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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7725645	オーバレイ計量の性能拡張	2025年 8月19日
特許 7720953	半導体処理装置における希ガスの収集とリサイクル方法	2025年 8月 8日
特許 7720964	ランプハウス補正を備えるプラズマ源のシステム及び方法	2025年 8月 8日
特許 7720405	検査ツールにおける側方剪断干渉測定のシステムおよび方法	2025年 8月 7日
特許 7719100	品質管理専用ウェハを用いない半導体計測ツール群の整合	2025年 8月 5日
特許 7717824	ＥＵＶマスク検査のための方法および装置	2025年 8月 4日
特許 7714625	電子ビーム検査システム及び方法	2025年 7月29日
特許 7711203	補正板を使用した光学システムの収差及びアポダイゼーションの補正	2025年 7月22日
特許 7710513	機械学習ベースの測定レシピ最適化の動的制御	2025年 7月18日
特許 7710538	製造ツールの遠隔制御のための帯域幅調整	2025年 7月18日
特許 7709958	走査モードおよび静止モードにおける高感度の光学計測	2025年 7月17日
特許 7710047	マルチビームアレイ構成のための成形アパーチャセット	2025年 7月17日
特許 7705407	広帯域照射同調	2025年 7月 9日
特許 7705482	並列散乱計測オーバーレイ計測	2025年 7月 9日
特許 7704925	光源のキャビティの圧力制御システム	2025年 7月 8日

73 件中 1-15 件を表示

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7725645 7720953 7720964 7720405 7719100 7717824 7714625 7711203 7710513 7710538 7709958 7710047 7705407 7705482 7704925

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