特許6309078低減されたデブリ生成を有するレーザ生成プラズマＥＵＶ源

発明の名称　低減されたデブリ生成を有するレーザ生成プラズマＥＵＶ源

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 347 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 278 位（92件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6309078

公報発行日　2018年4月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6309078

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