放出される。この結果、基板Ｓ上では、アシスト材料層５ｃが形成される。一方、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１１に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５及び配管１９を通って、第１の排気用ポンプ２０により排気される。また、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１１に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１及び配管２５を通って、第２の排気用ポンプ２６により排気される。なお、この蒸着中の工程では、第３の排気用ポンプ４１及び排気ポンプ３４は、オン（動作）状態またはオフ（停止）状態とされている。
【0152】
次に、蒸着後の工程では、第１、第２、及び第３の蒸着源１２、１３、及び３５を同時に動作する。また、第１のスイッチングバルブ１６の第１の排気用ポンプ２０側が開放されて、第１のスイッチングバルブ１６が第１の蒸着源１２と第１の排気用ポンプ２０とを接続している。また、第２のスイッチングバルブ２２の第２の排気用ポンプ２６側が開放されて、第２のスイッチングバルブ２２が第２の蒸着源１３と第２の排気用ポンプ２６とを接続している。また、第３のスイッチングバルブ３７の第３の排気用ポンプ４１側が開放されて、第３のスイッチングバルブ３７が第３の蒸着源３５と第３の排気用ポンプ４１とを接続している。また、排気バルブ３２は、開放されている。さらに、第１、第２、及び第３の排気用ポンプ２０、２６、及び４１と排気ポンプ３４が、動作している。
【0153】
これにより、この蒸着後の工程では、第１の排気用ポンプ２０が、配管１５の内部、及び配管１９の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１９側の内部も含む。）に存在する、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を排気する。つまり、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、第１の排気用ポンプ２０により排気される。
【0154】
また、第２の排気用ポンプ２６が、配管２１の内部、及び配管２５の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２５側の内部も含む。）に存在する、ドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を排気する。つまり、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、第２の排気用ポンプ２６により排気される。
【0155】
また、第３の排気用ポンプ４１が、配管３６の内部、及び配管４０の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管４０側の内部も含む。）に存在する、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を排気する。つまり、第３の蒸着源３５からのアシスト材料１４ａの蒸着粒子は、第３の排気用ポンプ４１により排気される。
【0156】
さらに、排気ポンプ３４が、配管１７の内部（第１のスイッチングバルブ１６の配管１７側の内部も含む。）、配管２３の内部（第２のスイッチングバルブ２２の配管２３側の内部も含む。）、配管３８の内部（第３のスイッチングバルブ３７の配管３８側の内部も含む。）、共通配管４２の内部、及び蒸着粒子放出源４３の内部に存在する、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を排気する。
【0157】
続いて、図６のステップＳ７に示すように、発光層５が形成されたかどうかについて判別される。つまり、発光層５が、所定の厚さ（例えば、３００Å）で形成されたかどうかについて判別され、所定の厚さで形成されていると判別されれば、蒸着工程が終了される。一方、所定の厚さで形成されていないと判別されれば、上記ステップＳ４に戻る。
【0158】
尚、ホスト材料層形成工程では、ホスト材料１４ｈは、例えば３Å／ｓのレートで蒸着される。また、ドーパント材料層形成工程では、ドーパント材料１４ｄは、例えば０．３Å／ｓのレートで蒸着される。また、アシスト材料層形成工程では、アシスト材料１４ａは、例えば１Å／ｓのレートで蒸着される。また、第１、第２、及び第３のスイッチングバルブ１６、２２、及び３７の各切り換え間隔は、例えば１回／ｓである。
【0159】
以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、上記第１及び第２の蒸着源１２及び１３に加えて、アシスト材料１４ａの蒸着粒子を発生する第３の蒸着源３５が設けられており、１つの蒸着粒子放出源４３からホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とアシスト材料１４ａの蒸着粒子とを順次放出している。これにより、本実施形態では、ホスト材料層５ａ、ドーパント材料層５ｂ、及びアシスト材料層５ｃを精度よく形成することができ、これらのホスト材料層５ａ、ドーパント材料層５ｂ、及びアシスト材料層５ｃからなる発光層（共蒸着膜）５も精度よく形成することができる。
【0161】
図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、第１の蒸着源からのホスト材料の蒸着粒子と第２の蒸着源からのドーパント材料の蒸着粒子とを別個の蒸着粒子放出源から基板上で重ならないように放出して、ホスト材料層とドーパント材料層との積層構造からなる発光層を形成した点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
【0162】
つまり、図１２に示すように、本実施形態の蒸着装置１１では、第１のスイッチングバルブ１６は、配管４５を介して第３のスイッチングバルブ４６に接続されるとともに、配管４７を介して第４のスイッチングバルブ４８に接続されている。さらに、この第１のスイッチングバルブ１６は、配管１５と配管４５との間の連通及び配管１５と配管４７との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0163】
また、第３のスイッチングバルブ４６は、配管４９を介して少なくとも１つの共通配管としての第１の共通配管６１の一端部である接続点Ｃ３に接続されるとともに、第３のスイッチングバルブ４６は、配管５０を介して少なくとも１つの共通配管としての第２の共通配管６２の一端部である接続点Ｃ４に接続されている。さらに、第３のスイッチングバルブ４６は、配管４５と配管４９との間の連通及び配管４５と配管５０との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0164】
また、第４のスイッチングバルブ４８は、配管５１を介して少なくとも１つの共通配管としての第３の共通配管６３の一端部である接続点Ｃ５に接続されるとともに、第４のスイッチングバルブ４８は、配管５２を介して少なくとも１つの共通配管としての第４の共通配管６４の一端部である接続点Ｃ６に接続されている。さらに、第４のスイッチングバルブ４８は、配管４７と配管５１との間の連通及び配管４７と配管５２との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0165】
また、第２のスイッチングバルブ２２は、配管５３を介して第５のスイッチングバルブ５４に接続されるとともに、配管５５を介して第６のスイッチングバルブ５６に接続されている。さらに、この第２のスイッチングバルブ２２は、配管２１と配管５３との間の連通及び配管２１と配管５５との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0166】
また、第５のスイッチングバルブ５４は、配管５７を介して上記接続点Ｃ３に接続されるとともに、第５のスイッチングバルブ５４は、配管５８を介して上記接続点Ｃ４に接続されている。さらに、第５のスイッチングバルブ５４は、配管５３と配管５７との間の連通及び配管５３と配管５８との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0167】
また、第６のスイッチングバルブ５６は、配管５９を介して上記接続点Ｃ５に接続されるとともに、第６のスイッチングバルブ５６は、配管６０を介して上記接続点Ｃ６に接続されている。さらに、第６のスイッチングバルブ５６は、配管５５と配管５９との間の連通及び配管５５と配管６０との間の連通を適宜切り換えるように構成されている。
【0168】
また、第１、第２、第３、及び第４の共通配管６１、６２、６３、及び６４は、それぞれ真空槽６５内に設けられた第１、第２、第３、及び第４の蒸着粒子放出源６６、６７、６８、及び６９に接続されている。これら第１、第２、第３、及び第４の各蒸着粒子放出源６６、６７、６８、及び６９は、蒸着粒子を放出するための孔部（図示せず）を有している。
【0169】
また、第１の蒸着粒子放出源６６には、配管７０を介して第１の排気バルブ７１が接続され、第２の蒸着粒子放出源６７には、配管７２を介して第２の排気バルブ７３が接続されている。第３の蒸着粒子放出源６８には、配管７４を介して第３の排気バルブ７５が接続され、第４の蒸着粒子放出源６９には、配管７６を介して第４の排気バルブ７７が接続されている。
【0170】
また、第１、第２、第３、及び第４の排気バルブ７１、７３、７５、及び７７には、配管７８を介して１つの排気ポンプ７９が接続されている。
【0171】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、制御板ＣＰ１、ＣＰ２、及びＣＰ３が基板Ｓと、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のうち、隣接する２つの各蒸着粒子放出源との間に形成されている。すなわち、図１２に示すように、制御板ＣＰ１は、基板Ｓと、第１及び第２の蒸着粒子放出源６６及び６７との間に形成されており、第１の蒸着粒子放出源６６からの蒸着粒子が、第２の蒸着粒子放出源６７に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐとともに、第２の蒸着粒子放出源６７からの蒸着粒子が、第１の蒸着粒子放出源６６に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐようになっている。
【0172】
また、制御板ＣＰ２は、基板Ｓと、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８との間に形成されており、第２の蒸着粒子放出源６７からの蒸着粒子が、第３の蒸着粒子放出源６８に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐとともに、第３の蒸着粒子放出源６８からの蒸着粒子が、第２の蒸着粒子放出源６７に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐようになっている。
【0173】
また、制御板ＣＰ３は、基板Ｓと、第３及び第４の蒸着粒子放出源６８及び６９との間に形成されており、第３の蒸着粒子放出源６８からの蒸着粒子が、第４の蒸着粒子放出源６９に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐとともに、第４の蒸着粒子放出源６９からの蒸着粒子が、第３の蒸着粒子放出源６８に対向する基板Ｓの領域に放出されるのを防ぐようになっている。
【0174】
そして、本実施形態の蒸着装置１１では、第１及び第２の蒸着源１２及び１３は同時に動作されており、第１、第２、第３、第４、第５、及び第６のスイッチングバルブ１６、２２、４６、４８、５４、及び５６を適切に動作することにより、第１蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のいずれか１つの蒸着粒子放出源から放出され、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のうち、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を放出する蒸着粒子放出源とは異なる、いずれか１つの蒸着粒子放出源から放出される。
【0175】
また、本実施形態の蒸着装置１１は、第１の実施形態のものと同様に、真空槽６５内の１つの基板Ｓに対して、上記蒸着粒子の蒸着処理を行うクラスタータイプのものである。また、本実施形態の蒸着装置１１では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とが、基板Ｓ上で重ならないように、放出されるようになっている。さらに、本実施形態の蒸着装置１１は、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９と基板Ｓとの間に、発光層５の所定パターンを形成するためのマスク（図示せず）が設置されており、蒸着粒子の放出時に、基板Ｓ及び当該マスクが図１２の左右方向に沿って移動するスキャン蒸着装置を構成している。これにより、基板Ｓ上には、第１の実施形態のものと同様に、ホスト材料層５ａとドーパント材料層５ｂとの積層構造からなる発光層５が被膜として形成される。
【0176】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、排気ポンプ７９は、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のうち、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子及びドーパント材料１４ｄの蒸着粒子のいずれかの蒸着粒子の放出を行っていない、２つの蒸着粒子放出源の内部、及びこれら２つの各蒸着粒子放出源に接続された配管の内部及び排気バルブの内部から蒸着粒子を排気するようになっている。
【0178】
図１３は、本発明の第３の実施形態にかかる蒸着方法を説明するフローチャートである。図１４は、図１３に示した第１のサブ蒸着工程での図１２に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図１５は、図１３に示した第２のサブ蒸着工程での図１２に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図１６は、図１３に示した第３のサブ蒸着工程での図１２に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図１７は、図１３に示した第４のサブ蒸着工程での図１２に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。
【0179】
図１３に示すように、本実施形態の蒸着装置１１では、その蒸着工程に、第１〜第４のサブ蒸着工程が含まれている。そして、図１３のステップＳ８に示すように、本実施形態では、まず基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源６６から放出させるとともに、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源６９から放出させる第１のサブ蒸着工程が行われる。
【0180】
具体的にいえば、図１４において、第１のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第３のスイッチングバルブ４６側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第６のスイッチングバルブ５６側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ５側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ６側が開放される。また、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は、閉じられている。
【0181】
そして、第１のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１４に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４５、４９、５７、及び６１の内部に流入して、第１の蒸着粒子放出源６６から蒸着粒子８０として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１４に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５５、６０、５２、及び６４の内部に流入して、第４の蒸着粒子放出源６９から蒸着粒子８１として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重ならないように、基板Ｓの異なる領域に放出される。
【0182】
また、第１のサブ蒸着工程では、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は開放されており、排気ポンプ７９は、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５の各内部、配管７２、７４、及び７８の各内部、配管６２、５０、５８、５３、６３、５１、５９、及び４７の各内部、接続点Ｃ４及びＣ５の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４７側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５３側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管５０側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５１側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５８側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管５９側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0183】
次に、図１３のステップＳ９に示すように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源６７から放出させるとともに、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源６８から放出させる第２のサブ蒸着工程が行われる。
【0184】
具体的にいえば、図１５において、第２のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第３のスイッチングバルブ４６側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第６のスイッチングバルブ５６側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ４側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ６側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ３側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ５側が開放される。また、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は、閉じられている。
【0185】
そして、第２のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１５に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４５、５０、５８、及び６２の内部に流入して、第２の蒸着粒子放出源６７から蒸着粒子８２として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１５に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５５、５９、５１、及び６３の内部に流入して、第３の蒸着粒子放出源６８から蒸着粒子８３として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重ならないように、基板Ｓの異なる領域に放出される。
【0186】
また、この第２のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第１のサブ蒸着工程の間）、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部と、配管５０、５１、５８、５９、６２、及び６３の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第２のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0187】
また、第２のサブ蒸着工程では、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は開放されており、排気ポンプ７９は、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７の各内部、配管７０、７６、及び７８の各内部、配管６１、４９、５７、５３、６４、５２、６０、及び４７の各内部、接続点Ｃ３及びＣ６の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４７側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５３側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管４９側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５２側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５７側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管６０側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0188】
次に、図１３のステップＳ１０に示すように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源６９から放出させるとともに、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源６６から放出させる第３のサブ蒸着工程が行われる。
【0189】
具体的にいえば、図１６において、第３のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第４のスイッチングバルブ４８側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第５のスイッチングバルブ５４側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ６側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ５側が開放される。また、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は、閉じられている。
【0190】
そして、第３のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１６に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４７、５２、６０、及び６４の内部に流入して、第４の蒸着粒子放出源６９から蒸着粒子８５として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１６に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５３、５７、４９、及び６１の内部に流入して、第１の蒸着粒子放出源６６から蒸着粒子８４として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重ならないように、基板Ｓの異なる領域に放出される。
【0191】
また、この第３のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第２のサブ蒸着工程の間）、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部と、配管４９、５２、５７、６０、６１、及び６４の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第３のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0192】
また、第３のサブ蒸着工程では、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は開放されており、排気ポンプ７９は、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５の各内部、配管７２、７４、及び７８の各内部、配管６２、５０、５８、４５、６３、５１、５９、及び５５の各内部、接続点Ｃ４及びＣ５の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４５側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５５側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管５０側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５１側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５８側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管５９側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0193】
次に、図１３のステップＳ１１に示すように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源６８から放出させるとともに、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源６７から放出させる第４のサブ蒸着工程が行われる。
【0194】
具体的にいえば、図１７において、第４のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第４のスイッチングバルブ４８側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第５のスイッチングバルブ５４側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ５側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ６側が開放される。また、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は、閉じられている。
【0195】
そして、第４のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図１７に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４７、５１、５９、及び６３の内部に流入して、第３の蒸着粒子放出源６８から蒸着粒子８７として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図１７に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５３、５８、５０、及び６２の内部に流入して、第２の蒸着粒子放出源６７から蒸着粒子８６として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重ならないように、基板Ｓの異なる領域に放出される。
【0196】
また、この第４のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第３のサブ蒸着工程の間）、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部と、配管５０、５１、５８、５９、６２、及び６３の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第４のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0197】
また、第４のサブ蒸着工程では、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は開放されており、排気ポンプ７９は、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７の各内部、配管７０、７６、及び７８の各内部、配管６１、４９、５７、４５、６４、５２、６０、及び５５の各内部、接続点Ｃ３及びＣ６の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４５側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５５側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管４９側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５２側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５７側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管６０側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0198】
続いて、図１３のステップＳ１２に示すように、発光層５が形成されたかどうかについて判別される。つまり、発光層５が、所定の厚さ（例えば、３００Å）で形成されたかどうかについて判別され、所定の厚さで形成されていると判別されれば、蒸着工程が終了される。一方、所定の厚さで形成されていないと判別されれば、上記ステップＳ８に戻る。
【0199】
尚、上記ステップＳ８に戻った場合、つまり第４のサブ蒸着工程に続いて第１のサブ蒸着工程が行われる場合、この第１のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第４のサブ蒸着工程の間）、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部と、配管４９、５２、５７、６０、６１、及び６４の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第１のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0200】
以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、第１、第２、第３、第４、第５、及び第６のスイッチングバルブ１６、２２、４６、４８、５４、及び５６を適切に動作することにより、第１蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のいずれか１つの蒸着粒子放出源から放出され、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のうち、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を放出する蒸着粒子放出源とは異なる、いずれか１つの蒸着粒子放出源から放出される。この結果、本実施形態では、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とを基板Ｓ上の互いに異なる領域に同時に放出することができるので、ホスト材料１４ｈ及びドーパント材料１４ｄの各蒸着粒子の利用効率を向上させることができ、ホスト材料層５ａとドーパント材料層５ｂとの積層構造からなる発光層（共蒸着膜）５を歩留まりよく形成することができる。
【0201】
また、本実施形態では、第１、第２、第３、及び第４の排気バルブ７１、７３、７５、及び７７には、１つの排気ポンプ７９が接続されているので、第１、第２、第３、及び第４の排気バルブ７１、７３、７５、及び７７毎に、排気ポンプを設ける場合に比べて、蒸着装置１１の装置構成を簡略化することができる。
【0203】
図において、本実施形態と上記第３の実施形態との主な相違点は、１つの基板に対して、ホスト材料の蒸着粒子とドーパント材料の蒸着粒子とを当該基板上で重なるように放出して、これらの蒸着材料を混合した蒸着粒子を用いて発光層を形成するインラインタイプの蒸着装置を構成した点である。なお、上記第３の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
【0204】
つまり、図１８において、本実施形態の有機ＥＬ素子１では、その発光層５は、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とを混合した蒸着粒子からなる混合層５ｄが複数積層された積層構造（共蒸着膜）によって構成されている。
【0205】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、第３の実施形態のものと同様に、図１３に示した第１〜第４のサブ蒸着工程が行われるようになっている。つまり、本実施形態の蒸着装置１１では、第１蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のいずれか１つの蒸着粒子放出源から放出され、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子が、第１〜第４の蒸着粒子放出源６６〜６９のうち、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子を放出する蒸着粒子放出源とは異なる、いずれか１つの蒸着粒子放出源から放出される。
【0206】
また、本実施形態の蒸着装置１１では、第３の実施形態のものと異なり、第１〜第４の各サブ蒸着工程において、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とが、基板Ｓ上で重なるように、放出されるようになっており、上記混合層５ｄからなる発光層５が形成される。
【0208】
図２０は、上記第１のサブ蒸着工程での図１９に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図２１は、上記第２のサブ蒸着工程での図１９に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図２２は、上記第３のサブ蒸着工程での図１９に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。図２３は、上記第４のサブ蒸着工程での図１９に示した蒸着装置の動作状態を説明する図である。
【0209】
本実施形態の蒸着装置１１では、上述したように、その蒸着工程に、第１〜第４のサブ蒸着工程が含まれている。そして、図１３のステップＳ８に示したように、本実施形態では、まず基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源６６から放出させるとともに、基板Ｓに対して、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源６９から放出させる第１のサブ蒸着工程が行われる。
【0210】
具体的にいえば、図２０において、第１のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第３のスイッチングバルブ４６側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第６のスイッチングバルブ５６側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ５側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ６側が開放される。また、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は、閉じられている。
【0211】
そして、第１のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図２０に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４５、４９、５７、及び６１の内部に流入して、第１の蒸着粒子放出源６６から蒸着粒子８８として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図２０に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５５、６０、５２、及び６４の内部に流入して、第４の蒸着粒子放出源６９から蒸着粒子８９として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重なるように、基板Ｓの全面に放出される。
【0212】
また、第１のサブ蒸着工程では、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は開放されており、排気ポンプ７９は、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５の各内部、配管７２、７４、及び７８の各内部、配管６２、５０、５８、５３、６３、５１、５９、及び４７の各内部、接続点Ｃ４及びＣ５の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４７側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５３側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管５０側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５１側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５８側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管５９側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0213】
次に、図１３のステップＳ９に示したように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源６７から放出させるとともに、基板Ｓに対して、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源６８から放出させる第２のサブ蒸着工程が行われる。
【0214】
具体的にいえば、図２１において、第２のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第３のスイッチングバルブ４６側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第６のスイッチングバルブ５６側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ４側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ６側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ３側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ５側が開放される。また、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は、閉じられている。
【0215】
そして、第２のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図２１に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４５、５０、５８、及び６２の内部に流入して、第２の蒸着粒子放出源６７から蒸着粒子９０として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図２１に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５５、５９、５１、及び６３の内部に流入して、第３の蒸着粒子放出源６８から蒸着粒子９１として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重なるように、基板Ｓの全面に放出される。
【0216】
また、この第２のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第１のサブ蒸着工程の間）、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部と、配管５０、５１、５８、５９、６２、及び６３の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第２のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0217】
また、第２のサブ蒸着工程では、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は開放されており、排気ポンプ７９は、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７の各内部、配管７０、７６、及び７８の各内部、配管６１、４９、５７、５３、６４、５２、６０、及び４７の各内部、接続点Ｃ３及びＣ６の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４７側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５３側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管４９側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５２側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５７側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管６０側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0218】
次に、図１３のステップＳ１０に示したように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第４の蒸着粒子放出源６９から放出させるとともに、基板Ｓに対して、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第１の蒸着粒子放出源６６から放出させる第３のサブ蒸着工程が行われる。
【0219】
具体的にいえば、図２２において、第３のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第４のスイッチングバルブ４８側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第５のスイッチングバルブ５４側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ６側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ５側が開放される。また、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は、閉じられている。
【0220】
そして、第３のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図２２に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４７、５２、６０、及び６４の内部に流入して、第４の蒸着粒子放出源６９から蒸着粒子９３として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図２２に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５３、５７、４９、及び６１の内部に流入して、第１の蒸着粒子放出源６６から蒸着粒子９２として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重なるように、基板Ｓの全面に放出される。
【0221】
また、この第３のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第２のサブ蒸着工程の間）、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部と、配管４９、５２、５７、６０、６１、及び６４の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第３のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0222】
また、第３のサブ蒸着工程では、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は開放されており、排気ポンプ７９は、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５の各内部、配管７２、７４、及び７８の各内部、配管６２、５０、５８、４５、６３、５１、５９、及び５５の各内部、接続点Ｃ４及びＣ５の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４５側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５５側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管５０側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５１側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５８側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管５９側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0223】
次に、図１３のステップＳ１１に示したように、本実施形態では、基板Ｓに対して、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子を第３の蒸着粒子放出源６８から放出させるとともに、基板Ｓに対して、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子を第２の蒸着粒子放出源６７から放出させる第４のサブ蒸着工程が行われる。
【0224】
具体的にいえば、図２３において、第４のサブ蒸着工程では、第１のスイッチングバルブ１６の第４のスイッチングバルブ４８側が開放され、第２のスイッチングバルブ２２の第５のスイッチングバルブ５４側が開放される。また、第３のスイッチングバルブ４６の接続点Ｃ３側が開放され、第４のスイッチングバルブ４８の接続点Ｃ５側が開放される。また、第５のスイッチングバルブ５４の接続点Ｃ４側が開放され、第６のスイッチングバルブ５６の接続点Ｃ６側が開放される。また、第２及び第３の排気バルブ７３及び７５は、閉じられている。
【0225】
そして、第４のサブ蒸着工程では、第１の蒸着源１２からのホスト材料１４ｈの蒸着粒子は、図２３に左斜め下のハッチにて示すように、配管１５、４７、５１、５９、及び６３の内部に流入して、第３の蒸着粒子放出源６８から蒸着粒子９５として基板Ｓに放出される。同時に、第２の蒸着源１３からのドーパント材料１４ｄの蒸着粒子は、図２３に右斜め下のハッチにて示すように、配管２１、５３、５８、５０、及び６２の内部に流入して、第２の蒸着粒子放出源６７から蒸着粒子９４として基板Ｓに放出される。また、ホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とは、互いに重なるように、基板Ｓの全面に放出される。
【0226】
また、この第４のサブ蒸着工程の直前まで（つまり、第３のサブ蒸着工程の間）、第２及び第３の蒸着粒子放出源６７及び６８の各内部と、配管５０、５１、５８、５９、６２、及び６３の各内部とは、排気ポンプ７９によって排気されていたため、当該第４のサブ蒸着工程では、コンタミや異なる材料の混入が生じるのを防いで、対応する蒸着粒子を蒸着することが可能となる。
【0227】
また、第４のサブ蒸着工程では、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７は開放されており、排気ポンプ７９は、第１及び第４の蒸着粒子放出源６６及び６９の各内部、第１及び第４の排気バルブ７１及び７７の各内部、配管７０、７６、及び７８の各内部、配管６１、４９、５７、４５、６４、５２、６０、及び５５の各内部、接続点Ｃ３及びＣ６の各内部、第１のスイッチングバルブ１６の配管４５側の内部、第２のスイッチングバルブ２２の配管５５側の内部、第３のスイッチングバルブ４６の配管４９側の内部、第４のスイッチングバルブ４８の配管５２側の内部、第５のスイッチングバルブ５４の配管５７側の内部、及び第６のスイッチングバルブ５６の配管６０側の内部の蒸着粒子を外部に排気している。
【0228】
以上の構成により、本実施形態では、上記第３の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、基板Ｓに対して、互いに重なるようにホスト材料１４ｈ及びドーパント材料１４ｄの各蒸着粒子を同時に放出するので、これらホスト材料１４ｈの蒸着粒子とドーパント材料１４ｄの蒸着粒子とが混合された発光層（共蒸着膜）５を効率よく形成することができるとともに、より均質な発光層５を形成することができる。
【0229】
尚、上記の実施形態はすべて例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって規定され、そこに記載された構成と均等の範囲内のすべての変更も本発明の技術的範囲に含まれる。
【0230】
例えば、上記の説明では、本発明の蒸着装置及び蒸着方法を用いて、有機ＥＬ素子の発光層を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定さえるものではなく、複数の蒸着源から発生した二種類以上の蒸着粒子を共蒸着して、共蒸着膜（被膜）を形成するものであれば何等限定されない。具体的には、有機ＥＬ素子の正孔注入層などの他の構成要素を形成してもよい。また、本発明は、有機薄膜太陽電池や有機薄膜ダイオードなどの他の有機素子、またはその他の共蒸着膜を有する素子等に適用することができる。
【0231】
また、上記第１〜第４の実施形態では、発光層、正孔輸送層、及び電子輸送層を別個に設けた構成について説明したが、本発明の有機ＥＬ素子はこれに限定されるものではなく、例えば正孔輸送層を兼用した発光層を用いたり、電子輸送層を兼用した発光層を用いたりする構成でもよい。
【産業上の利用可能性】
【0232】
本発明は、二種類以上の材料を共蒸着する場合でも、共蒸着膜を精度よく形成することができる蒸着装置、蒸着方法、及びそれを用いた有機ＥＬ素子に対して有用である。
【符号の説明】
【0233】
１ 有機ＥＬ素子５ 発光層（被膜）
５ａ ホスト材料層
５ｂ ドーパント材料層
５ｃ アシスト材料層
１１ 蒸着装置
１２ 第１の蒸着源
１３ 第２の蒸着源
１４ｈ ホスト材料
１４ｄ ドーパント材料
１４ａ アシスト材料
１６ 第１のスイッチングバルブ
２０ 第１の排気用ポンプ
２２ 第２のスイッチングバルブ
２６ 第２の排気用ポンプ
２７、４２ 共通配管
２９、４３ 蒸着粒子放出源
３２ 排気バルブ
３４、７９ 排気ポンプ
３５ 第３の蒸着源
３７ 第３のスイッチングバルブ
４１ 第３の排気用ポンプ
４６ 第３のスイッチングバルブ
４８ 第４のスイッチングバルブ
５４ 第５のスイッチングバルブ
５６ 第６のスイッチングバルブ
６１ 第１の共通配管
６２ 第２の共通配管
６３ 第３の共通配管
６４ 第４の共通配管
６６ 第１の蒸着粒子放出源
６７ 第２の蒸着粒子放出源
６８ 第３の蒸着粒子放出源
６９ 第４の蒸着粒子放出源
７１ 第１の排気バルブ
７３ 第２の排気バルブ
７５ 第３の排気バルブ
７７ 第４の排気バルブ
ＣＰ１、ＣＰ２、ＣＰ３ 制御板