特許 6331334 摺動体、振動アクチュエータ及び光学部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6331334

(24)【登録日】2018年5月11日

(45)【発行日】2018年5月30日

(54)【発明の名称】摺動体、振動アクチュエータ及び光学部材

(51)【国際特許分類】

   H02N 2/04 20060101AFI20180521BHJP

   G02B 7/04 20060101ALI20180521BHJP

   C08L 27/12 20060101ALI20180521BHJP

【ＦＩ】

   H02N2/04

   G02B7/04 E

   C08L27/12

【請求項の数】8

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2013-226922(P2013-226922)

(22)【出願日】2013年10月31日

(65)【公開番号】特開2015-89264(P2015-89264A)

(43)【公開日】2015年5月7日

【審査請求日】2016年10月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100166338

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 正夫

(74)【代理人】

【識別番号】100152054

【弁理士】

【氏名又は名称】仲野 孝雅

(72)【発明者】

【氏名】塚田 晃弘

【審査官】 小林 紀和

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１１／０９６５７４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開昭６１−２６６４５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−２７２２１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２３３１７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−１２６７５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１３１５０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１９２９６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｎ ２／０４

Ｃ０８Ｌ ２７／１２

Ｇ０２Ｂ ７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１部材と、
前記第１部材に加圧接触され、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、を備え、
前記第１部材と前記第２部材の少なくとも一方の接触面に、母材樹脂に対して前記母材樹脂よりも融点の低い第１フッ素樹脂と前記母材樹脂よりも融点の高い第２フッ素樹脂とが添加された熱硬化性樹脂膜が形成されていること、
を特徴とする摺動体。

【請求項2】

請求項１に記載の摺動体において、
前記第１フッ素樹脂は、前記第２フッ素樹脂よりも少ない量が添加されている、摺動体。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載の摺動体において、
前記熱硬化性樹脂膜は、焼成されて形成されたものであること、
を特徴とする摺動体。

【請求項4】

請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の摺動体において、
前記フッ素樹脂は、前記熱硬化性樹脂膜の最表面近傍にフィルム状に配置されること、
を特徴とする摺動体。

【請求項5】

請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の摺動体において、
前記フッ素樹脂は、前記熱硬化性樹脂膜の最表面近傍にブリードアウトしていること、
を特徴とする摺動体。

【請求項6】

請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の摺動体において、
前記母材樹脂はポリアミドイミドで、前記フッ素樹脂は、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体であること、
を特徴とする摺動体。

【請求項7】

請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の摺動体を備えた振動アクチュエータ。

【請求項8】

請求項７に記載の振動アクチュエータを備えた光学部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、摺動体、振動アクチュエータ及び光学部材に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、摺動体として振動子と相対移動部材とを備える振動アクチュエータがある。振動子は、電気機械変換素子と弾性体とが接合され、電気機械変換素子の伸縮を利用して弾性体に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって、振動子（弾性体）に加圧接触した相対移動部材を摩擦駆動する。
この種の振動アクチュエータの摺動体において弾性体は、与えられた振動を効率よく相対移動部材へ伝えるために、高弾性材料、例えば、ステンレス系の金属材料等が用いられる。

【0003】

このような摺動体では、高効率化や駆動の安定性向上、耐久性向上の要求に対し、加圧接触する振動子と相対移動部材間の摩擦接触面に用いる材料、もしくは、その材料の組み合わせが提案されている。

【0004】

例えば、特許文献１には、振動子の相対移動部材に対する接触面と相対移動部材の振動子に対する接触面の一方が、ポリアミドイミド樹脂とフッ素樹脂により形成された熱硬化性樹脂膜であり、他方がアルマイト皮膜を配置する手法が開示されている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１−１６６９０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、振動子の相対移動部材に対する接触面と相対移動部材の振動子に対する接触面の一方が熱硬化性樹脂で構成される場合、熱硬化性樹脂の吸水率が高いために高温高湿環境下で膨潤などの変質が発生する場合がある。その結果として、駆動性能が低下する現象や、接触面の固着により駆動が不可能になる場合がある。

【0007】

本発明の課題は、良好な摺動性能を有する摺動体、振動アクチュエータ及び光学部材を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、第１部材と、前記第１部材に加圧接触され、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、を備え、前記第１部材と前記第２部材の少なくとも一方の接触面に、母材樹脂に対して前記母材樹脂よりも融点の低い第１フッ素樹脂と前記母材樹脂よりも融点の高い第２フッ素樹脂とが添加された熱硬化性樹脂膜が形成されていること、を特徴とする摺動体に関する。
また、本発明は、上記摺動体を備えた振動アクチュエータに関する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、良好な摺動性能を有する摺動体、振動アクチュエータ及び光学部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態のカメラを示す図である。

【図2】実施形態の超音波モータを示す図である。

【図3】実施形態の超音波モータの弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。

【図4】樹脂膜内の構造を模式的に示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態の摺動体として振動子１３と移動体１５とを有する、超音波モータ１０について説明する。図１は超音波モータ１０を備えた実施形態のカメラ１を示す図である。
カメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。

【0012】

レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、振動アクチュエータとして超音波モータを例にして説明する。超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。
この超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。

【0013】

図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって、撮像素子６の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子６によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

【0014】

図２は、本発明の実施形態の摺動体として振動子１３と移動体１５とを有する超音波モータ１０を示す図である。
超音波モータ１０は、圧電体１１及び弾性体１２を備える振動子１３と、移動体１５と、フレキシブルプリント基板１４と、振動吸収材１６と、支持体１７等とを備えている。

【0015】

圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、圧電体１１として圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体１１は、フェルト等の振動吸収材１６を介して、レンズ鏡筒３に設けられた支持体１７に固定されている。

【0016】

圧電体１１は、フレキシブルプリント基板１４を介して制御装置１０１が電気的に接続されており、制御装置１０１から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を励振する。
尚、制御装置１０１には、温度センサ１０２が接続されており、温度センサ１０２の検知結果に応じて、超音波モータ１０の回転数が一定となるように、圧電体１１に供給する駆動信号の周波数を調整している。

【0017】

弾性体１２は、圧電体１１の励振により進行波を発生する部材である。弾性体１２は、高弾性率を有するステンレス鋼、インバー鋼等の鉄合金により形成される。本実施形態の弾性体１２は、ＳＵＳ３０３により形成されている。
弾性体１２は、略円環形状の部材であり、一方の面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、他方の面には複数の溝１２ｂを切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。
櫛歯部１２ａの先端面は、後述する移動体１５と加圧接触する接触面であり、この面に発生する進行波によって移動体１５が回転駆動される。この櫛歯部１２ａの先端面には、最表面近傍がフィルム状または、ピンホールの少ないフッ素樹脂（FEP）の連続膜で構成されたポリアミドイミド樹脂を主原料とする樹脂膜１８（図３参照）が形成されている。この樹脂膜１８の形成方法や膜の構成等の詳細については後述する。

【0018】

移動体１５は、アルミニウム等の金属によって形成された略円環形状の部材である。本実施形態の移動体１５は、アルミニウム合金により形成されている。
移動体１５は、振動子１３（弾性体１２）に加圧接触され、進行波により摩擦駆動される。この移動体１５の振動子１３に対する接触面には、アルマイト皮膜層１９（図３参照）が形成されている。

【0019】

図３は、超音波モータ１０の摺動体として、弾性体１２と移動体１５との接触部分を拡大した図である。なお、図３では、超音波モータ１０の周方向の断面の一部を拡大して示している。

【0020】

弾性体１２の移動体１５との接触面（櫛歯部１２ａの先端面）には、樹脂膜１８が設けられている。移動体１５の弾性体１２との接触面には、アルマイト皮膜層１９が設けられている。従って、振動子１３と移動体１５とが摩擦接触する面は、樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９とが接触する形態となっている。

【0021】

（塗料組成比、塗装工程）
この樹脂膜１８は、次のような塗装工程で形成される。
まず、弾性体１２の移動体１５との接触面（櫛歯部１２ａの先端面）の脱脂処理を行う。このとき、更なる密着性向上のためにブラスト・エッチング等面を荒らす処理を行なってもよい。

【0022】

次に、樹脂膜１８を形成するために用いられる溶液は、ポリアミドイミド樹脂１００重量に対して、ＦＥＰを１２重量、ＰＴＦＥを１５重量、アルミナ粒子を３重量、顔料カーボンブラックを２重量配合されたものに、Ｎ−メチルピロリドンを混合したものである。
この溶液を弾性体１２の摩擦接触面に塗布し、８０〜１００℃で３０分〜1時間乾燥の後、２３０〜２８０℃程度の高温下に１５〜３０分聞放置して、乾燥硬化させる。

【0023】

硬化後、樹脂膜１８の表面にグリーンカーボランダム等を用いて表面を約２μｍ研磨して平坦にする。その際の表面粗さＲｚ（ＪＩＳ Ｂ０６０１−２００１）は、０．５μｍ以下であり、研磨後の膜厚は、３０μｍである。

【0024】

（移動体１５作成方法）
一方、アルマイト皮膜層１９は、アルミニウム合金（Ａ６０６１）によって形成された移動体１５の表面に陽極酸化処理を施すことにより形成される。

【0025】

（超音波モータ組立）
樹脂膜１８が形成された弾性体１２に圧電体１１を接合し、振動子１３を形成する。振動子１３の樹脂膜１８と移動体１５のアルマイト皮膜層１９とが接触するように振動子１３と移動体１５とを配置し、各部材を組み立てる。これらの工程を経て、超音波モータ１０が作製される。

【0026】

（樹脂膜１８の組成について）
図４は、前記の通り塗装された樹脂膜１８を模式的に示した断面図である。
樹脂膜１８は、樹脂膜１８の最表面を構成するテトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体（以下、ＦＥＰという）の連続膜１８ａと樹脂膜１８の上層に分布するＦＥＰ１８ｂ、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）１８ｃとアルミナ粒子１８ｄ、顔料カーボンブラック１８ｅが配合されたポリアミドイミド樹脂１８ｆを主材料とした樹脂膜である。

【0027】

（ポリアミドイミド樹脂について）
樹脂膜１８の主原料としてポリアミドイミド樹脂１８ｆ用いた場合、他の樹脂を塗膜として用いた場合に比べて、硬さ、耐塑性変形性、密着性や剥離強度、耐摩耗性、耐熱性、塗料安定性、加工性、耐沸水等の点において優れている。
特に、本実施形態では、移動体１５の接触時に樹脂膜１８にかかる応力に対して、ポリアミドイミド樹脂１８ｆを用いることで、樹脂膜１８の剥離強度・耐摩耗性・耐塑性変形性を向上できる。また、樹脂膜１８や振動子１３（弾性体１２）に対する密着性が向上し、プライマーを必要とせず、樹脂膜１８の耐久性が向上する。さらに樹脂膜１８の耐熱性が向上し、超音波モータ１０の駆動時に発生する摩擦熱によって、樹脂膜１８が変質することを防止できる。

【0028】

（ＦＥＰについて）
樹脂膜１８においては、ＦＥＰが混合されており、塗装膜の焼成時にブリードアウト（染み出し）により、ＦＥＰは樹脂膜１８の最表面において、ＰＴＦＥ１８ｃ、アルミナ粒子１８ｄ、カーボンブラック１８e、ポリアミドイミド樹脂１８ｆを覆うＦＥＰ連続膜１８ａとして形成される。
ＦＥＰは、母材となるポリアミドイミド樹脂１８ｆ（ガラス転移点約２８５℃)よりも低い、２７０度程度の融点を有する。ＦＥＰは、同じフッ素樹脂であるＰＴＦＥ（融点約３２７度、溶融粘度１０^１０〜１０^１１ ｐｏｉｓｅ（３８０℃下））などに比べ、低融点で溶融粘が低く（１０^７ ｐｏｉｓｅ （２３０℃下））、連続膜を形成しやすい。

【0029】

このＦＥＰ連続膜１８ａの膜厚は、前記研磨前で平均２〜５μｍである。また、最表面へのブリードアウトが完全でないＦＥＰは、ＦＥＰ１８ｂのように、樹脂膜１８の上層と下層でみた際、上層に高い密度で分布しており、最表面だけでなく樹脂膜１８の上層にも一部分布している。
なお、樹脂膜１８の膜厚に合わせてＦＥＰの分子量等の調整により、ＦＥＰ連続膜１８ａの膜厚を適宜調整して用いてよい。

【0030】

（ＦＥＰによる効果）
ＦＥＰ連続膜１８ａは図４に示すように、樹脂膜１８の最表面近傍に存在するフィルム状または、ピンホールの少ない連続膜である。ＦＥＰはＰＴＦＥなどに比べ、ピンホールが少なく、連続膜を構成しやすいフッ素樹脂として知られており、フッ素樹脂特有の吸水率が低く撥水性が高い点とＦＥＰ特有の高い隠ぺい性（ピンホールが少ないため）により、高温高湿環境下で、振動子１３と移動体１５とが摩擦接触する面において、ＦＥＰ連続膜１８ａが振動子１３の表面を構成する樹脂膜１８の主材料であるポリアミドイミド樹脂１０ｆの膨潤を防ぎ、超音波モータ１０の駆動性能低下や耐久性向上、固着・樹脂膜脱落の防止ができる。

【0031】

また樹脂膜１８の最表面を構成するＦＥＰ連続膜１８ａは、樹脂膜１８の上層に高い密度で分布しており、ＰＴＦＥなどに比べ、低融点である。このため、摩擦摺動面における樹脂膜最表面が摩耗した際も、摺動時の摩擦熱などで、連続膜の下層からフッ素樹脂を一部溶融させ補給することで、膜の物理的強度・高い摺動性・撥水性が保たれ、振動アクチュエータの性能を長期間維持することができる。

【0032】

（ＰＴＦＥについて）
ＰＴＦＥ１８ｃは、図４に示すように粒状である。このＰＴＦＥ１８ｃの一次粒子の径の平均は、１〜５μｍである。なお、本実施形態の樹脂膜１８の膜厚が３０μｍであるため、この大きさのＰＴＦＥ１８ｃを用いたが、膜厚の厚さに合わせてＰＴＦＥ１８ｃの平均径を適宜選択して用いてよい。

【0033】

（ＰＴＦＥによる効果）
ＰＴＦＥ１８ｃは、ＦＥＰ連続膜１８ａやその下層に分散するＦＥＰが摩耗し、減少する場合に備え、摺動性を補償するために樹脂膜１８に混合される。ＰＴＦＥは、ＦＥＰと同様にフッ素樹脂であり、撥水性と高い潤滑特性による摩擦係数低減効果がある。
長期の使用環境において、樹脂膜１８の最表面を構成するＦＥＰ連続膜１８ａが摩耗し下層にあるＦＥＰ１８ｂによる補給が尽き、ＦＥＰ連続膜１８ａの樹脂膜１８に対する被覆面積が減少する場合も考えられる。
その場合、高温高湿環境下において、樹脂膜１８の主原料であるポリアミドイミド樹脂１８ｆが膨潤し樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９において固着する恐れがある。しかし、ＰＴＦＥ１８ｃを混合し内部に分散させることにより、固着を抑止し、超音波モータの低速での起動性悪化を緩和させることができる。

【0034】

（アルミナ１８ｃについて）
図４に示される、アルミナ粒子１８ｄは、耐摩耗性向上の目的で樹脂膜１８に配合され、平均粒子は１〜３μｍがよい。

【0035】

（顔料１８ｅカーボンブラックについて）
本実施形態のカーボンブラック１８ｅは、顔料であり、その粒径の平均は約０．５μｍである。樹脂膜１８がカーボンブラック１８ｅを含有することによって、樹脂膜１８の緻密性が向上し、硬度や耐塑性変形性を向上させる効果を有する。
また、摩擦駆動によって樹脂膜１８の移動体１５（アルマイト皮膜層１９）との接触面内に生じた熱を接触面外へ伝導して接触面内に熱がこもることを防止し、駆動効率を向上させる効果を有する。
また、顔料１８ｅは、振動子１３と移動体１５との摩擦係数（すなわち、樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９との摩擦係数）を増大させ、保持トルクや最大負荷トルクを向上させる効果を有する。

【0036】

（ロッド型モータへの適用）
なお、以上の実施形態では、円環形状の超音波モータで駆動を円環の円周方向に取り出す形態を述べたが、円環に対し垂直方向に円環の中心からの出力軸をもつ形状の超音波モータ（いわゆるロッド型超音波モータ）に本発明を用いても良い。
特に、ロッド型超音波モータの多くは小型であり、発熱しやすく、高温高湿環境下で樹脂膜の膨潤が促進されやすい。
そこで、本発明により、高温高湿環境下の超音波モータの駆動性能低下や、振動子と移動体との固着を抑止する効果が期待できる。

【0037】

＜変形形態＞
（顔料について）
各実施形態では、顔料としてカーボンブラックを使用する例を示したが、これに限らず、コバルトニッケル等の顔料でもよい。

【0038】

（アルマイトについて）
各実施形態では、アルマイトとして硬質アルマイトを使用する例を示したが、これに限らず硫酸アルマイト・蓚酸アルマイトでもよい。

【0039】

（樹脂膜の形成箇所について）
各実施形態では、振動子１３の接触面（櫛歯部１２ａ）に樹脂膜１８を形成する例を示したが、これに限らず、移動体１５の接触面に樹脂膜を形成してもよい。また、振動子１３の接触面と移動体１５の接触面との双方に樹脂膜を形成してもよい。
さらに、弾性体を使用せずに、圧電体と移動体とが摩擦接触する形態の振動アクチュエータに適用してもよい。この場合、圧電体の移動体に対する接触面、移動体の圧電体に対する接触面の一方に樹脂膜を形成すればよい。

【0040】

（弾性体材料について）
各実施形態では、弾性体１２を形成する材料として、ステンレス鋼を用いたが、その他の鉄系材料を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよいし、リン青銅、アルミニウム系合金を用いてもよい。

【0041】

（移動体材料について）
各実施形態では、移動体１５は、アルミニウム合金によって形成される例を示したが、これに限らず、鉄系材料等を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよい。
また、ポリイミド樹脂や、ＰＥＥＫ（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ）樹脂等の耐熱性の高い樹脂を用いてもよい。

【0042】

（ＦＥＰの代替材料について）
実施形態では、樹脂膜最表面を緻密に覆い、ピンホールの少ないフッ素樹脂としてＦＥＰを用いる例を示したが、これに限らず、樹脂膜最表面を緻密に覆うフッ素樹脂を適宜選択及び、同時にして使用してよい。例えば、ＰＦＡ（ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｐｅｒｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌｖｉｎｙｌ ｅｔｈｅｒ Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）等が挙げられる。この場合、ＰＦＡは融点が、３１０℃なので、ブリードアウトさせるためには、母材樹脂の融点、またはガラス転移点３１０℃以上であるとよく、たとえば、融点３４０℃程度のＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などがよい。

【0043】

（ＰＴＦＥの代替材料について）
実施形態では、フッ素樹脂としてＰＴＦＥを用いる例を示したが、これに限らず、適当なフッ素樹脂を適宜選択して使用してよい。例えば、ＰＣＴＦＥ（Ｐｏｌｙｃｈｌｏｒｏ−Ｔｒｉｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＥＴＦＥ（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＥＣＴＦＥ（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｃｈｌｏｒｏｔｒｉｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＰＶＤＦ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ Ｆｌｕｏｒｉｄｅ）、ＰＶＦ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｆｌｕｏｒｉｄｅ）等が挙げられる。

【0044】

（リニア駆動型アクチュエータへの適用）
各実施形態では、移動体１５が回転駆動される超音波モータを示したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動アクチュエータとしてもよい。

【0045】

（超音波域を用いない振動アクチュエータへの適用）
実施形態では、超音波領域の振動を用いる超音波モータに摺動体を用いる例を説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。

【0046】

（カメラ以外への適用）
各実施形態では、超音波モータ１０は、カメラのレンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源に用いてもよい。
また、超音波モータ１０を、複写機等の駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部等に用いてもよい。

【0047】

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
摺動体において、加圧接触された振動子の摩擦接触面を熱硬化性樹脂膜で構成する。この樹脂膜は、最表面近傍がフィルム状または、ピンホールの少ないフッ素樹脂の連続膜で構成された熱硬化性樹脂膜である。
また、振動子の摩擦接触面における熱硬化性樹脂膜は、フッ素樹脂２８５℃以下の融点をもつＦＥＰなどが好ましい）を含み、このフッ素樹脂により、最表面にフッ素樹脂の連続膜を形成する。さらにフッ素樹脂の連続膜は、熱硬化性樹脂膜全体の上層と下層でみた際、上層の密度が高い分布である。
このため、本実施形態によると、高温高湿環境下においても前記フッ素樹脂連続膜の撥水性と隠ぺい性（ピンホールが少ない）により、振動子の摩擦接触面の樹脂膜を構成する吸湿性の高い組成物の膨潤を防ぐことが可能になる。
さらに摩擦摺動面における熱硬化樹脂膜最表面が摩耗した際も、摺動時の摩擦熱などで、最表面の連続膜の下層からフッ素樹脂を一部溶融させ補給することで、膜の物理的強度・高い摺動性・撥水性が保たれ、振動アクチュエータの性能を長期間維持することができる。また、フッ素樹脂が溶融することが効率的な補給が可能となり好ましいが、溶融せず軟化した状態でも、樹脂膜最表面に対してフッ素樹脂の補給がされる。

【符号の説明】

【0048】

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０：超音波モータ、１３：振動子、１５：移動体、１８：樹脂膜、１９：アルマイト皮膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】