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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第301位 95件 上昇2023年:第332位 104件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第298位 86件 上昇2023年:第345位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7579408 高アスペクト比構造の測定のための中赤外分光法及びシステム 2024年11月 7日
特許 7577162 電子ビームエミッタの動作方法 2024年11月 1日
特許 7576635 光学対物レンズを回転させるための装置および方法 2024年10月31日
特許 7573618 厚膜フォトレジスト層計測ターゲット 2024年10月25日
特許 7573656 対角回折ベースのオーバーレイターゲットを測定するための計測システムおよび方法 2024年10月25日
特許 7571274 モアレ効果を呈するデバイス様オーバレイ計量ターゲット 2024年10月22日
特許 7570434 埋込計量ターゲット用撮像システム 2024年10月21日
特許 7570470 ランプハウス補正を備えるプラズマ源のシステム 2024年10月21日
特許 7570527 デュアルアパーチャ方式の高解像度電子ビーム装置 2024年10月21日
特許 7569938 オンザフライ散乱計測オーバーレイ計測ターゲット 2024年10月18日
特許 7569379 ウェーハモデルを使用するウェーハ露光方法及びウェーハ製造アセンブリ 2024年10月17日
特許 7568639 設定可能焦点オフセットによって試料表面を追跡するための自動焦点調節システム 2024年10月16日
特許 7561793 半導体試料内の瑕疵を検出又は精査するシステム 2024年10月 4日
特許 7561882 半導体製造プロセスで使用される敏感な層の試料損傷を防いで走査型電子顕微鏡撮像を可能にする方法 2024年10月 4日
特許 7557546 試験サンプルの温度変調特性の測定 2024年 9月27日

86 件中 1-15 件を表示

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7579408 7577162 7576635 7573618 7573656 7571274 7570434 7570470 7570527 7569938 7569379 7568639 7561793 7561882 7557546

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