特許 6305280 蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6305280

(24)【登録日】2018年3月16日

(45)【発行日】2018年4月4日

(54)【発明の名称】蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20180326BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/223

【請求項の数】7

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-173681(P2014-173681)

(22)【出願日】2014年8月28日

(65)【公開番号】特開2016-48216(P2016-48216A)

(43)【公開日】2016年4月7日

【審査請求日】2017年8月3日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】503460323

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクサイエンス

(74)【代理人】

【識別番号】100120396

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 秀幸

(72)【発明者】

【氏名】八木 勇夫

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−０３３４０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０１２２３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１９１１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０７８５６０８１（ＵＳ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
複数の前記試料を、前記試料台に並べて設置した場合、
前記制御部が、番号を前記印として表示可能であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項2】

請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記撮像部が、前記試料の撮像倍率を変えて前記画像を任意の表示倍率へ変更する機能を有し、
前記画像処理部が、前記撮像倍率に対応した前記入力した位置に前記印を表示することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項3】

試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記印が表示された前記画面を画像データとして保存する機能を有していることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項4】

試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する機能を有し、
前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項5】

試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する機能と、
前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた同じ位置で前記印を前記画面に表示させる機能とを有していることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項6】

試料台に設置された試料を撮像部で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部に表示させ、前記試料台を移動することで前記試料に対するＸ線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法であって、
前記撮像部で前記試料の画像を取得する撮像工程と、
画像処理部により前記ディスプレイ部の画面に前記画像を表示する表示工程と、
前記画面上の任意の位置にポインティングデバイスで印を入力する入力工程と、
前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有し、
前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する位置記憶工程と、
前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示する工程とを有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法。

【請求項7】

試料台に設置された試料を撮像部で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部に表示させ、前記試料台を移動することで前記試料に対するＸ線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法であって、
前記撮像部で前記試料の画像を取得する撮像工程と、
画像処理部により前記ディスプレイ部の画面に前記画像を表示する表示工程と、
前記画面上の任意の位置にポインティングデバイスで印を入力する入力工程と、
前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有し、
前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する位置記憶工程と、
前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた位置で前記印を前記画面に表示させる再表示工程とを有していることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、有害物質の検出等が可能で製品のスクリーニング等あるいはメッキ等の膜厚測定に使用される蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法に関する。

【背景技術】

【0002】

蛍光Ｘ線分析は、Ｘ線源から出射されたＸ線を試料に照射し、試料から放出される特性Ｘ線である蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出することで、そのエネルギーからスペクトルを取得し、試料の定性分析若しくは定量分析又は膜厚測定を行うものである。この蛍光Ｘ線分析は、試料を非破壊で迅速に分析可能なため、工程・品質管理などで広く用いられている。近年では、高精度化・高感度化が図られて微量測定が可能になり、特に材料や複合電子部品などに含まれる有害物質の検出を行う分析手法として普及が期待されている。

【0003】

従来、このような蛍光Ｘ線分析の装置では、試料台に設置された試料を観察用カメラなどの撮像装置からの画像で確認し、ＸＹステージなどの移動機構を用いて試料台を移動させて試料の位置合わせを行ってから、測定又は分析を行っている（例えば、特許文献１）。特に、多数の同じ形状をした試料を試料台に設置して測定する場合、ＸＹステージを移動しながら、操作者が画面上で試料の個数を数えるなどして、所定の試料が測定位置に来るようにＸＹステージを移動させて位置合わせしていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−２５２４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
上記従来の蛍光Ｘ線分析装置では、操作者が試料台の所定位置に試料を合わせる必要があり、試料の詳細な位置決めを試料観察用のカメラ画像を見て行っているが、図３の（ａ）に示すように、同一形状の試料Ｓが多数並んでいるものを一定個数置きに測定する場合など、図３の（ｂ）に示すように、試料台を移動した際に、カメラ画像で見ている試料Ｓが何番目の試料Ｓかがわからなくなる場合があった。すなわち、操作者が、カメラ画像で試料Ｓの個数を目視で数えて、所望の測定対象である試料Ｓを見つけ、位置合わせを行っていることから、作業が煩雑になる上、正しい箇所を測定していることを確認することが難しいという問題があった。

【0006】

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、同じ形状をした多数の試料やラインパターンなどを一定間隔置きに測定する場合などで作業性が向上し、測定箇所が正しいことを容易に確認することができる蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、試料を設置可能な試料台と、前記試料台を移動可能な試料移動機構と、前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させることを特徴とする。

【0008】

この蛍光Ｘ線分析装置では、制御部が、試料移動機構により試料台を移動させた際に、画像処理部により画面中の印を試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させるので、試料台の移動に合わせて画面中の印も同じように移動することで、画面中の試料と印との相対位置がずれずに表示される。したがって、操作者は、試料台を移動させた場合でも、数字（番号），絵（図形等），文字又は記号等の印を目印にしてＸ線照射点と試料との位置合わせを簡単に行うことが可能になる。

【0009】

第２の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１の発明において、複数の前記試料を、前記試料台に並べて設置した場合、前記制御部が、番号を前記印として表示可能であることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、複数の試料を試料台に並べて設置した場合、制御部が、番号を印として表示可能であるので、例えばポインティングデバイスで指定した位置に対応した試料の並び順、すなわち並んだ試料の端から数えた際の順番の番号を画面中に表示することで、何番目の試料であるかを容易に確認することができる。

【0010】

第３の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１又は第２の発明において、前記撮像部が、前記試料の撮像倍率を変えて前記画像を任意の表示倍率へ変更する機能を有し、前記画像処理部が、前記撮像倍率に対応した前記入力した位置に前記印を表示することを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、画像処理部が、撮像倍率に対応した前記入力した位置に印を表示するので、撮像倍率が変更されても撮像倍率に合わせて表示された印を目印にすることができる。

【0011】

第４の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１から第３の発明のいずれかにおいて、前記制御部が、前記印が表示された前記画面を画像データとして保存する機能を有していることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、制御部が、印が表示された画面を画像データとして保存する機能を有しているので、試料と印とが一緒に表示された画面の画像データによって測定後でも、どの試料を測定したかを容易に確認することができる。

【0012】

第５の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１から第４の発明のいずれかにおいて、前記制御部が、前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する機能を有し、前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示することを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、画像処理部が、試料台の移動により印が画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台の移動により印の位置データに基づく印の位置が再び表示領域内に位置した際、印の位置データに基づいて表示領域内に印を再び表示するので、画面の表示領域から印が外れるほど試料台を移動させたり表示画像を拡大／縮小させたりしても、元の位置や表示倍率に戻した際に表示領域に印を表示させることができる。

【0013】

第６の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１から第５の発明のいずれかにおいて、前記制御部が、前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する機能と、前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた同じ位置で前記印を前記画面に表示させる機能とを有していることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、以前測定した試料と同じ位置で新たに試料を試料台に設置した際に、記憶した位置データに基づいて印をディスプレイ部に撮像した画像と共に重ねて表示させる機能を有しているので、新しい試料を試料台上の同じ位置に設置すれば、改めてポインティングデバイスで位置を入力して印を表示させなくても、測定箇所を特定することが可能となり、さらに操作性が向上する。

【0014】

第７の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法は、試料台に設置された試料を撮像部で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部に表示させ、前記試料台を移動することで前記試料に対するＸ線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法であって、前記撮像部で前記試料の画像を取得する撮像工程と、画像処理部により前記ディスプレイ部の画面に前記画像を表示する表示工程と、前記画面上の任意の位置にポインティングデバイスで印を入力する入力工程と、前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有していることを特徴とする。

【0015】

第８の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法は、第７の発明において、前記撮像部が、前記試料の撮像倍率を変えて前記画像を任意の表示倍率へ変更する際、前記画像処理部により、前記撮像倍率に対応した前記入力した位置に前記印を表示する表示倍率変更工程を有することを特徴とする。

【0016】

第９の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法は、第７又は第８の発明において、前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する位置記憶工程と、前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示する工程とを有することを特徴とする。

【0017】

第１０の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料表示方法は、第７から第９の発明のいずれかにおいて、前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する位置記憶工程と、前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた位置で前記印を前記画面に表示させる再表示工程とを有していることを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法によれば、試料移動機構により試料台を移動させた際に、画像処理部により画面中の印を試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させるので、画面中の印を目印にしてＸ線照射点と試料との位置合わせを簡単に行うことが可能になる。特に、同一形状の複数の試料が並んでいる場合でも、画面中の印を目印にして測定対象である所望の試料を見つけ、測定箇所が正しいことを画面から簡単に確認することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法の一実施形態を示す概略的な全体構成図である。

【図2】本実施形態において、ディスプレイ部による画面中の試料と印とを示す移動前後の表示例である。

【図3】本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法の従来例において、ディスプレイ部による画面中の試料の表示例である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置及びその試料表示方法の一実施形態を、図１及び図２を参照しながら説明する。

【0021】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置１は、図１及び図２に示すように、試料Ｓを設置可能な試料台２と、試料台２を移動可能な試料移動機構３と、試料Ｓに対して一次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線源４と、一次Ｘ線Ｘ１を照射された試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｘ２を検出する検出器５と、試料台２上の試料Ｓを撮像する撮像部６と、撮像部６で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部７と、画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイス８と、ポインティングデバイス８で入力した画面中の位置に印Ｍを表示する画像処理部９と、試料移動機構３と画像処理部９とを制御する制御部Ｃとを備えている。

【0022】

上記制御部Ｃは、試料移動機構３により試料台２を移動させた際に、画像処理部９により画面中の印Ｍを試料台２と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる機能を有している。すなわち、制御部Ｃは、試料台２の移動に同期させてディスプレイ部７の画面上に表示される印Ｍも試料Ｓと共に相対的に移動させる。
特に、図２に示すように、複数の試料Ｓを試料台２に並べて設置した場合、制御部Ｃは、番号を印Ｍとして表示可能である。

【0023】

また、上記撮像部６は、試料Ｓの撮像倍率を変えて画像を任意の表示倍率へ変更する機能を有している。
さらに、画像処理部９は、撮像倍率に対応した前記入力した位置に印Ｍを表示する機能を有している。例えば、撮像倍率が大きくなってディスプレイ部７の画面に表示される画像の表示倍率が大きくなった場合でも、その倍率に同期して画面中において試料台２上の同じ位置に印Ｍが表示される。
また、制御部Ｃは、印Ｍが表示された画面を画像データとして保存する機能を有している。

【0024】

また、制御部Ｃは、前記入力した画面中の位置と画像とに基づいて試料台２上に対応する印Ｍの位置データを記憶する機能を有している。すなわち、制御部Ｃは、入力された画面中の印Ｍの位置が、試料台２上のどの位置に対応するかを画像データから解析し、試料台２上の印Ｍの位置情報をデータとして記憶する。
さらに、画像処理部９は、試料台２の移動により印Ｍが画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台２の移動により印Ｍの位置データに基づく印Ｍの位置が再び表示領域内に位置した際、印Ｍの位置データに基づいて表示領域内に印Ｍを再び表示する機能を有している。

【0025】

さらに、制御部Ｃは、画像に基づいた試料台２上の試料Ｓの位置データと前記入力した画面中の位置に基づいて試料台２上に対応する印Ｍの位置データとを記憶する機能と、試料Ｓの位置データに基づいて試料Ｓと同じ位置で新たに試料Ｓを試料台２に設置した際に、印Ｍの位置データに基づいた同じ位置で印Ｍを画面に表示させる機能とを有している。

【0026】

また、この蛍光Ｘ線分析装置１は、検出器５に接続され検出器５からの信号を分析する分析器１０と、Ｘ線源４，検出器５，撮像部６，試料台２及び試料移動機構３を収納する筐体１１とを備えている。
上記試料台２は、複数の試料Ｓが載置可能であり、少なくとも平面方向（Ｘ方向及びＹ方向）に進退可能なＸＹステージである試料移動機構３上に設置されている。
上記撮像部６は、ＣＣＤ等を搭載した観察用カメラであり、試料台２の上部に設置されており、試料台２上の試料Ｓを撮像可能である。

【0027】

上記Ｘ線源４は、一次Ｘ線Ｘ１を照射可能なＸ線管球であって、管球内のフィラメント（陰極）から発生した熱電子がフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）との間に印加された電圧により加速されターゲットのＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などに衝突して発生したＸ線を一次Ｘ線Ｘ１としてベリリウム箔などの窓から出射するものである。

【0028】

上記検出器５は、Ｘ線入射窓（図示略）に設置されている半導体検出素子（例えば、ｐｉｎ構造ダイオードであるＳｉ（シリコン）素子）（図示略）を備え、Ｘ線光子１個が入射すると、このＸ線光子１個に対応する電流パルスが発生するものである。この電流パルスの瞬間的な電流値が、入射した特性Ｘ線のエネルギーに比例している。また、検出器５は、半導体検出素子で発生した電流パルスを電圧パルスに変換、増幅し、信号として出力するように設定されている。

【0029】

上記分析器１０は、上記信号から電圧パルスの波高を得てエネルギースペクトルを生成する波高分析器（マルチチャンネルアナライザー）である。
上記制御部Ｃは、ＣＰＵ等で構成されたコンピュータであり、Ｘ線源４，検出器５，ディスプレイ部７等の各部にも接続され、これらを制御すると共に分析結果をディスプレイ部７に表示する機能を有している。

【0030】

上記ポインティングデバイス８としては、マウス、トラックボール、タッチパッド等が採用可能である。本実施形態では、マウスをポインティングデバイス８として用いている。
上記印Ｍは、数字（番号），絵（図形等），文字又は記号等のマークであり、ポインティングデバイス８で位置を指定した後にキーボードを用いて入力しても構わないと共に、ポインティングデバイス８で直接画面上に線を引いて記入するように設定しても構わない。
上記ディスプレイ部７では、中央に十字線が表示されており、この十字線の交点がＸ線照射点Ｐとなるように設定されている。

【0031】

次に、本実施形態のＸ線分析装置１を用いた試料表示方法について説明する。
本実施形態の試料表示方法は、試料台２に設置された試料Ｓを撮像部６で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部７に表示させ、試料台２を移動することで試料Ｓに対するＸ線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う方法である。この試料表示方法は、撮像部６で試料Ｓの画像を取得する撮像工程と、画像処理部９によりディスプレイ部７の画面に前記画像を表示する表示工程と、画面上の任意の位置にポインティングデバイス８で印Ｍを入力する入力工程と、試料台２を移動させた際に、画像処理部９により画面中の印Ｍを試料台２と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有している。

【0032】

以下、本実施形態の試料表示方法を用いてＸ線分析装置１において複数の試料Ｓを測定する手順について具体的に説明する。
例えば図２の（ａ）に示すように、複数の試料Ｓが試料台２上に一列に並べられている場合、ポインティングデバイス８によりディスプレイ部７の画面上に番号（数字）を印Ｍとして記入する。すなわち、並んだ試料Ｓのうち一番左端の試料Ｓの上部近傍をポインティングデバイス８で指定し、１番目の試料Ｓである印Ｍとして「１」と入力し、画面に表示する。

【0033】

これによって、スーパーインポーズ的に試料Ｓと印Ｍとが一緒に重ねて画面表示される。次に、左端から５番目の試料Ｓの上部近傍に、５番目の試料Ｓである印Ｍとして「５」と入力し、画面に表示する。さらに、５つ置きに試料Ｓの上部近傍をポインティングデバイス８で指定し、左端から数えた際の試料Ｓの番号を印Ｍとして入力し、画面に表示する。

【0034】

このようにディスプレイ部７の画面上には、５つ置きに印Ｍとして試料Ｓの近傍に数字が記入、表示された状態となる。この状態で、これら試料Ｓの中で一定個数置き、例えば１０個置きに抜き取り測定を行う場合、まず試料移動機構３により「５」の印Ｍが上に表示された試料Ｓに、Ｘ線照射点Ｐを位置合わせし、この試料Ｓの蛍光Ｘ線分析を行う。この際、制御部Ｃは、試料台２の移動に同期して画面中の印Ｍも同方向に同距離だけ移動するように画像処理部９を制御する。これにより、試料移動機構３による位置合わせに応じて画面中の印Ｍが試料Ｓと共に相対的に移動する。

【0035】

次に、試料移動機構３により試料台２を左に移動させ、「１５」の印Ｍが上に表示された試料Ｓに、Ｘ線照射点Ｐを位置合わせし、この試料Ｓの蛍光Ｘ線分析を行う。この際も、制御部Ｃは、画像処理部９により試料台２の移動に合わせて画面中の印Ｍを試料Ｓと共に移動させて表示させる。なお、移動によって印Ｍが画面から外れても、元の位置に再度移動で戻せば対応する位置に印Ｍは画面上に再び表示される。このようにして、１０個置きに印Ｍの数字を目印にして試料移動機構３により試料台２を移動させることで、所望の測定対象である試料ＳにＸ線照射点Ｐを容易に位置合わせすることができる。

【0036】

また、広域の画像を表示させて試料Ｓの目的の測定位置に印Ｍを入力し、測定する任意の倍率に画像の拡大率を変えても、印Ｍは入力した目的の位置に表示される。広域の画像では、試料Ｓの目的の測定位置に印Ｍを入力することで、全体の中のどの部分を測定位置としたかが明確となる。よって、このようなメリットを残しつつ、試料画像の倍率を上げた場合でも、入力した印Ｍが目的位置に表示されることにより、表示画像の拡大／縮小により表示される視野領域から一旦外れた試料Ｓを再度視野領域内に戻した際であっても、印Ｍが同期しているため測定位置を正しく認識することができる。その際の印Ｍの表示の大きさは、元の倍率または測定倍率の間で一定又は倍率に合わせて可変するなど見やすい大きさを設定することができる。なお、試料台２の移動に伴い、視野領域から一旦外れた試料Ｓを再度視野領域内に戻した場合でも、入力した印Ｍが目的位置に表示される。

【0037】

なお、制御部Ｃは、各測定の際に、同時にディスプレイ部７に表示されている印Ｍが試料Ｓと共にディスプレイ部７に表示されている画面を画像データとして保存する。これにより、試料Ｓと印Ｍとが一緒に表示された画面の画像データによって測定後でも、どの試料Ｓを測定したかを容易に確認することができる。

【0038】

また、試料Ｓの測定が終了した後、新たに同じ形状の試料Ｓを測定する場合、以前と同じ試料台２の位置に新たに試料Ｓを設置すると共に、制御部Ｃに記憶させている印Ｍを、記憶させている位置データに基づいてディスプレイ部７の画面に表示させる。これによって、以前試料Ｓを測定した際と同様の位置に表示された印Ｍを目印にして、新たな試料Ｓについても同様に測定することができる。

【0039】

このように本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置１及びその試料表示方法では、試料移動機構３により試料台２を移動させた際に、画像処理部９により画面中の印Ｍを試料台２と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させるので、試料台２の移動に合わせて画面中の印Ｍも同じように移動することで、画面中の試料Ｓと印Ｍとの相対位置がずれることなく表示される。したがって、操作者は、試料台２を移動させた場合でも、数字（番号），絵（図形等），文字又は記号等の印Ｍを目印にしてＸ線照射点Ｐと試料Ｓとの位置合わせを簡単に行うことが可能になる。

【0040】

また、複数の試料Ｓを試料台２に並べて設置した場合、制御部Ｃが、番号を印として表示可能であるので、ポインティングデバイス８で指定した位置に対応した試料Ｓの並び順、すなわち並んだ試料の端から数えた際の順番の番号を画面中に表示することで、何番目の試料Ｓであるかを容易に確認することができる。特に、同一形状の試料Ｓが試料台２に多数並んでおり、これらの試料Ｓについて数個置きに抜き取り分析を行う場合などに適している。

【0041】

また、画像処理部９が、撮像倍率に対応した前記入力した位置に印Ｍを表示するので、撮像倍率が変更されても撮像倍率に合わせて表示された印Ｍを目印にすることができる。
さらに、画像処理部９が、試料台２の移動により印Ｍが画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台２の移動により印Ｍの位置データに基づく印Ｍの位置が再び表示領域内に位置した際、印Ｍの位置データに基づいて表示領域内に印Ｍを再び表示するので、画面の表示領域から印Ｍが外れるほど試料台２を移動させたり表示画像を拡大／縮小させたりしても、元の位置や表示倍率に戻した際に表示領域に印Ｍを表示させることができる。

【0042】

また、制御部Ｃが、印Ｍが表示された画面を画像データとして保存する機能を有しているので、試料Ｓと印Ｍとが一緒に表示された画面の画像データによって測定後でも、どの試料Ｓを測定したかを容易に確認することができる。
さらに、以前測定した試料Ｓと同じ位置で新たに試料Ｓを試料台２に設置した際に、記憶した位置データに基づいて印Ｍをディスプレイ部７に撮像した画像と共に重ねて表示させる機能を有しているので、新しい試料Ｓを設置して測定する際に、前回の印Ｍを同じ位置に再現して表示させることができる。したがって、新しい試料Ｓを設置し測定する度に、改めてポインティングデバイス８で位置を入力して印を表示させる必要が無くなり、さらに操作性が向上する。

【0043】

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

【0044】

例えば、上記実施形態では、波高分析器でＸ線のエネルギーと強度とを測定するエネルギー分散方式の蛍光Ｘ線分析装置に適用したが、蛍光Ｘ線を分光結晶により分光し、Ｘ線の波長と強度を測定する波長分散方式の蛍光Ｘ線分析装置に適用しても構わない。
また、上記実施形態では、Ｘ線源と検出器とを試料の上方に配置しているが、試料台の下方に配置し、試料の下側を分析または測定しても構わない。さらに、検出器については、真空管タイプのものなどでも構わない。

【0045】

また、上記実施形態では、試料台に並べられた複数の試料について測定を行ったが、試料台に半導体装置や電子部品等の試料に形成されたラインパターンについて、複数箇所を測定するものに適用しても構わない。この場合、ディスプレイ部に画面に表示されたラインパターンの複数箇所又はその近傍に、それぞれ印をポインティングデバイスで記入し表示することで、ラインパターンにおける測定箇所を容易に確認することができる。

【符号の説明】

【0046】

１…蛍光Ｘ線分析装置、２…試料台、３…試料移動機構、４…Ｘ線源、５…検出器、６…撮像部、７…ディスプレイ部、８…ポインティングデバイス、９…画像処理部、Ｃ…制御部、Ｍ…印、Ｓ…試料、Ｘ１…一次Ｘ線、Ｘ２…蛍光Ｘ線

【図1】

【図2】

【図3】