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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7588231	複数の測定列を用いた大規模オーバレイ計測サンプリング	2024年11月21日
特許 7587594	Ｘ線ベースの計測のためのウェハ傾斜の測定及び制御	2024年11月20日
特許 7587649	テレセントリック照明を有するマルチビーム電子特性評価ツール	2024年11月20日
特許 7580414	走査計量学のための計量学ターゲット	2024年11月11日
特許 7580584	検査および他のプロセスのための試料の位置合わせ	2024年11月11日
特許 7580627	半導体デバイスウエハのための改良されたメトロロジーについてのシステムおよび方法	2024年11月11日
特許 7579988	オーバレイ計量の性能拡張	2024年11月 8日
特許 7579408	高アスペクト比構造の測定のための中赤外分光法及びシステム	2024年11月 7日
特許 7577162	電子ビームエミッタの動作方法	2024年11月 1日
特許 7576635	光学対物レンズを回転させるための装置および方法	2024年10月31日
特許 7573618	厚膜フォトレジスト層計測ターゲット	2024年10月25日
特許 7573656	対角回折ベースのオーバーレイターゲットを測定するための計測システムおよび方法	2024年10月25日
特許 7571274	モアレ効果を呈するデバイス様オーバレイ計量ターゲット	2024年10月22日
特許 7570434	埋込計量ターゲット用撮像システム	2024年10月21日
特許 7570470	ランプハウス補正を備えるプラズマ源のシステム	2024年10月21日

93 件中 1-15 件を表示

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7588231 7587594 7587649 7580414 7580584 7580627 7579988 7579408 7577162 7576635 7573618 7573656 7571274 7570434 7570470

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