特許6324963固体照射光源及び検査システム

発明の名称　固体照射光源及び検査システム

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 346 位（83件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 271 位（96件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6324963

公報発行日　2018年5月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6324963

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