特許 6309802 パターン微細化用被覆剤

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6309802

(24)【登録日】2018年3月23日

(45)【発行日】2018年4月11日

(54)【発明の名称】パターン微細化用被覆剤

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/40 20060101AFI20180402BHJP

   H01L 21/027 20060101ALI20180402BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/40 511

   H01L21/30 570

【請求項の数】12

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2014-64578(P2014-64578)

(22)【出願日】2014年3月26日

(65)【公開番号】特開2015-187633(P2015-187633A)

(43)【公開日】2015年10月29日

【審査請求日】2016年12月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000220239

【氏名又は名称】東京応化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(72)【発明者】

【氏名】並木 拓海

(72)【発明者】

【氏名】熊谷 智弥

(72)【発明者】

【氏名】安蘇谷 健人

【審査官】 倉持 俊輔

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−００３３２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２１５８１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１８４６７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１７０１９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００８／０９０６６９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００１−０３３９８４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／４０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板上に形成されたポジ型レジストパターンの表面に被膜を形成し、微細パターンを形成するために用いられるパターン微細化用被覆剤であって、
（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有し、
前記（Ａ）含窒素化合物が、窒素原子に結合する炭素原子数８以上のアルキル基を有し、前記アルキル基が結合している窒素原子１モルに対して、４モル以上のエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが付加した化合物であり、
前記パターン微細化用被覆剤は、
前記（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物以外の他の（Ｃ）塩基性含窒素化合物と、
（Ｄ）水溶性ポリマー又はアルカリ可溶性ポリマーからなる群より選択される少なくとも１つと
を含有する、パターン微細化用被覆剤。

【請求項2】

基板上に形成されたポジ型レジストパターンの表面に被膜を形成し、微細パターンを形成するために用いられるパターン微細化用被覆剤であって、
（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有し、
前記（Ａ）含窒素化合物が、窒素原子に結合する炭素原子数８以上のアルキル基を有し、前記アルキル基が結合している窒素原子１モルに対して、４モル以上のエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが付加した化合物であり、
前記パターン微細化用被覆剤の水分量が前記パターン微細化用被覆剤の１０質量％以下である、パターン微細化用被覆剤。

【請求項3】

前記（Ａ）含窒素化合物が、下式（１）又は下式（２）で表される化合物である、請求項１又は２に記載のパターン微細化用被覆剤。

【化1】

（式（１）中、Ｒ^１は炭素原子数８以上のアルキル基であり、Ｒ^２は−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^３は水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５で表される基である。式（２）中、Ｒ^１及びＲ^２は式（１）と同様であり、Ｒ^３はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^４はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｒ^５で表される基であり、Ｘ⁻は１価のアニオンである。Ａはエチレン基又はプロピレン基であり、Ｒ^５は水素原子又はアルキル基であり、ｑ、ｒ、及びｓは−Ａ−Ｏ−で表される２価の基の平均繰り返し数であり、ｑは正の数であり、ｒ、及びｓはそれぞれ０又は正の数であり、式（１）中、ｑ＋ｒは４以上であり、式（２）中、ｑ＋ｒ＋ｓは４以上である。）

【請求項4】

基板上に形成されたポジ型レジストパターンの表面に被膜を形成し、微細パターンを形成するために用いられるパターン微細化用被覆剤であって、
（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有し、
前記（Ａ）含窒素化合物が、下式（２）で表される化合物である、パターン微細化用被覆剤。

【化2】

（式（２）中、Ｒ^１は炭素原子数８以上のアルキル基であり、Ｒ^２は−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^３はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^４はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｒ^５で表される基であり、Ｘ⁻は１価のアニオンである。Ａはエチレン基又はプロピレン基であり、Ｒ^５は水素原子又はアルキル基であり、ｑ、ｒ、及びｓは−Ａ−Ｏ−で表される２価の基の平均繰り返し数であり、ｑは正の数であり、ｒ、及びｓはそれぞれ０又は正の数であり、ｑ＋ｒ＋ｓは４以上である。）

【請求項5】

前記式（２）において、前記Ｒ^３が−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｈで表される基であり、前記Ｒ^４が−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｈで表される基である、請求項３又は４に記載のパターン微細化用被覆剤。

【請求項6】

（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含有する、請求項２〜５のいずれか１項に記載のパターン微細化用被覆剤。

【請求項7】

前記（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物以外の他の（Ｃ）塩基性含窒素化合物を含有する、請求項２〜６のいずれか１項に記載のパターン微細化用被覆剤。

【請求項8】

前記（Ｃ）塩基性含窒素化合物が、下式（Ｃ１）で表される４級アンモニウム水酸化物である、請求項１又は７に記載のパターン微細化用被覆剤。

【化3】

（式（Ｃ１）中、Ｒ^ｃ１、Ｒ^ｃ２、Ｒ^ｃ３、Ｒ^ｃ４は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、及びアラルキル基からなる群より選択される基である。）

【請求項9】

前記（Ｂ）有機溶剤が、フッ素原子を含んでいてもよいアルコール、炭化水素、水酸基を含まないエーテル類、及びエーテル結合又はエステル結合を含んでいてもよいフッ素化脂肪族炭化水素からなる群より選択される１種以上である、請求項１〜８のいずれか１項に記載のパターン微細化用被覆剤。

【請求項10】

基板上のポジ型レジストパターンを請求項１〜９のいずれか１項に記載のパターン微細化用被覆剤からなる被膜で被覆し、次いで、前記ポジ型レジストパターンから前記被膜を溶解除去することで、前記被膜で被覆される前のポジ型レジストパターンよりも、パターン中のレジスト部が微細化されたポジ型レジストパターンを得る、ポジ型レジストパターンのスリミング処理方法。

【請求項11】

前記ポジ型レジストパターンを前記パターン微細化用被覆剤からなる被膜で被覆した後に、前記被膜で被覆された前記ポジ型レジストパターンを加熱する工程を含む、請求項１０に記載のポジ型レジストパターンのスリミング処理方法。

【請求項12】

基板上のポジ型レジストパターンをパターン微細化用被覆剤からなる被膜で被覆した後に、前記被膜で被覆された前記ポジ型レジストパターンを６０〜１４０℃で加熱し、次いで、前記ポジ型レジストパターンから前記被膜を溶解除去することで、前記被膜で被覆される前のポジ型レジストパターンよりも、パターン中のレジスト部が微細化されたポジ型レジストパターンを得る、ポジ型レジストパターンのスリミング処理方法であって、
前記パターン微細化用被覆剤が、（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有し、
前記（Ａ）含窒素化合物が、窒素原子に結合する炭素原子数８以上のアルキル基を有し、前記アルキル基が結合している窒素原子１モルに対して、４モル以上のエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが付加した化合物である、ポジ型レジストパターンのスリミング処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、パターン微細化用被覆剤、及び当該パターン微細化用被覆剤を用いるポジ型レジストパターンのスリミング処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイス、液晶デバイス等の電子部品の製造においては、基板にエッチング等の処理を施す際にホトリソグラフィ技術が用いられている。このホトリソグラフィ技術では、活性放射線に感応するいわゆるホトレジスト材料を用いて基板上に被膜（レジスト層）を設け、次いでこれを活性放射線で選択的に照射して露光し、現像処理を行った後、レジスト層を選択的に溶解除去して、基板上に画像パターン（レジストパターン）を形成する。そして、このレジストパターンを保護層（マスクパターン）としてエッチング処理を行うことにより、基板に配線パターンを形成する。

【0003】

近年、半導体デバイスの高集積化、微小化の傾向が高まり、これらレジストパターンの形成についても微細化が進み、超微細加工が要求されている。このようなレジストパターンの超微細化への対応に加え、パターン形成方法の面からも、レジスト材料の持つ解像度の限界を超えるパターン微細化技術の研究・開発が行われている。

【0004】

超微細なレジストパターンを形成する方法としては、例えば、水溶性樹脂及びアルカリ可溶性樹脂から選択される少なくとも１種を含有する被覆剤を用いる方法が知られている（特許文献１）。特許文献１に記載の方法では、基板上に形成されたレジストパターンの表面に被覆剤を塗布して被膜を形成した後に、水や弱アルカリ性の水溶液で現像を行うことで、超微細なレジストパターンを形成する。

【0005】

この方法においては、レジスト組成物からなるレジスト部と、非レジスト部とからなるレジストパターンの表面に被膜が形成された後、被膜に含まれる樹脂成分がレジスト部の表面に含浸して、レジスト部の表面にミキシング層が形成される。そして、現像によって、被膜とともにミキシング層が除去されることで、被覆剤が塗布される前のレジストパターンよりも、ミキシング層が除去された分だけ寸法が小さくなったレジスト部を備える微細なレジストパターンが得られる（以下、レジストパターン中のレジスト部の表層を溶解除去して、レジスト部の寸法を小さくすることでレジストパターンを微細化することをスリミングとも記す）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００３−２１５８１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

レジストパターン中のレジスト部の表面には、一般的に微小な凹凸があるため、この微小な凹凸に起因するレジスト部の表面のラフネスの低減が望まれている。しかし、特許文献１に記載されるミキシング層を形成する方法によってレジストパターンを微細化する場合、レジストパターン中のレジスト部の表面のラフネスの低減が困難である。特許文献１に記載の方法では、被膜中の樹脂成分をレジスト部の表面に浸透させてミキシング層が形成されるため、ミキシング層の形状が、レジスト部の表面の凹凸に沿った形状となるためである。

【0008】

また、特許文献１に記載の方法では、レジスト部表面におけるミキシングが、レジスト部の側面のみならず頂部でも生じてしまう。このため、特許文献１に記載される方法でレジストパターンの微細化を行う場合、パターン部の高さが低下してしまったり、レジストパターン中のパターン部の断面形状は、通常、矩形であることが望まれるところ、パターン部の断面形状が、頂部が丸まった形状になったりする不具合がある。このような不具合が生じた場合、例えば、レジストパターンをエッチングマスクとしてエッチングを行う場合に、エッチング時のプロセスマージンが低下してしまう。

【0009】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、ポジ型レジストパターンのスリミングとラフネス低減とを両立でき、スリミングされたポジ型レジストパターンの断面形状を悪化させない、パターン微細化用被覆剤と、当該パターン微細化用被覆剤を用いるポジ型レジストパターンのスリミング処理方法とを提供すること目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明者らは、ポジ型レジストパターンに対して用いられる、パターン微細化用被覆剤として、特定の構造の（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含む被覆剤を用いることにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。

【0011】

本発明の第一の態様は、基板上に形成されたポジ型レジストパターンの表面に被膜を形成し、微細パターンを形成するために用いられるパターン微細化用被覆剤であって、
（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有し、
（Ａ）含窒素化合物が、窒素原子に結合する炭素原子数８以上のアルキル基を有し、アルキル基が結合している窒素原子１モルに対して、４モル以上のエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが付加した化合物である、パターン微細化用被覆剤である。

【0012】

本発明の第二の態様は、基板上のポジ型レジストパターンを第一の態様に係るパターン微細化用被覆剤からなる被膜で被覆し、次いで、ポジ型レジストパターンから被膜を溶解除去することで、被膜で被覆される前のポジ型レジストパターンよりも、パターン中のレジスト部が微細化されたポジ型レジストパターンを得る、ポジ型レジストパターンのスリミング処理方法である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、ポジ型レジストパターンのスリミングとラフネス低減とを両立でき、スリミングされたポジ型レジストパターンの断面形状を悪化させない、パターン微細化用被覆剤と、当該パターン微細化用被覆剤を用いるポジ型レジストパターンのスリミング処理方法とを提供することができる。

【発明を実施するための形態】

【0014】

≪パターン微細化用被覆剤≫
本発明に係るパターン微細化用被覆剤（以下、被覆剤とも記す。）は、所定の構造の（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含む。本発明に係る被覆剤を用いて所定方法でポジ型レジストパターンを処理することにより、パターン中のレジストを微細化しつつパターン表面のラフネスを低減させることができる。パターンのスリミング量等を考慮すると、（Ａ）含窒素化合物以外の（Ｃ）塩基性含窒素化合物、並びに（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーから選択される成分を含むのが好ましい。
以下、本発明に係るパターン微細化用被覆剤が含む、必須、又は任意の成分について説明する。

【0015】

＜（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物＞
被覆剤は、特定の構造の（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物を含有する。（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物は、窒素原子に結合する炭素原子数８以上のアルキル基を有し、当該アルキル基が結合している窒素原子１モルに対して、４モル以上、好ましくは５モル以上、より好ましくは７モル以上のエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが付加した化合物である。

【0016】

（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物に含まれる窒素原子の数は、（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物が所定の構造である限り特に限定されないが、通常、１であるのが好ましい。

【0017】

上記の構造を有する（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物は、オキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位と、長鎖アルキル基とを有することにより界面活性剤的な性質を有する。このため、本発明に係る被覆剤を用いる場合、（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物がポジ型レジストパターン中のレジスト部の表面に良好に吸着されやすい。レジスト部の表面に吸着された（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物は、その界面活性剤的な作用によってレジスト部の表層の可溶化を促進させると思われる。

【0018】

レジスト部の側面の表面には、通常、微小な凹凸が存在するとともに、現像処理時の溶解残に由来するアルカリ可溶性基が少量露出する。このため、（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物は、その塩基的な性質に基づいて、レジスト部の側面の表面に良好に吸着された際、脱保護が不十分で現像処理で溶解し切れなかった、レジスト部の側面の表面を一部溶解させると思われる。これに対して、露光されていないレジスト部の頂部にはアルカリ可溶性基が殆ど露出していないため、レジスト部の頂部には（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物が吸着はされるが殆ど作用せずレジストを溶解しない。このため、本発明に係る被覆剤を用いてパターンを微細化すると、パターン部の高さを低下させたり、パターン部の断面形状を頂部が丸まった形状にすることなく、レジストパターンの表面が平滑化され、ポジ型レジストパターンのラフネスが低減されると考えられる。

【0019】

（Ｂ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物としては、下式（１）又は下式（２）で表される化合物が好ましい。

【化1】

（式（１）中、Ｒ^１は炭素原子数８以上のアルキル基であり、Ｒ^２は−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^３は水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５で表される基である。式（２）中、Ｒ^１及びＲ^２は式（１）と同様であり、Ｒ^３はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５で表される基であり、Ｒ^４はアルキル基、ヒドロキシアルキル基、又は−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｒ^５で表される基であり、Ｘ⁻は１価のアニオンである。Ａはエチレン基又はプロピレン基であり、Ｒ^５は水素原子又はアルキル基であり、ｑは正の数であり、ｒ、及びｓはそれぞれ０又は正の数であり、式（１）中、ｑ＋ｒは４以上であり、式（２）中、ｑ＋ｒ＋ｓは４以上である。）

【0020】

式（１）及び式（２）で表される化合物において、Ｒ^１としては炭素原子数８以上のアルキル基が好ましく、炭素原子数１２以上のアルキル基がより好ましい。Ｒ^１としてのアルキル基の炭素原子数は２０以下が好ましい。Ｒ^１としてのアルキル基の構造は特に限定されず、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。

【0021】

Ｒ^１としてのアルキル基の好適な具体例としては、ｎ−オクチル基、オクタン−２−イル基、オクタン−３−イル基、２−エチルヘキシル基、５−メチル−ヘプチル基、ｎ−ノニル基、ノナン−２−イル基、ノナン−３−イル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、デカン−２−イル基、デカン−３−イル基、７，７−ジメチルオクチル基、ｎ−ウンデシル基、ウンデカン−２−イル基、ウンデカン−３−イル基、ｎ−ドデシル基、ドデカン−２−イル基、ドデカン−３−イル基、ドデカン−４−イル基、ｎ−トリデシル基、トリデカン−２−イル基、ｎ−テトラデシル基、テトラデカン−２−イル基、ｎ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ヘキサデカン−２−イル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、オクタデカン−２−イル基、ｎ−ノナデシル基、ｎ−イコシル基、及びイコサン−２−イル基が挙げられる。

【0022】

式（１）及び式（２）で表される化合物が有する基である、−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｒ^５、−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５、及び−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｒ^５について、ｑ、ｒ、及びｓは、それぞれ、窒素原子に対するエチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドの平均付加数であって、整数でない場合がある。

【0023】

式（１）及び式（２）で表される化合物が有する基である、−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｒ^５、−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｒ^５、及び−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｒ^５について、Ｒ^５は水素原子又はアルキル基であって、水素原子であるのが好ましい。Ｒ^５がアルキル基である場合の炭素原子数は、１〜６が好ましく、１〜４がより好ましい。Ｒ^５がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、及びｎ−ヘキシル基が挙げられる。

【0024】

式（１）で表される化合物については、Ｒ^２が−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｈで表される基であり、Ｒ^３が−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｈで表される基であるのが好ましい。式（２）で表される化合物については、Ｒ^２が−（Ａ−Ｏ）_ｑ−Ｈで表される基であり、Ｒ^３が−（Ａ−Ｏ）_ｒ−Ｈで表される基であり、Ｒ^４が−（Ａ−Ｏ）_ｓ−Ｈで表される基であるのが好ましい。

【0025】

式（１）におけるｑ＋ｒの値及び式（２）における、ｑ＋ｒ＋ｓの値はそれぞれ４以上であり、４以上２５以下が好ましく、４以上２０以下がより好ましく、７以上２０以下が特に好ましい。（Ｂ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物として、式（１）中のｑ＋ｒ、及び式（２）中のｑ＋ｒ＋ｓの値が上記の範囲内となるように、エチレンオキシド及び／又はプロピレンオキシドが窒素原子に付加している化合物を被覆剤に配合することで、ポジ型レジストパターンを良好にスリミングでき、且つラフネスを低減させることができる。

【0026】

式（１）及び式（２）において、Ｒ^３又はＲ^４がアルキル基又はヒドロキシアルキル基である場合、アルキル基及びヒドロキシアルキル基の炭素原子数は特に限定されず、１〜８が好ましく、１〜６がより好ましい。Ｒ^３又はＲ^４がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル、及びｎ−オクチル基が挙げられる。Ｒ^３又はＲ^４がヒドロキシアルキル基である場合の具体例としては、ヒドロキシメチル基、２−ヒドロキシエチル基、３−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、４−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、５−ヒドロキシ−ｎ−ペンチル基、６−ヒドロキシ−ｎ−ヘキシル基、７−ヒドロキシ−ｎ−ヘプチル基、８−ヒドロキシ−ｎ−オクチル基が挙げられる。

【0027】

式（２）において、Ｘ⁻は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。Ｘ⁻としては、水酸化物イオンや、塩化物イオン、臭化物イオン、沃化物イオンのようなハロゲン化物イオンが好ましく、水酸化物イオンがより好ましい。

【0028】

式（１）で表される化合物の好ましい例としては、以下のものが挙げられる。下式中、ｍ及びｎは正の数であり、ｍ＋ｎは４以上である。

【化2】

【0029】

式（２）で表される化合物の好ましい例としては、以下のものが挙げられる。下式中、ｍ、ｎ、及びｌは正の数であり、ｍ＋ｎ＋ｌは４以上である。

【化3】

【0030】

以上説明した（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物は、複数種を組み合わせて用いてもよい。被覆剤中の（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。被覆剤中の（Ａ）含窒素化合物のアルキレンオキシド付加物の含有量は、被覆剤の全液量に対して、０．００１質量％以上１質量％以下が好ましく、０．０１質量％以上０．８質量％以下がより好ましく、０．０５質量％以上０．５質量％以下が特に好ましい。

【0031】

＜（Ｂ）有機溶剤＞
被覆剤は、（Ａ）含窒素化合物や、後述する（Ｃ）塩基性含窒素化合物、（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマー等の成分を溶解させる溶媒として、（Ｂ）有機溶剤を含む。被覆剤が溶媒として（Ｂ）有機溶剤を含む場合、ポジ型レジストパターンを被覆剤で被覆する際に、ポジ型レジスト組成物を塗布するためのカップを用いてポジ型レジストパターンの被覆を行っても、カップ中での混濁が生じない。このため、被覆剤による被覆を行う際にカップの交換が不要であり、スリミングされたポジ型レジストパターンを効率よく形成できる。また、（Ｂ）有機溶剤を主体とする被覆剤は、ポジ型レジストパターンに対する濡れ性が良好である。

【0032】

（Ｂ）有機溶剤は、ポジ型レジストパターンを溶解させない種々の有機溶剤から適宜選択される。（Ｂ）有機溶剤としては、ポジ型レジストパターンを実質的に全く溶解させないものが好ましい。ただし、（Ｂ）有機溶剤は、ポジ型レジストパターンを全く溶解させないものに限定されない。例えば、ポジ型レジストパターンと有機溶剤とを室温で接触させる場合に、ポジ型レジストパターンを、その幅が１ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以下低下する程度にしか溶解させない有機溶剤の使用が許容される。

【0033】

好適な有機溶剤の例としては、フッ素原子を含んでいてもよいアルコール、炭化水素、水酸基を含まないエーテル類、及びエーテル結合又はエステル結合を含んでいてもよいフッ素化脂肪族炭化水素からなる群より選択される１種以上が好ましい。以下、好適な有機溶剤について説明する。

【0034】

（フッ素原子を含んでいてもよいアルコール）
アルコールは１価のアルコールであっても、２価以上の多価アルコールであってもよい。アルコールは、フッ素原子を含まないアルカノールであってもよく、フッ素原子を含むフルオロアルカノールであってもよい。また、アルコールは、エーテル結合を含んでいてもよい。さらにアルコールは、鎖状構造であっても、環状構造であっても、鎖状構造と環状構造とを組み合わせた構造であってもよい。

【0035】

フッ素原子及びエーテル結合を含まない鎖状のアルコールの具体例としては、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、ｎ−ペンタノール、ｓｅｃ−ペンタノール、ｔｅｒｔ−ペンタノール、イソペンタノール、ネオペンチルアルコール、２−メチル−１−ブタノール、ｎ−ヘキサノール、４−メチル−２−ペンタノール、２−エチルブタノール、ｎ−ヘプタノール、３−ヘプタノール、５−メチル−１−ヘキサノール、ｎ−オクタノール、２−オクタノール、３−オクタノール、４−オクタノール、６−メチル−２−ヘプタノール、及び２−エチル−１−ヘキサノールが挙げられる。

【0036】

フッ素原子及びエーテル結合を含まない環状構造を含むアルコールの具体例としては、シクロペンタンメタノール、１−シクロペンチルエタノール、シクロヘキサノール、シクロヘキサンメタノール（ＣＭ）、シクロヘキサンエタノール、１，２，３，６−テトラヒドロベンジルアルコール、ｅｘｏ−ノルボルネオール、２−メチルシクロヘキサノール、シクロヘプタノール、３，５−ジメチルシクロヘキサノール、及びベンジルアルコールが挙げられる。

【0037】

フッ素原子を含まず、エーテル結合を含む鎖状のアルコールの具体例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、及びジプロピレングリコールから選択される多価アルコールのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、又はモノブチルエーテルが挙げられる。これらの中では、プロピレングリコールモノブチルエーテル（１−ブトキシ−２−プロパノール）、プロピレングリコールモノプロピルエーテル（１−プロポキシ−２−プロパノール）、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノールが好ましい。

【0038】

フッ素原子を含むアルコールとしては、炭素原子数４〜１２であるものが好ましい。フッ素原子を含むアルコールの具体例としては、Ｃ_４Ｆ_９ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨ、及びＣ_３Ｆ_７ＣＨ_２ＯＨが挙げられる。

【0039】

以上例示したアルコールの中では、１−ブトキシ−２−プロパノール（ＢＰ）、イソブタノール（２−メチル−１−プロパノール）、４−メチル−２−ペンタノール、ｎ−ブタノール、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、が好ましい。

【0040】

（炭化水素）
炭化水素は、パラフィン系の溶剤から適宜選択される。炭化水素の具体例としては、ｎ−ヘプタンが挙げられる。

【0041】

（水酸基を含まないエーテル類）
水酸基を含まないエーテル類の好適な例としては、次式Ｒ^ｂ１−Ｏ−Ｒ^ｂ２で表される化合物が挙げられる。前述の式において、Ｒ^ｂ１、Ｒ^ｂ２はそれぞれ独立に１価の炭化水素基であり、Ｒ^ｂ１とＲ^ｂ２とが結合して環を形成していてもよい。

【0042】

Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２の好適な例としては、アルキル基、アリール基、及びアラルキル基等が挙げられ、アルキル基が好ましい。Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２がいずれもアルキル基であるのが好ましく、Ｒ^ｂ１とＲ^２とが同じアルキル基であることがより好ましい。

【0043】

Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２がアルキル基である場合、その構造及び炭素原子数に特に制限はない。アルキル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜１０が特に好ましい。アルキル基の構造は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。

【0044】

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、及びヘキシル基等が挙げられ、ｎ−ブチル基、及びイソペンチル基が特に好ましい。

【0045】

Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２がアリール基又はアラルキル基である場合、その構造及び炭素原子数に特に制限はない。アリール基又はアラルキル基の炭素原子数は６〜１２が好ましく、６〜１０がより好ましい。アリール基又はアラルキル基に含まれる芳香環は、その芳香環上の水素原子の一部又は全部がアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等で置換されていてもよい。

【0046】

アリール基又はアラルキル基の具体例としては、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基等が挙げられる。アリール基又はアラルキル基が芳香環上に置換基としてアルキル基を有する場合、当該アルキル基としては、炭素原子数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、及びｔｅｒｔ−ブチル基がより好ましい。

【0047】

アリール基又はアラルキル基が芳香環上に置換基としてアルコキシ基を有する場合、当該アルコキシ基としては、炭素原子数１〜５のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基、及びエトキシ基がより好ましい。

【0048】

アリール基又はアラルキル基が芳香環上に置換基としてハロゲン原子を有する場合、当該ハロゲン原子はフッ素原子であるのが好ましい。

【0049】

Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２互いに結合して環を形成する場合、Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２は、それぞれ独立に直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基（好ましくは炭素原子数１〜１０のアルキレン基）であり、Ｒ^ｂ１の末端と、Ｒ^ｂ２の末端とが結合して環を形成する。また、当該アルキレン基は、その鎖中にエーテル結合を含んでいてもよい。Ｒ^ｂ１及びＲ^ｂ２が環を形成しているエーテル類の具体例としては、１，４−シネオール、１，８−シネオール、ピネンオキサイド、テトラヒドロフラン、ジオキサン等が挙げられる。

【0050】

水酸基を含まないエーテル類の具体例としては、１，４−シネオール、１，８−シネオール、ピネンオキサイド、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、メチルエチルエーテル、ジ−ｎ−プロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジ−ｎ−ブチルエーテル、ジ−ｎ−ペンチルエーテル、ジイソペンチルエーテル（ジイソアミルエーテル）、ジオキサン、アニソール、エチルベンジルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテルジヘキシルエーテル、及びジプロピルエーテル等が挙げられる。これらの中では、１，８−シネオール、ジ−ｎ−ブチルエーテル、及びジイソペンチルエーテルが好ましい。

【0051】

（エーテル結合又はエステル結合を含んでいてもよいフッ素化脂肪族炭化水素）
エーテル結合又はエステル結合を含んでいてもよいフッ素化脂肪族炭化水素としては、炭素原子数が３〜１５であるものが好ましく用いられる。

【0052】

エーテル結合を含むフッ素化脂肪族炭化水素としては、Ｒ^ｂ３ＯＲ^ｂ４（Ｒ^ｂ３及びＲ^ｂ４は、それぞれ独立にアルキル基を示し、両アルキル基の炭素原子数の合計が３〜１５であり、少なくともその水素原子の一部又は全部がフッ素原子により置換されている。Ｒ^ｂ３及びＲ^ｂ４は、互いに結合して環を形成してもよい。）で表されるフッ素化アルキルエーテルが好ましい。

【0053】

エステル結合を含むフッ素化脂肪族炭化水素としては、Ｒ^ｂ５ＣＯＯＲ^ｂ６（Ｒ^ｂ５及びＲ^ｂ６は、それぞれ独立にアルキル基を示し、両アルキル基の炭素原子数の合計が３〜１５であり、少なくともその水素原子の一部又は全部がフッ素原子により置換されている。）で表されるフッ素化アルキルエステルが好ましい。

【0054】

上記のフッ素化アルキルエーテルの好適な例としては、下記式（Ｂ−１）で表される化合物と、フルオロ−２−ブチルテトラヒドロフランと、が挙げられる。また、上記のフッ素化アルキルエステルの好適な例としては、下記式（Ｂ−２）及び（Ｂ−３）で表される化合物が挙げられる。

【0055】

【化4】

【0056】

以上説明した有機溶剤の中では、イソブタノール（２−メチル−１−プロパノール）、４−メチル−２−ペンタノール、プロピレングリコールモノブチルエーテル（１−ブトキシ−２−プロパノール（ＢＰ））、プロピレングリコールモノプロピルエーテル（１−プロポキシ−２−プロパノール）、及びジイソペンチルエーテル（ジイソアミルエーテル）が好ましい。

【0057】

被覆剤は、溶媒として（Ｂ）有機溶剤のみを含むのが好ましいが、本発明の目的を阻害しない範囲で水を含んでいてもよい。被覆剤中の水の含有量は、被覆剤の質量を１００質量％とする場合に、１０質量％以下であるのが好ましく、５質量％以下であるのがより好ましく、３質量％以下であるのが特に好ましく、１質量％以下であるのが最も好ましい。

【0058】

＜（Ｃ）塩基性含窒素化合物＞
被覆剤は、（Ｃ）塩基性含窒素化合物を含んでいてもよい。（Ｃ）塩基性含窒素化合物は、（Ａ）含窒素化合物に該当しない化合物である。被覆剤に、（Ｃ）塩基性含窒素化合物を配合することにより、被覆剤の奏するスリミングの効果を高めることができる。

【0059】

（Ｃ）塩基性含窒素化合物としては、水溶性アミン化合物や、塩基性の４級アンモニウム塩が好ましく、塩基性の４級アンモニウム塩がより好ましい。

【0060】

水溶性アミン化合物の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、２−（２−アミノエトキシ）エタノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−ブチルエタノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン等のアルカノールアミン類；ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、プロピレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエチレンジアミン、１，４−ブタンジアミン、Ｎ−エチル−エチレンジアミン、１，２−プロパンジアミン、１，３−プロパンジアミン、１，６−ヘキサンジアミン等のポリアルキレンポリアミン類；２−エチル−ヘキシルアミン、ジオクチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリプロピルアミン、トリアリルアミン、ヘプチルアミン、シクロヘキシルアミン、テトラヒドロフルフリルアミン等の脂肪族アミン類；ベンジルアミン、ジフェニルアミン等の芳香族アミン類；ピペラジン、Ｎ−メチル−ピペラジン、ヒドロキシエチルピペラジン、１，４−ジアザビシクロ（２，２，２）オクタン、１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）−７−ウンデセン等の環状アミン類等が挙げられる。

【0061】

塩基性の４級アンモニウム塩としては、下式（Ｃ１）で表される４級アンモニウム水酸化物が好ましい。

【化5】

（式（Ｃ１）中、Ｒ^ｃ１、Ｒ^ｃ２、Ｒ^ｃ３、Ｒ^ｃ４は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、及びアラルキル基からなる群より選択される基である。）

【0062】

式（Ｃ１）中、Ｒ^ｃ１、Ｒ^ｃ２、Ｒ^ｃ３、及びＲ^ｃ４が、アルキル基又はヒドロキシアルキル基である場合、アルキル基及びヒドロキシアルキル基の炭素原子数は特に限定されず、１〜８が好ましく、１〜６がより好ましい。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル、及びｎ−オクチル基が挙げられる。ヒドロキシアルキル基の具体例としては、ヒドロキシメチル基、２−ヒドロキシエチル基、３−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、４−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、５−ヒドロキシ−ｎ−ペンチル基、６−ヒドロキシ−ｎ−ヘキシル基、７−ヒドロキシ−ｎ−ヘプチル基、８−ヒドロキシ−ｎ−オクチル基が挙げられる。

【0063】

式（Ｃ１）中、Ｒ^ｃ１、Ｒ^ｃ２、Ｒ^ｃ３、及びＲ^ｃ４が、アラルキル基である場合、アラルキル基の炭素原子数は特に限定されず、７〜１２が好ましい。アラルキル基の具体例としては、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、α−ナフチルエチル基、及びβ−ナフチルエチル基等が挙げられる。

【0064】

式（Ｃ１）で表される４級アンモニウム水酸化物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、メチルトリプロピルアンモニウムヒドロキシド、メチルトリブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、及びベンジルトリエチルアンモニウムヒドロキシド等が挙げられる。

【0065】

被覆剤中の、（Ｃ）塩基性含窒素化合物の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。（Ｃ）塩基性含窒素化合物は、被覆剤の質量を１００質量％とする場合に、０．１〜５質量％が好ましく、０．１〜１質量％がより好ましい。

【0066】

＜（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマー＞
パターン微細化用被覆剤は、（Ａ）含窒素化合物、及び（Ｂ）有機溶剤以外に、（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含んでいてもよい。被覆剤が、（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含むことにより、所望する膜厚であって、均一な膜厚の被膜でポジ型レジストパターンの表面を被覆しやすい。また、被覆剤に、（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを配合することにより、被覆剤によるスリミング及びラフネス改善の効果が高められる。
以下、水溶性ポリマー及びアルカリ可溶性ポリマーについて説明する。

【0067】

〔水溶性ポリマー〕
水溶性ポリマーの種類は、ポジ型レジストパターン上に所望の膜厚の塗布膜を形成可能な濃度で、覆剤中に均一に溶解可能であって、被覆剤に溶解させた場合にゲル化しないものであれば特に限定されない。

【0068】

水溶性ポリマーの好適な例としては、一種以上のアクリル系単量体の重合体、一種以上のビニル系単量体の重合体、アクリル系単量体とビニル系単量体との共重合体、セルロース系樹脂、アミド系樹脂、及び水溶性ペプチドの中から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。

【0069】

アクリル系単量体としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸メチル、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ−メチルアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、及びアクリロイルモルホリン等が挙げられる。

【0070】

ビニル系単量体としては、例えば、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルイミダゾリジノン、Ｎ−ビニルイミダゾール、酢酸ビニル、及びアリルアミン等が挙げられる。

【0071】

ビニル系単量体の重合体、又はアクリル系単量体とビニル系単量体との共重合体が酢酸ビニル由来する構成単位を有する場合、かかる構成単位のエステル基を加水分解してビニルアルコール単位としてもよい。また、そのビニルアルコール単位の水酸基は、アセタール等で保護されてもよい。

【0072】

セルロース系樹脂としては、例えば、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースヘキサヒドロフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートサクシネート、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロール、セルロールアセテートヘキサヒドロフタレート、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、メチルセルロース等が挙げられる。

【0073】

さらに、アミド系樹脂の中で水溶性のものも用いることができる。

【0074】

これら中でも、ビニル系樹脂が好ましく、特にはポリビニルピロリドンやポリビニルアルコールが好ましい。

【0075】

一種以上のアクリル系単量体の重合体、一種以上のビニル系単量体の重合体、アクリル系単量体とビニル系単量体との共重合体、セルロース系樹脂、及びアミド系樹脂の質量平均分子量は、５００以上５０００００以下であることが好ましく、１０００以上２０００００以下であることがより好ましい。

【0076】

水溶性ペプチドは、室温で水への溶解性が高く、低温でもゲル化しにくいペプチドであればよく、特に制限されない。水溶性ペプチドの質量平均分子量は１００００以下であることが好ましく、５０００以下がより好ましい。質量平均分子量が１００００以下である場合、水への溶解性が高く、低温でもゲル化しにくいため、溶液の安定性が高くなる。なお、質量平均分子量の下限は５００以上が好ましい。また、水溶性ペプチドは天然物由来であってもよく、合成物であってもよい。また、水溶性ペプチドの誘導体であってもよい。

【0077】

水溶性ペプチドとしては、例えば、コラーゲン由来の加水分解ペプチド、絹糸タンパク由来の加水分解ペプチド、大豆タンパク由来の加水分解ペプチド、小麦タンパク由来の加水分解ペプチド、コメタンパク由来の加水分解ペプチド、ゴマタンパク由来の加水分解ペプチド、エンドウタンパク由来の加水分解ペプチド、羊毛タンパク由来の加水分解ペプチド、カゼイン由来の加水分解ペプチド等が挙げられる。

【0078】

これらの水溶性ポリマーは、単独で用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。

【0079】

（アルカリ可溶性ポリマー）
アルカリ可溶性ポリマーとしては、フェノール性水酸基や、カルボキシル基等の親水性のアルカリ可溶性の官能基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性ポリマーの具体例としては、例えば、ノボラック樹脂、ポリヒドロキシスチレン（ＰＨＳ）やヒドロキシスチレン−スチレン共重合体等の、ヒドロキシスチレンから誘導される構成単位を有する樹脂（ＰＨＳ系樹脂）、アクリル酸エステルから誘導される構成単位を含有するアクリル系樹脂等が挙げられる。これらはいずれか１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

【0080】

被覆剤における、（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーの使用量は特に限定されず、被覆剤の粘度等を考慮して適宜定められる。被覆剤における（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーの含有量は、被覆剤の全質量を１００質量％とする場合に、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．１〜２質量％が特に好ましい。

【0081】

＜（Ｅ）任意の添加剤＞
パターン微細化用被覆剤は、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤、水溶性フッ素化合物等の任意の添加剤を含んでいてもよい。以下これらの任意の添加剤について順に説明する。

【0082】

・界面活性剤
界面活性剤としては、被覆剤に懸濁を発生しない等の特性が必要である。また、被覆剤が（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含有する場合、界面活性剤には（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーに対する高い溶解性が望まれる。このような特性を満たす界面活性剤を用いることにより、特に被覆形成剤を塗布する際の気泡（マイクロフォーム）発生を抑えることができ、このマイクロフォーム発生と関係があるとされるディフェクトの発生をより効果的に防止することができる。上記の点から、ポリオキシエチレンのリン酸エステル系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤のうちの１種以上が好ましく用いられる。

【0083】

上記ポリオキシエチレンのリン酸エステル系界面活性剤としては、下式（Ｅ１）で表されるものが好ましい。

【化6】

【0084】

上記式（Ｅ１）中、Ｒ^ｅ１は、炭素原子数１〜１０のアルキル基又はアルキルアリル基を示し、Ｒ^ｅ２は、水素原子又は（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）Ｒ^ｅ１（Ｒ^ｅ１は上記で定義した通り）を示し、ｘは１〜２０の整数を示す。

【0085】

かかるポリオキシエチレンのリン酸エステル系界面活性剤としては、具体的には「プライサーフＡ２１２Ｅ」、「プライサーフＡ２１０Ｇ」（以上、いずれも第一工業製薬株式会社製）等として市販されているものを好適に用いることができる。

【0086】

上記ノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシアルキレンのアルキルエーテル化物又はアルキルアミンオキシド化合物であることが好ましい。

【0087】

上記ポリオキシアルキレンのアルキルエーテル化物としては、下式（Ｅ２）又は（Ｅ３）で表される化合物が好ましく用いられる。

【化7】

【0088】

上記式（Ｅ２）、（Ｅ３）において、Ｒ^ｅ３及びＲ^ｅ４は、炭素原子数１〜２２の直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、水酸基を有するアルキル基、又はアルキルフェニル基を示す。Ａ_０は、オキシアルキレン基であり、オキシエチレン、オキシプロピレン及びオキシブチレン基の中から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。ｙは整数である。

【0089】

アルキルアミンオキシド化合物としては、下式（Ｅ４）又は（Ｅ５）で表される化合物が好ましく用いられる。

【化8】

【0090】

上記式（Ｅ４）及び（Ｅ５）において、Ｒ^ｅ５は、酸素原子で中断されていてもよい炭素原子数８〜２０のアルキル基又はヒドロキシアルキル基を示し、ｐは１〜５の整数を示す。

【0091】

上記式（Ｅ４）、又は式（Ｅ５）で表されるアルキルアミンオキシド化合物としては、オクチルジメチルアミンオキシド、ドデシルジメチルアミンオキシド、デシルジメチルアミンオキシド、ラウリルジメチルアミンオキシド、セチルジメチルアミンオキシド、ステアリルジメチルアミンオキシド、イソヘキシルジエチルアミンオキシド、ノニルジエチルアミンオキシド、ラウリルジエチルアミンオキシド、イソペンタデシルメチルエチルアミンオキシド、ステアリルメチルプロピルアミンオキシド、ラウリルジ（ヒドロキシエチル）アミンオキシド、セチルジエタノールアミンオキシド、ステアリルジ（ヒドロキシエチル）アミンオキシド、ドデシルオキシエトキシエトキシエチルジ（メチル）アミンオキシド、ステアリルオキシエチルジ（メチル）アミンオキシド等が挙げられる。

【0092】

このような界面活性剤を添加する場合の添加量は、被覆剤の全質量を１００質量％とする場合、１質量ｐｐｍ〜１０質量％が好ましく、１００質量ｐｐｍ〜２質量％がより好ましい。

【0093】

・水溶性フッ素化合物
水溶性フッ素化合物としては、被覆剤に懸濁を発生しない等の特性が必要である。また、被覆剤が（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含有する場合、水溶性フッ素化合物には（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーに対する高い溶解性が望まれる。このような特性を満たす水溶性フッ素化合物を用いることにより、さらにレベリング性（被覆剤の広がり度合い）を向上させることができる。このレベリング性は、界面活性剤の過剰量添加による接触角の引き下げにより達成することも可能であるが、界面活性剤添加量を過剰にした場合、ある一定以上の塗布向上性が認められないばかりか、過剰量とすることにより、塗布した際に被膜上に気泡（マイクロフォーム）が発生し、ディフェクトの原因となり得るという問題がある。この水溶性フッ素化合物を配合することにより、そのような発泡を抑制しつつ、接触角を下げ、レベリング性を向上させることができる。

【0094】

かかる水溶性フッ素化合物としては、フルオロアルキルアルコール類、フルオロアルキルカルボン酸類等が好ましく用いられる。フルオロアルキルアルコール類としては、２−フルオロ−１−エタノール、２，２−ジフルオロ−１−エタノール、トリフルオロエタノール、テトラフルオロプロパノール、オクタフルオロアミルアルコール等が挙げられる。フルオロアルキルカルボン酸類としては、トリフルオロ酢酸等が挙げられる。ただし、これら例示に限定されるものではなく、水溶性を有するフッ素化物であって、上述の効果を奏するものであれば限定されない。特には、炭素原子数６以下のフルオロアルキルアルコール類が好ましく用いられる。中でも入手しやすさ等の点から、トリフルオロエタノールが特に好ましい。

【0095】

このような水溶性フッ素化合物を添加する場合の添加量は、被覆剤の全質量を１００質量％とする場合、１質量ｐｐｍ〜１０質量％が好ましく、１００質量ｐｐｍ〜２質量％がより好ましい。

【0096】

≪微細パターンの形成方法≫
基板上のポジ型レジストパターンを前述のパターン微細化用被覆剤からなる被膜で被覆し、次いで、加熱されたポジ型レジストパターンから被膜を溶解除去することで、被膜で被覆される前のポジ型レジストパターンよりもスリミングされたポジ型レジストパターンを得ることができる。以下、前述の被覆剤を用いて微細パターンを形成する方法について、詳細に説明する。

【0097】

ポジ型レジストパターンを有する基板の作製は、特に限定されるものでなく、半導体デバイス、液晶表示素子、磁気ヘッドあるいはマイクロレンズ等の製造において用いられる常法により行うことができる。例えば、シリコンウェーハ等の基板上に、ポジ型ホトレジスト組成物を、スピンナー等で塗布、乾燥してホトレジスト層を形成した後、縮小投影露光装置等により、紫外線、ｄｅｅｐ−ＵＶ、エキシマレーザー光等の活性光線を、所望のマスクパターンを介して、真空中、あるいは所定の屈折率を有する液体を介して照射するか、あるいは電子線により描画した後、加熱し、次いでこれを現像液、例えば１〜１０質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液等のアルカリ性水溶液等を用いて現像処理することによって、基板上にポジ型レジストパターンを形成することができる。

【0098】

なお、ポジ型レジストパターンの材料となるポジ型ホトレジスト用組成物としては、アルカリ性の現像液によって現像可能なものであれば特に限定されず、ｉ、ｇ線用ポジ型ホトレジスト組成物、ＫｒＦ、ＡｒＦ、Ｆ_２等のエキシマレーザー用ポジ型ホトレジスト組成物、さらにはＥＢ（電子線）用ポジ型ホトレジスト組成物、ＥＵＶ用ポジ型ホトレジスト等、広く一般的に用いられるポジ型ホトレジスト組成物を用いることができる。

【0099】

次いで、ポジ型レジストパターンを有する基板上全面にわたって、被覆剤を塗布してポジ型レジストパターンを被覆剤からなる被膜で被覆する。被覆方法は従来の熱フロープロセスにおいて通常行われていた方法に従って行うことができる。すなわち、例えばバーコーター法、ロールコーター法、スリットコーター法、スピンナーを用いた回転塗布等の公知の塗布手段により、上記被覆剤がポジ型レジストパターン上に塗布される。

【0100】

被膜形成後、必要に応じて加熱処理を行ってもよい。加熱処理温度は、ポジ型レジストパターンを良好にスリミングできる温度であれば、特に限定されず、ポジ型レジストパターンが熱流動を起こさない温度で加熱するのが好ましい。ポジ型レジストパターンが熱流動を起こさない温度とは、被覆剤からなる被膜が形成されてなく、ポジ型レジストパターンだけを形成した基板を加熱した場合、該ポジ型レジストパターンに寸法変化（例えば、自発的流動による寸法変化等）を生じさせない温度をいう。このような温度での加熱処理を行うことにより、ポジ型レジストパターン中のパターン部の表層の可溶化を促進することができ、後の被膜を除去した後に、良好にスリミングされ、且つラフネスが低減されたポジ型レジストパターンを得ることができる。

【0101】

被覆剤からなる被膜で被覆されたポジ型レジストパターンを加熱する温度は、６０〜１４０℃が好ましく、８０〜１２０℃がより好ましい。加熱時間は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されないが３０〜９０秒間が好ましい。

【0102】

また、被覆剤からなる被膜の厚さとしては、特に限定されず、ポジ型レジストパターンを被覆できていればよい

【0103】

皮膜形成後、又は上記の加熱処理の後、ポジ型レジストパターンを有する基板上に残留する被覆剤からなる被膜は、水系溶剤、好ましくは純水による洗浄により除去される。そうすることで、被膜とともに、ポジ型レジストパターン中のレジスト部の表層が洗浄水に溶解し、スリミングされたポジ型レジストパターンが得られる。

【0104】

なお、水洗に先立ち、所望によりアルカリ水溶液（例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、コリン等）で被覆剤からなる被膜を備える基板を洗浄してもよい。アルカリ水溶液で洗浄した後に水洗を行う場合、被膜及びポジ型レジストパターン中のレジスト部の表層が溶解しやすく、ポジ型レジストパターンをより良好にスリミングさせることができる。

【0105】

なお、以上説明した工程は、ポジ型レジストパターン中のパターン部が所望する程度にスリミングされるまで、繰返して行われてもよい。

【0106】

以上説明する方法により、特定の構造の（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有する前述の被覆剤を用いてポジ型レジストパターンを微細化することで、ポジ型レジストパターン中のパターン部が良好にスリミングされ、且つ、ラフネスが低減された微細パターンを形成できる、

【実施例】

【0107】

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

【0108】

〔実施例１〜３４、及び比較例１〕
実施例において、（Ａ）成分である含窒素化合物として、下記化合物Ａ１及びＡ２を用いた。

【化9】

（Ａ１について、ｍ及びｎの和は平均７である。Ａ２について、ｍ、ｎ、及びｌの和は平均７である。）

【0109】

実施例及び比較例において、（Ｂ）成分である有機溶剤として、下記のＢ１〜Ｂ３を用いた。
Ｂ１：４−メチル−２−ペンタノール
Ｂ２：プロピレングリコールモノブチルエーテル（１−ブトキシ−２−プロパノール）
Ｂ３：プロピレングリコールモノプロピルエーテル（１−プロポキシ−２−プロパノール）

【0110】

実施例において、（Ｃ）成分である塩基性含窒素化合物として、下記のＣ１〜Ｃ７を用いた。
Ｃ１：ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド
Ｃ２：トリイソプロパノールアミン
Ｃ３：ジイソプロパノールアミン
Ｃ４：モノイソプロパノールアミン
Ｃ５：モノメチルエタノールアミン
Ｃ６：１，４−ジアザビシクロ（２，２，２）オクタン
Ｃ７：１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）−７−ウンデセン

【0111】

実施例及び比較例において、（Ｄ）成分である水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーとして、下記のＤ１〜Ｄ３を用いた。
Ｄ１：ポリビニルピロリドン（Ｋ３０、株式会社日本触媒製）
Ｄ２：ポリ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド）（質量平均分子量：１５０，０００）
Ｄ３：ポリヒドロキシスチレン（質量平均分子量：２，５００）

【0112】

それぞれ表１に記載の種類の（Ａ）成分と、（Ｃ）成分と、（Ｄ）成分とを、それぞれ表１に記載の濃度となるように、表１に記載の種類の（Ｂ）成分に溶解させて、各実施例及び比較例の被覆剤を得た。

【0113】

（評価）
１２インチシリコンウェーハ上に反射防止膜形成用塗布液（Ｂｒｅｗｅｒ社製、ＡＲＣ−２９Ａ）を塗布した後、２０５℃にて６０秒間加熱処理して、膜厚８９ｎｍの反射防止膜を設けた。この反射防止膜上に、ポジ型レジスト組成物（東京応化工業株式会社製、ＴＡＲＦ−ＰＩ６−１４４ＭＥ）をスピンナーを用いて塗布した後、１２０℃で６０秒間加熱処理して、膜厚１２０ｎｍのレジスト膜を形成させた。このようにして形成されたレジスト膜に対して、それぞれ幅６０ｎｍのラインとスペースとを備えるラインアンドスペースパターンを形成するためのマスクを介して露光処理した後、９０℃で６０秒間加熱処理した。その後、２．３８質量％ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）水溶液を用いて現像処理した後、イオン交換蒸留水によるリンスを行い、ラインアンドスペースパターンを得た。

【0114】

ラインアンドスペースパターンを備える基板の表面に対して、各実施例又は比較例の被覆剤を、スピンナーを用いて被膜の膜厚が６０ｎｍとなるように塗布して、ラインアンドスペースパターンの表面を被覆剤からなる被膜で被覆した。その後、２．３８質量％ＴＭＡＨ水溶液を用いてラインアンドスペースパターンの表面から被膜を除去した後、イオン交換蒸留水を１００秒間被膜に接触させた。このようにして得られた、微細化処理が施されたラインアンドスペースパターンについて、以下の評価を行った。

【0115】

なお、表１中のベークの項目について「有」と記載されている実施例又は比較例の被覆剤を用いている場合については、ＴＭＡＨ水溶液により被膜を除去する前に、被膜で被覆されたラインアンドスペースパターンを、１００℃で６０秒間加熱処理した。

【0116】

［ライン幅の微細化量の評価］
まず、微細化処理を施される前のラインアンドスペースパターンを、走査型電子顕微鏡で観察して、４００箇所のライン幅を測定した。４００箇所のライン幅の値の平均値を求めて、求められた平均値をライン幅Ｗ１（ｎｍ）とした。各実施例及び比較例の被覆剤を用いて微細化処理を施されたラインアンドスペースパターンについても、４００箇所のライン幅の平均値を求め、求められた平均値をライン幅Ｗ２（ｎｍ）とした。
求められたＷ１及びＷ２から、ライン幅の微細化量ΔＷ（ｎｍ）を、下式に従って算出した。
ΔＷ＝Ｗ１−Ｗ２
各実施例及び比較例の被覆剤を用いて微細化処理されたラインアンドスペースパターンについての、ライン幅の微細化量ΔＷを、表１に記す。なお、ΔＷが負の値である場合、被覆剤を用いて微細化処理した後に、ライン幅が未処理時のライン幅よりも増大したことを意味する。

【0117】

［ラインワイズラフネス（ＬＷＲ）の低下量の評価］
まず、微細化処理を施される前のラインアンドスペースパターンを、走査型電子顕微鏡で観察して、４００箇所のライン幅を測定した。４００箇所のライン幅の値から、ライン幅の標準偏差（σ）を求めた。次いで、標準偏差の３倍値（３σ）を算出し、３σの値を未処理のラインアンドスペースパターン中のラインのラフネス（Ｒ１、ｎｍ）とした。
各実施例の被覆剤を用いて微細所処理を施されたラインアンドスペースパターンについても、４００箇所のライン幅を測定し、Ｒ１と同様にして、微細化処理を施されたラインアンドスペースパターン中のラインのラフネス（Ｒ２、ｎｍ）を求めた。
求められたＲ１及びＲ２から、ＬＷＲの低下量ΔＲ（ｎｍ）を、下式に従って算出した。
ΔＲ＝Ｒ１−Ｒ２
各実施例の被覆剤を用いて微細化処理されたラインアンドスペースパターンについての、ＬＷＲの低下量ΔＲを、表１に記す。

【0118】

【表1】

【0119】

実施例１〜３４によれば、所定の構造の（Ａ）含窒素化合物と、（Ｂ）有機溶剤とを含有する被覆剤を用いて、所定の方法でポジ型レジストパターンを処理する場合、ポジ型レジストパターンのスリミングと、ラフネスの低減とを両立できることかが分かる。
また、実施例１〜３４によれば、（Ｃ）塩基性含窒素化合物、並びに（Ｄ）水溶性ポリマー、又はアルカリ可溶性ポリマーを含む被覆剤を用いる場合、これらを含まない被覆剤を用いる場合よりも、スリミング及びラフネス低減の効果が高いことが分かる。
さらに、実施例１〜３４の被覆剤を用いて処理されたポジ型レジストパターン中のレジスト部の形状を、走査型電子顕微鏡により観察したところ、レジスト部の高さは処理前と変わらず、レジスト部の断面形状は良好な矩形であった。

【0120】

比較例１によれば、アルカリ可溶性ポリマーを含んでいるが、所定の構造の（Ａ）含窒素化合物を含まない被覆剤を用いて、所定の方法でポジ型レジストパターンを処理する場合、ポジ型レジストパターンのラフネスはある程度改善されるが、ポジ型レジストパターンが殆どスリミングされないことかが分かる。