特許 6336467 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6336467

(24)【登録日】2018年5月11日

(45)【発行日】2018年6月6日

(54)【発明の名称】不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20180528BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20180528BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B25J9/06 D

【請求項の数】16

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2015-545190(P2015-545190)

(86)(22)【出願日】2013年11月26日

(65)【公表番号】特表2016-500473(P2016-500473A)

(43)【公表日】2016年1月12日

(86)【国際出願番号】US2013072048

(87)【国際公開番号】WO2014085479

(87)【国際公開日】20140605

【審査請求日】2016年11月24日

(31)【優先権主張番号】61/732,196

(32)【優先日】2012年11月30日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】ハジェンズ， ジェフリー シー．

(72)【発明者】

【氏名】クレマーマン， イズヤ

(72)【発明者】

【氏名】ブロダイン， ジェフリー エー．

(72)【発明者】

【氏名】コックス， デイモン キース

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−１０９８６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２２２８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１９９１２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１２−５１４５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０３４７９５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１３／０１２１７９８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０２６６１９４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

多軸ロボットであって、
第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームと、
前記ブームの外側末端部で前記ブームに回転式に結合された第１前腕部とを備え、前記第１前腕部は、第２回転軸の周囲で個別に回転するよう構成され、
前記ブームの前記外側末端部で前記ブームに回転式に結合され、かつ、前記第２回転軸の周囲で個別に回転するよう構成された、第２前腕部を備え、前記第２前腕部は前記第１前腕部よりも短く、
前記第１前腕部の第１外側位置で前記第１前腕部に回転式に結合され、かつ、第３の軸の周囲で、前記第１前腕部に対して個別に回転するよう構成された、第１リスト部材と、
第２外側位置で前記第２前腕部に回転式に結合され、かつ、第４の軸の周囲で、前記第２前腕部に対して個別に回転するよう構成された、第２リスト部材とを備える、多軸ロボット。

【請求項2】

前記ブームに結合された第１駆動モータと、
前記第１前腕部に結合された第２駆動モータと、
前記第１リスト部材に結合された第３駆動モータと、
前記第２前腕部に結合された第４駆動モータと、
前記第２リスト部材に結合された第５駆動モータとを更に含む、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項3】

前記第１駆動モータの第１ステータと、
前記第２駆動モータの第２ステータと、
前記第３駆動モータの第３ステータと、
前記第４駆動モータの第４ステータと、
前記第５駆動モータの第５ステータと、
前記第４ステータと前記第５ステータとを支持する上部隔壁と、
前記第２ステータと前記第３ステータとを支持する下部隔壁とを更に含み、かつ、
前記第１ステータは、上部隔壁と下部隔壁との間に受容されている、請求項２に記載の多軸ロボット。

【請求項4】

前記第２前腕部は、前記第１前腕部よりも短い長さを有し、かつ、前記第２前腕部が前記第１前腕部のリスト継手に干渉しないように構成されている、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項5】

前記第１前腕部は第１中心間長さを有し、かつ、前記第２前腕部は第２中心間長さを有し、前記第２中心間長さは、前記第１中心間長さの約５０％から９０％である、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項6】

前記ブームの中心間長さは、前記第１前腕部の中心間長さよりも短い、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項7】

前記ブームの中心間長さは、前記第２前腕部の中心間長さよりも短い、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項8】

短い方である前記第２前腕部は、前記第１前腕部よりも上位に位置付けられる、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項9】

ブーム駆動装置を更に含み、
前記ブームは、ウェブ部分と、
前記ウェブ部分の上方で、前記ブームに回転式に装着された第１前腕部駆動部材と、
前記ウェブ部分の上方で、前記ブームに回転式に装着された第１リスト駆動部材と、
前記ウェブ部分の上方で、前記ブームに外側末端部で回転式に装着された第１前腕部従動部材と、
前記ウェブ部分の上方で、前記ブームに外側末端部で回転式に装着された第１リスト従動部材と、
前記ウェブ部分の上方で、前記第１前腕部駆動部材を前記第１前腕部従動部材に結合する第１前腕部伝達部材と、
前記ウェブ部分の上方で、前記第１リスト駆動部材を前記第１リスト従動部材に結合する第１リスト伝達部材とを含む、請求項１に記載の多軸ロボット。

【請求項10】

前記第１リスト駆動部材と前記第１リスト部材との間に結合された第１中間伝達部材を更に含む、請求項９に記載の多軸ロボット。

【請求項11】

前記ブーム駆動装置は、
前記ウェブ部分の下方で、前記ブームに回転式に装着された第２前腕部駆動部材と、
前記ウェブ部分の下方で、前記ブームに回転式に装着された第２リスト駆動部材と、
前記ウェブ部分の下方で、前記ブームに外側末端部で回転式に装着された第２前腕部従動部材と、
前記ウェブ部分の下方で、前記ブームに外側末端部で回転式に装着された第２リスト従動部材と、
前記ウェブ部分の下方で、前記第２前腕部駆動部材を前記第２前腕部従動部材に結合する第２前腕部伝達部材と、
前記ウェブ部分の下方で、前記第２リスト駆動部材を前記第２リスト従動部材に結合する第２リスト伝達部材とを更に含み、
前記多軸ロボットは、前記第２リスト駆動部材と前記第２リスト部材との間に結合された第２中間伝達部材を更に含む、請求項９に記載の多軸ロボット。

【請求項12】

電子デバイス処理システムであって、
移送チャンバと、
前記移送チャンバ内に少なくとも部分的に受容されたマルチリンクロボット装置とを備え、前記マルチリンクロボット装置は、
第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームと、
前記ブームの外側末端部で前記ブームに回転式に結合され、かつ、個別に回転するよう構成された、第１前腕部と、
前記ブームの前記外側末端部で前記ブームに回転式に結合され、かつ、個別に回転するよう構成された、第２前腕部とを有し、前記第２前腕部は前記第１前腕部よりも短く、
前記第１前腕部に回転式に結合され、かつ、前記第１前腕部に対して個別に回転するよう構成された、第１リスト部材と、
前記第２前腕部に回転式に結合され、かつ、前記第２前腕部に対して個別に回転するよう構成された、第２リスト部材とを有する、電子デバイス処理システム。

【請求項13】

前記第１前腕部の第１中心間長さと、前記第２前腕部の第２中心間長さとを備え、かつ、前記第２中心間長さは、前記第１中心間長さの約５０％から９０％である、請求項１２に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項14】

電子デバイス処理システムの内部で基板を搬送する方法であって、
第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームを提供することと、
前記ブームの外側末端部で前記ブームに回転式に結合された第１前腕部を提供することと、
前記ブームの前記外側末端部で前記ブームに回転式に結合された第２前腕部を提供することとを含み、前記第２前腕部は前記第１前腕部よりも短く、
前記第１前腕部の外側位置で前記第１前腕部に回転式に結合された第１リスト部材を提供することと、
前記第２前腕部の外側位置で前記第２前腕部に回転式に結合された第２リスト部材を提供することと、
基板をチャンバからチャンバへと搬送するために、前記第１前腕部、前記第２前腕部、前記第１リスト部材及び前記第２リスト部材を個別に回転させ、かつ、前記搬送における少なくともいずれかの時点に、前記第２前腕部を前記第１前腕部の上で移動させることを含む、方法。

【請求項15】

前記第１前腕部、前記第２前腕部、前記第１リスト部材、前記第２リスト部材、前記第１リスト部材に結合された第１エンドエフェクタ、及び、前記第２リスト部材に結合された第２エンドエフェクタを全て、前記第１エンドエフェクタ及び前記第２エンドエフェクタ上で搬送されている第１基板と第２基板が同時に、互いに擦れ違うことがない、折畳まれた状態に位置付けることを含む、請求項１４に記載の方法。

【請求項16】

前記ブームから延在する第１の駆動シャフトに結合された第１駆動モータの第１ステータと、
前記第１前腕部に結合された第２駆動シャフトに結合された第２駆動モータの第２ステータと、
前記第１リスト部材に結合された第３駆動シャフトに結合された第３駆動モータの第３ステータと、
前記第２前腕部に結合された第４駆動シャフトに結合された第４駆動モータの第４ステータと、
前記第２リスト部材に結合された第５駆動シャフトに結合された第５駆動モータの第５ステータと、
前記第４ステータと前記第５ステータとを支持する上部隔壁と、
前記第２ステータと前記第３ステータとを支持する下部隔壁とを更に含み、かつ、
前記第１ステータは、上部隔壁と下部隔壁との間に受容されている、請求項１に記載の多軸ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願
本出願は、２０１２年１１月３０日に出願され、あらゆる目的のために本書に組み込まれている、「不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法（ＭＵＬＴＩ−ＡＸＩＳ ＲＯＢＯＴ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ ＷＩＴＨ ＵＮＥＱＵＡＬ ＬＥＮＧＴＨ ＦＯＲＥＡＲＭＳ， ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＤＥＶＩＣＥ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＳＹＳＴＥＭＳ， ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＴＲＡＮＳＰＯＲＴＩＮＧ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥＳ ＩＮ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＤＥＶＩＣＥ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ）」と題された米国仮特許出願６１／７３２，１９６号への優先権を主張する。

【0002】

本出願はまた、２０１３年１１月２６日に出願され、あらゆる目的のために本書に組み込まれている、「モータモジュール、多軸モータ駆動アセンブリ、多軸ロボット装置、並びに、電子デバイス製造のシステム及び方法（ＭＯＴＯＲ ＭＯＤＵＬＥＳ， ＭＵＬＴＩ−ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ ＤＲＩＶＥ ＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ， ＭＵＬＴＩ−ＡＸＩＳ ＲＯＢＯＴ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ， ＡＮＤ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＤＥＶＩＣＥ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＳＹＳＴＥＭＳ ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ）」と題された、米国特許出願番号１４/０９０，９２９（代理人整理番号２１５０９／ＦＥＧ／ＳＹＮＸ／ＰＪＴ）に関する。

【0003】

本発明は、電子デバイス製造に関し、より具体的には、基板を搬送するための装置、システム、及び方法に関する。

【背景技術】

【0004】

従来型の電子デバイス製造システムは、複数の処理チャンバ、及び、一又は複数のロードロックチャンバを含みうる。かかるチャンバは、例えば、複数のチャンバが一移送チャンバの周囲に分布しうる、クラスタツールに含まれうる。これらのシステム及びツールは、例えば移送チャンバ内に収納されることが可能であり、かつ、様々なチャンバと一又は複数のロードロックチャンバとの間で基板を搬送するよう適合している、移送ロボットを用いうる。例えば、移送ロボットは、処理チャンバから処理チャンバへ、ロードロックチャンバから処理チャンバへ及びその逆に、基板を搬送しうる。様々なチャンバ間での迅速かつ正確な基板の搬送は、効率的なシステムスループットを提供し、それによって、全体的な作業コストを引き下げうる。

【0005】

そのため、基板の効率的かつ正確な移動のためのシステム、装置、及び方法が望まれる。

【発明の概要】

【0006】

一態様では、多軸ロボットが提供される。多軸ロボットは、第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームと、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合された第１前腕部とを含み、第１前腕部は、第２回転軸の周囲で個別に回転するよう構成され、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合され、かつ、第２回転軸の周囲で個別に回転するよう構成された第２前腕部を含み、第２前腕部は第１前腕部よりも短く、第１前腕部の第１外側位置で第１前腕部に回転式に結合され、かつ、第３の軸の周囲で、第１前腕部に対して個別に回転するよう構成された第１リスト部材と、第２外側位置で第２前腕部に回転式に結合され、かつ、第４の軸の周囲で、第２前腕部に対して個別に回転するよう構成された第２リスト部材とを含む。

【0007】

別の態様では、電子デバイス処理システムが提供される。電子デバイス処理システムは、移送チャンバと、移送チャンバ内に少なくとも部分的に受容されたマルチリンクロボット装置とを含み、マルチリンクロボット装置は、第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームと、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合され、かつ、個別に回転するよう構成された第１前腕部と、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合され、かつ、個別に回転するよう構成された第２前腕部とを有し、第２前腕部は第１前腕部よりも短く、第１前腕部に回転式に結合され、かつ、第１前腕部に対して個別に回転するよう構成された第１リスト部材と、第２前腕部に回転式に結合され、かつ、第２前腕部に対して個別に回転するよう構成された第２リスト部材とを有する。

【0008】

別の態様では、電子デバイス処理システムの内部で基板を搬送する方法が提供される。方法は、第１回転軸の周囲で回転するよう適合したブームを提供することと、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合された第１前腕部を提供することと、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合された第２前腕部を提供することとを含み、第２前腕部は第１前腕部よりも短く、第１前腕部の外側位置で第１前腕部に回転式に結合された第１リスト部材を提供することと、第２前腕部の外側位置で第２前腕部に回転式に結合された第２リスト部材を提供することと、基板をチャンバからチャンバへと搬送するために、第１前腕部、第２前腕部、第１リスト部材及び第２リスト部材を個別に回転させ、かつ、搬送中に第２前腕部を第１前腕部の上で移動させることを含む。

【0009】

多数の他の態様が、本発明の上記の及びその他の実施形態により提供される。本発明の実施形態他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、付随する特許請求の範囲、及び添付の図面から、より完全に明らかになるだろう。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1A】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置を含む電子デバイス処理システムの概略上面図を示す。

【図1B】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置の側面図を示す。

【図1C】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置の上面図を示す。

【図1D】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置の断面側面図を示す。

【図1E】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置の駆動アセンブリの断面側面図を示す。

【図2A】いくつかの実施形態による、６面メインフレームハウジングに取り付けられた多軸ロボット装置の部分的な断面上面図を示す。

【図2B】いくつかの実施形態による、８面メインフレームハウジングに取り付けられた多軸ロボット装置の部分的な断面上面図を示す。

【図3A】いくつかの実施形態による、異なる構成内に設けられた不等長の前腕部を含む多軸ロボット装置の等角図を示す。

【図3B】いくつかの実施形態による、異なる構成内に設けられた不等長の前腕部を含む多軸ロボット装置の等角図を示す。

【図3C】いくつかの実施形態による、不等長の前腕部を含む多軸ロボット装置の等角図を示す。

【図4】いくつかの実施形態による、別の多軸ロボット装置の等角図を示す。

【図5】いくつかの実施形態による、軸方向にオフセットされたチャンバを有するメインフレームハウジングに機能提供する、多軸ロボット装置の断面上面図を示す。

【図6】いくつかの実施形態による、電子デバイス処理システムの内部で基板を搬送する方法を示すフローチャートである。

【図7】いくつかの実施形態による、別の多軸ロボット装置の断面側面図を示す。

【図8】いくつかの実施形態による、多軸ロボット装置の別の駆動アセンブリの断面側面図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0011】

電子デバイス製造では、様々な場所間で、基板の非常に正確かつ迅速な搬送が必要とされうる。具体的には、いくつかの実施形態では、デュアルエンドエフェクタ（時に「ブレード」とも称される）は、ロボット装置に取り付けられ、かつ、エンドエフェクタ上に置かれている基板を、電子デバイス処理システムのチャンバへ、及びそこから、搬送するよう適合しうる。かかるシステムは、上方／下方構成を有するエンドエフェクタと共に移送チャンバ内に配設された多軸ロボットを含みうる。これは、第１基板が、チャンバから取り出され、次いで即座に、同一のチャンバにおいて第２のウエハに置換されることを可能にする。その目的は、可能な限り迅速にこの移送を実現することである。しかし、既存の多軸ロボットは、相当量の他のロボット動作がなくては、移送を行うことができない可能性がある。これらの追加的な動作は、発生しうる移送スピード全体を増大させうる。更に、既存のロボットは、かかるチャンバにアクセス可能な様態が限定的でありうる。例えば、既存のロボットの一部は、径方向が移送チャンバの中心（例えば、それに加えてスカラ型組立ロボットアーム（ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ ａｓｓｅｍｂｌｙ ｒｏｂｏｔ ａｒｍ：ＳＣＡＲＡ）ロボットの肩軸）と位置合わせされた、径方向でしか面に進入しえない。しかし、使用可能な処理チャンバの数を増すために、８面システムが使用されうる。例えば、６個の処理チャンバと２個のロードロックが移送チャンバの周囲に配設されうる。しかし、様々な面への進入は、移送チャンバの中心から軸外に位置付けられることが可能である。換言すると、チャンバ内へのエンドエフェクタの移動の方向に沿ったベクトルは、移送チャンバの中心からオフセットされている。そのため、従来型のロボットは、使用に適さないことがある。

【0012】

従って、一又は複数の実施形態では、基板を電子デバイス製造内のチャンバへ、及びそこから、搬送するために使用されることが可能な、多軸ロボット装置が提供されうる。

【0013】

本発明の一又は複数の実施形態により、多軸ロボット装置は、外側末端部に取り付けられた第１と第２の前腕部を有するブームを含む。各前腕部は、その外側位置でそれに結合されたリスト部材を有する。リスト部材は、それらに結合された、又はそれと一体的に形成された、エンドエフェクタを有する。交換されるべき基板は、エンドエフェクタが使用される時に、一方又は両方のエンドエフェクタ上に置かれうる。いくつかの実施形態により、前腕部とリスト部材の各々は、個別に制御され、基板が交換されている際に、発生しうる動作経路に対する高レベルのフレキシビリティの実現を可能にしうる。更に、各エンドエフェクタに一前腕部と一リスト部材のみを使用することで、構成要素及び継手の数が低減され、それによって、剛性が付加されうる。

【0014】

別の広範な態様において、前腕部は不等長を有しうる。具体的には、長さは、短い方の前腕部が、長い方の前腕部をそのリスト部材に接続するリスト継手の付近を、通過しうるようなものでありうる。この差異長により、ロボットの動作経路性能の強化、従って、基板交換性能の改善が可能になる。（１）第１と第２の前腕部の個別的な動作性能と、（２）不等長の前腕部を備えた第１と第２のリスト部材、の組み合わせは、協働して、非常にフレキシブルな動作経路性能を提供する。具体的には、軸外チャンバに機能提供する能力が提供される。

【0015】

本発明の一又は複数の実施形態により、多軸ロボット装置を含む電子デバイス処理システムが提供される。本発明の一又は複数の追加的な実施形態により、電子デバイス処理システムで基板を移送する方法が提供される。本発明の例示的な実施形態の更なる詳細を、本書の図１Ａから図８を参照して説明する。

【0016】

図１Ａは、本発明の実施形態による、電子デバイス処理システム１００の例示的な実施形態の概略図である。電子デバイス処理システム１００は、移送チャンバ１０２を画定する壁面を有するハウジング１０１を含みうる。本発明の別の実施形態による多軸ロボット装置１０３は、移送チャンバ１０２の内部に少なくとも部分的に収納されうる。多軸ロボットの追加的な図が、図１Ｂから図１Ｄに示されている。多軸ロボット装置１０３は、多軸ロボット装置１０３の動作を介して、目標位置に基板（例えば基板１０５Ａ、１０５Ｂ）を載置するか、又は、目標位置から基板を取り出すよう適合しうるが、それについては本書の下記で十分に説明する。

【0017】

目標位置は、移送チャンバ１０２に連結されている、様々な処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄ、１０６Ｅ、１０６Ｆ）でありうる。任意には、目標位置は、移送チャンバ１０２に連結されうる一又は複数のロードロックチャンバ１０８でありうる。処理チャンバ１０６Ａから１０６Ｆは、堆積、酸化、窒化、エッチング、研磨、洗浄、リソグラフィなどの、任意の数の処理ステップを実行するよう適合しうる。他の処理がそれらの中で実行されることもある。ロードロックチャンバ１０８は、ファクトリインターフェース１１０の負荷ポートにドッキングされた基板キャリア１１２から一又は複数の基板を受容しうる、ファクトリインターフェース１１０と相接するよう適合しうる。基板は、ファクトリインターフェース１１０内のロボット１１３（点線で示す）によって移送され、かつ、移送は、矢印１１４によって示されるように任意の順序又は方向で行われうる。本書で使用する際、基板とは、シリカ含有ウエハ、ガラスプレート、ガラスパネル、マスクなどといった電子デバイス又は回路部品を作るために使用される、物品を意味するものとする。

【0018】

ツインチャンバ（例えば、平行面を有する並列チャンバ）の構成が、図１Ａに示されており、ロボット装置１０３は、特に、かかるチャンバであって、移送チャンバ１０２の中心からオフセットされ、移送チャンバの中心から径方向に延在する線から斜めにオフセットされ、かつ／又は、ロボット１０３の肩軸からオフセットされている進入方向を有するチャンバに、機能提供することに適している。例えば、ベクトル１０７は、処理チャンバ１０６Ａ内への通常の進入の（例えば面に対して垂直な）方向を示し、かつ、ベクトル１０７が、この実施形態では、移送チャンバ１０２の中心から、及びロボット装置の肩軸からも、距離ｄだけ横方向にオフセットされていることを示している。しかし、本書で説明する多軸ロボット１０３は、図２Ａにある４個の処理チャンバと２個のロードロックチャンバとを有する電子デバイス処理システム２００Ａの、及び、図２Ｂに示すような、６個の処理チャンバと２個のロードロックチャンバとを有する図２Ｂの電子デバイス処理システム２００Ｂのメインフレーム構成のような、種々のメインフレーム構成を有する他のツール内の基板の移送において使用するための、ユーティリティを有することを、認識されたい。これらの２つの実施形態の各々では、面は径方向に配向され、その配向において、どの面に対して垂直なベクトルも、ロボットの肩軸及び移送チャンバの中心を通るよう方向付けられる。これらの実施形態におけるロボット１０３の使用により、任意の数の事前位置付け動作を行うことが可能になる。これは、第１基板がなくなったチャンバ内に第２エンドエフェクタ上に位置付けられた第２基板が置かれる（例えば載置される）時に、あるチャンバから除去された第１エンドエフェクタ上の第１基板が、別のチャンバの隣に事前位置付けされることを可能にする。これらの事前位置付け動作は、スループットを増大させる。

【0019】

図１Ａを再度参照するに、いくつかの実施形態では、移送チャンバ１０２は、例えば真空下で操作されうる。処理チャンバ１０６Ａから１０６Ｆ、及び／又は、一又は複数のロードロックチャンバ１０８に基板１０５Ａから１０５Ｂを載置する、及び、それらのチャンバから基板を取り出す時に、処理チャンバ１０６Ａから１０６Ｆ、及び一又は複数のロードロックチャンバ１０８の各々は、それらの入口／出口に、開閉するよう適合しうるスリットバルブ１０９を含みうる。スリットバルブ１０９は、任意の適切な従来型の構造のものでありうる。

【0020】

多軸ロボット装置１０３の様々な構成要素の動作は、コントローラ１１５からの、多軸ロボット装置１０３の複数の駆動モータを包含する駆動アセンブリ１１１に対する、適切なコマンドによって制御されうる。コントローラ１１５からの信号は、後述から明らかになるように、多軸ロボット装置１０３の様々な構成要素の動作を引き起こしうる。適切なフィードバックが、位置エンコーダなどのような様々なセンサによって、各構成要素に提供されうる。

【0021】

ここで図１Ａから図１Ｄを参照するに、多軸ロボット装置１０３は、一次軸１１６の周囲で回転可能なブーム１０４を含む。多軸ロボット装置１０３は、ハウジング１０１の壁面（例えばフロア部）に取り付けられるよう適合しているベース１１７を含みうる。しかし、多軸ロボット装置１０３は、いくつかの実施形態では、ハウジング１０１の天井部に取り付けられうる。そのため、多軸ロボット装置１０３は、ハウジング１０１によって少なくとも部分的に支持されうる。多軸ロボット装置１０３は、以下で説明するブーム１０４、及び様々なアームを駆動するよう構成され、適合している、駆動アセンブリ１１１も含む。ブーム１０４は、時計回り又は反時計回りのいずれかの回転方向で、第１回転軸１１６の周囲で回転するよう適合しうる。本書の下記で更に説明する、従来型の可変リラクタンス電動モータ又は永久磁石電動モータといった任意の適切な電動モータによって、回転が提供されうる。ブーム１０４の回転は、コントローラ１１５からの、駆動モータに対する適切なコマンドによって制御されうる。ブーム１０４は、第１回転軸１１６の周囲で、ベース１１７に対してＸ−Ｙ平面において回転するよう適合している。

【0022】

図示されている実施形態では、ロボット装置１０３は、第１回転軸１１６から離間した、ブーム１０４の径方向の外側末端部でブーム１０４に結合されうる、第１前腕部１１８及び第２前腕部１２０を含む。図示されている実施形態では、第１と第２の前腕部１１８、１２０は、各々、同一の外側末端位置でブーム１０４の第１外側末端部に装着され、かつ、第２回転軸１２２の周囲で共通に回転可能である。図示するように、第２前腕部１２０は第１前腕部１１８よりも短い。第１と第２の前腕部１１８、１２０の各々は、ブーム１０４に対して個別に回転可能である。回転は、おおよそ＋／−１５０度でありうる。図示されている実施形態では、第２回転軸１２２は、約３４８ｃｍから約５２２ｃｍまでの距離ｄ１だけ、第１回転軸１１６から離間しうる（図１Ｄ参照）。ｄ１はブーム１０４の中心間長さである。

【0023】

また更に、第１リスト部材１２４は、第１前腕部１１８上の第１外側位置に結合されることが可能であり、かつ、第１リスト軸１２６の周囲で、第１前腕部１１８に対して個別に回転可能である。第１リスト軸１２６は、約６７０ｃｍから約１００４ｃｍまでの距離ｄ２だけ、第２回転軸１２２から離間しうる（図１Ｄ参照）。ｄ２は第１前腕部１１８の第１中心間長さである。第１リスト部材１２４は、それに結合された第１エンドエフェクタ１２８を有しうる。第１エンドエフェクタ１２８は、基板処理システム１００の内部で処理されるべき基板１０５Ａを担持するよう適合している。回転は、おおよそ＋／−１５０度でありうる。

【0024】

第２リスト部材１３０は、第２前腕部１２０上の第２外側位置に結合され、かつ、第２リスト軸１３２の周囲で回転可能でありうる。第２リスト軸１３２は、約５１４ｃｍから約７７２ｃｍまでの距離ｄ３だけ、第２回転軸１２２から離間しうる（図１Ｄ参照）。ｄ３は第２前腕部１２０の第２中心間長さである。第２中心間長さｄ３は、いくつかの実施形態では、第１中心間長さｄ２の９０％を下回り、第１中心間長さｄ２の約５０％から約９０％でありうる。いくつかの実施形態では、ブーム１０４の中心間長さｄ１は、第１前腕部１１８の第１中心間長さｄ２よりも短い。いくつかの実施形態では、ブーム１０４の中心間長さｄ１は、第２前腕部１２０の第２中心間長さｄ３よりも短い。

【0025】

第２リスト部材１３０は、それに結合された第２エンドエフェクタ１３４を有しうる。第２エンドエフェクタ１３４は、基板処理システム１００の内部で処理されるべき基板１０５Ｂを担持するよう適合している。第２リスト部材１３０は、第２前腕部１２０に対して個別に回転可能である。回転は、おおよそ＋／−１５０度でありうる。図１Ｂからわかるように、第２前腕部１２０と第２リスト部材１３０と第２エンドエフェクタ１２８は、それらが垂直方向に離間するように構成される。具体的には、リストスペーサ１３５は、第１リスト部材１２４から垂直方向に第１前腕部１１８を離間させ、かつ、それと協働して、第２前腕部１２０の長さが短いことにより、第２前腕部１２０、第２リスト部材１３０及び取り付けられた第２エンドエフェクタ１３４が、第１前腕部１１８と第１リスト部材１２４との間を通過すること、及び、リスト継手に干渉することなくリストスペーサ１３５を通り過ぎることを、可能にする。

【0026】

この特徴をブーム１０４の個別的な回転性能と結合することで、第１と第２の前腕部１１８、１２０の各々、及び、第１と第２のリスト部材１２４、１３０の各々は、基板１０５Ａ、１０５Ｂの任意の所望の動作経路の実行において、多大なフレキシビリティを提供する。

【0027】

図１Ａに示す実施形態では、ロボット装置１０３は、移送チャンバ１０２内に配置され、収納されて図示されている。しかし、ロボット装置１０３のこの実施形態、並びに、本書で説明する他のロボット装置は、ロボット装置が、例えば、負荷ポートと処理システム１００の一又は複数のロードロックチャンバ１０８との間で、基板を、又は基板キャリア１１２までも搬送しうる、ファクトリインターフェース１１０内のような、電子デバイス製造の他の領域においても使用されうることを、認識されたい。

【0028】

ブーム１０４、第１と第２の前腕部１１８、１２０、及び第１と第２のリスト部材１２４、１３０の各々の個別的な回転を実現するための駆動アセンブリ１１１を、以下で詳細に説明する。駆動アセンブリ１１１は、図１Ｅに最もよく示されるように、様々な駆動モータ構成要素を包含するよう適合した、モータハウジング１３６を含む。まず、駆動アセンブリ１１１は、第１回転軸１１６の周囲でブーム１０４を個別に回転させるよう適合した、駆動構成要素を含みうる。回転は、おおよそ＋／−３６０度かそれ以上でありうる。第１駆動シャフト１３８は、ブーム１０４から延在し、かつ、適切な軸受によって支持されうる。第１駆動シャフト１３８は、第１駆動モータ１４０によって回転されるよう適合している。第１駆動モータ１４０は、例えば第１ロータと第１ステータとを含む、電動モータでありうる。第１ロータは磁石であり、かつ、第１駆動シャフト１３８に結合されうる。第１ステータは、上部隔壁１４２及び下部隔壁１４３に固定されるか、又は、それらの間で支持されうる。適切な従来型の回転エンコーダ（図示せず）が、ブーム１０４を所望に応じて位置付けるために使用されうる。

【0029】

更に、駆動アセンブリ１１１は、ブーム１０４の外側末端部に配置された第２回転軸１２２の周囲で第１前腕部１１８を個別に回転させるよう適合した、駆動構成要素を含みうる。回転は、いくつかの実施形態では、おおよそ＋／−１５０度でありうる。駆動構成要素は、第２駆動シャフト１４４と第２駆動モータ１４６とを含みうる。第２駆動モータ１４６の回転は、第２駆動シャフト１４４の回転を引き起こし、かつ、結合された第１前腕部１１８を、第２回転軸１２２の周囲で駆動する。第２駆動モータ１４６は、第２ロータと第２ステータとを含む電動モータでありうる。第２駆動シャフト１４４は、本書で説明するブーム駆動システム１４８（図１Ｄ）から延在し、かつ、適切な軸受によって支持されうる。コントローラ１１５からの駆動信号を介して第２駆動モータ１４６を駆動することは、ブーム１０４に対して、第１前腕部１１８の個別的な回転を引き起こす。適切な従来型の回転エンコーダ（図示せず）が、第１前腕部１１８を、所望に応じてブーム１０４に対して位置付けるために使用されうる。第２ステータは、下部隔壁１４３に固定されるか、又は、それによって支持されうる。上部と下部の隔壁１４２、１４３は、モータハウジング１３６に固定されるか、又はその一部でありうる。

【0030】

駆動アセンブリ１１１は、第１前腕部１１８上の外側位置に配置された第１リスト軸１２６の周囲で第１リスト部材１２４を個別に回転させるよう適合した、駆動構成要素も含みうる。回転は、いくつかの実施形態では、おおよそ＋／−１５０度でありうる。駆動構成要素は、第３駆動シャフト１５０と第３駆動モータ１５２とを含みうる。第３駆動モータ１５２の回転は、第３駆動シャフト１５０の回転を引き起こし、かつ、結合された第１リスト部材１２４を、第１リスト軸１２６の周囲で駆動する。第３駆動モータ１５２は、第３ロータと第３ステータとを含む電動モータでありうる。第３駆動シャフト１５０は、ブーム駆動システム１４８（図１Ｄ）から延在し、かつ、適切な軸受によって支持されうる。第３モータ１５２は、第１前腕部１１８に対して、第１リスト軸１２６の周囲で第１リスト部材１２４の個別的な回転を引き起こすために、コントローラ１１５からの駆動信号を介して駆動されうる。適切な従来型の回転エンコーダ（図示せず）が、第１リスト部材１２４を、所望に応じて第１前腕部１１８に対して位置付けるために使用されうる。第３ステータは、下部隔壁１４３に固定されるか、又は、それによって支持されうる。

【0031】

また更に、駆動アセンブリ１１１は、ブーム１０４の外側末端部に配置された第２回転軸１２２の周囲で第２前腕部１２０を個別に回転させるよう適合した、駆動構成要素を含みうる。回転は、いくつかの実施形態では、おおよそ＋／−１５０度でありうる。駆動構成要素は、第４駆動シャフト１５８と第４駆動モータ１６０とを含みうる。第４駆動モータ１６０の回転は、第４駆動シャフト１５８の回転を引き起こし、かつ、結合された第２前腕部１２０を、第２回転軸１２２の周囲で駆動する。第４駆動モータ１６０は、第４ロータと第４ステータとを含む電動モータでありうる。第４駆動シャフト１５８は、ブーム駆動システム１４８（図１Ｄ）から延在し、かつ、適切な軸受によって支持されうる。コントローラ１１５からの駆動信号を介して第４駆動モータ１６０を駆動することは、ブーム１０４に対して、第２回転軸１２２の周囲で第２前腕部１２０の個別的な回転を引き起こす。適切な従来型の回転エンコーダ（図示せず）が、第２前腕部１２０を、所望に応じてブーム１０４に対して位置付けるために使用されうる。第４ステータは、上部隔壁１４２に固定されるか、又は、それによって支持されうる。

【0032】

駆動アセンブリ１１１は、第２前腕部１２０上の外側位置に配置された第２リスト軸１３２の周囲で第２リスト部材１３０を個別に回転させるよう適合した、駆動構成要素も含みうる。回転は、いくつかの実施形態では、おおよそ＋／−１５０度でありうる。駆動構成要素は、第５駆動シャフト１５４と第５駆動モータ１５６とを含みうる。第５駆動モータ１５６の回転は、第５駆動シャフト１５４の回転を引き起こし、かつ、結合された第２リスト部材１３０を、第２リスト軸１３２の周囲で駆動する。第５駆動モータ１５６は、第５ロータと第５ステータとを含む電動モータでありうる。第５駆動シャフト１５４は、ブーム駆動システム１４８（図１Ｄ）から延在し、かつ、適切な軸受によって支持されうる。第５駆動モータ１５６は、第２前腕部１２０に対して、第２リスト部材１３０の個別的な回転を引き起こすために、コントローラ１１５からの駆動信号を介して駆動されうる。適切な従来型の回転エンコーダ（図示せず）が、第２リスト部材１３０を、所望に応じて第２前腕部１２０に対して位置付けるために使用されうる。第５ステータは、上部隔壁１４２に固定されるか、又は、それによって支持されうる。

【0033】

加えて、駆動アセンブリ１１１はＺ軸動作性能を含みうる。具体的には、モータハウジング１３６は、動作制限装置１６２によって、外部筐体１６１に対して回転が制限されうる。動作制限装置１６２は、２つ以上のリニア軸受、又は、外部筐体１６１に対してモータハウジング１３６の回転を制約するよう機能するが、（第１回転軸１１６の方向に沿った）モータハウジング１３６のＺ軸動作を可能にする、他の軸受又は摺動機構でありうる。垂直モータ１６３によって垂直動作が提供される。垂直モータ１６３の回転は、モータハウジング１３６に結合された、又はそれと一体化したネジ受け１６３Ｒ内で、親ネジ１６３Ｓを回転させるよう作動しうる。これは、モータハウジング１３６を、ゆえに、接続されたブーム１０４、前腕部１１８、１２０、リスト部材１２４、１３０、エンドエフェクタ１２８、１３４、及び、ひいては基板１０５Ａ、１０５Ｂを、垂直方向に直動させる。適切な密封１６４が、モータハウジング１３６とベース１１７との間を密封し、それによって、垂直動作に適応し、かつ、チャンバ１０２の内部で真空を維持しうる。金属製ベローズ又は他の類似のフレキシブルな密封が、密封１６４のために使用されうる。駆動アセンブリ８１１の代替的な実施形態が、図８に示される。

【0034】

ここで図１Ｄを参照して、例示的なブーム駆動システム１４８を詳細に説明する。ブーム駆動システム１４８は、上述の様々な駆動シャフトを、第１前腕部１１８、第２前腕部１２０、第１リスト部材１２４、及び第２リスト部材１３０に結合するよう構成され、適合しているプーリ及びベルトのような、駆動構成要素を含みうる。駆動構成要素は、第２駆動シャフト１４４に結合されている第１前腕部駆動部材１６５、第１前腕部１１８に結合されている第１前腕部従動部材１６８、及び、第１前腕部駆動部材１６５と第１前腕部従動部材１６８との間に結合された第１前腕部伝達部材１７０を含みうる。第２駆動シャフト１４４の回転は、従って、第１前腕部１１８を回転させる。第１前腕部駆動部材１６５と第１前腕部従動部材１６８の各々は、軸受によって、ブーム１０４の硬性ウェブ部分１７１に装着されうる。

【0035】

ブーム駆動システム１４８は、第１リスト駆動部材１７２と第１リスト従動部材１７４とを含みうる。第１リスト駆動部材１７２は第３駆動シャフト１５０に結合され、かつ、第１リスト従動部材１７４は第１リスト部材１２４に結合される。第１リスト伝達部材１７３は、ウェブ部分１７１の上方で、第１リスト駆動部材１７２を第１リスト従動部材１７４に結合する。第１前腕部１１８を通じて第１リスト従動部材１７４を第１リスト部材１２４に結合する、第１中間伝達部材１７５によって、第１リスト部材１２４への結合が提供される。第１リスト伝達部材１７５は、リストスペーサ１３５の下方で第１リスト部材１２４に結合されうる。第１リスト部材１２４は、リストスペーサ１３５内に装着された軸受を介して、第１リスト軸１２６の周囲で回転可能でありうる。リストスペーサ１３５は、第１エンドエフェクタ１２８を、第２エンドエフェクタ１３４の上方に適切に離間させるよう機能する。

【0036】

再度図１Ｄを参照するに、ブーム駆動システム１４８は、第２前腕部１２０を駆動するよう適合しているプーリ及びベルトのような、駆動構成要素を含みうる。駆動構成要素は、第４駆動シャフト１５８に結合されている第２前腕部駆動部材１７６、第２前腕部１２０に結合されている第２前腕部従動部材１７８、及び、第２前腕部駆動部材１７６と第２前腕部従動部材１７８の間に結合された第２前腕部伝達部材１８０を含みうる。第４駆動シャフト１５８の回転は、従って、第２前腕部１２０を回転させる。第２前腕部駆動部材１７６と第２前腕部従動部材１７８の各々は、軸受によって、ブーム１０４の硬性ウェブ部分１７１に装着されうる。

【0037】

ブーム駆動システム１４８は、第２リスト駆動部材１８２と第２リスト従動部材１８４とを含みうる。第２リスト駆動部材１８２は第５駆動シャフト１５４に結合され、かつ、第２リスト従動部材１８４は第２リスト部材１３０に結合される。第２リスト伝達部材１８６は、ウェブ部分１７１の下方で、第２リスト駆動部材１８２を第２リスト従動部材１８４に結合する。第２前腕部１２０を通じて第２リスト従動部材１８４を第２リスト部材１３０に結合する、第２中間伝達部材１８８によって、第２リスト部材１３０への結合が提供される。第２リスト部材１３０は、第２前腕部１２０の外側端部位置に装着された軸受を介して、第２リスト軸１３２の周囲で回転可能でありうる。ブーム駆動システム７０３の代替的な一実施形態を図７に示す。

【0038】

図３Ａから図３Ｂは、電子デバイス処理システム１００の内部で使用するよう適合しうる実施形態による、別のロボット装置３０３を示す。ロボット装置３０３の一例を図３Ａに示すが、ここでロボット装置３０３は、基板３０５Ａを担持している第１エンドエフェクタ３２８を、チャンバ（図示せず）内に挿入すると共に、第２基板３０５Ｂを担持している第２エンドエフェクタ３３４が別のチャンバに隣接して事前位置付けされるよう適合した一構成において示されている、個別に回転可能なブーム３０４、個別に回転可能な第１と第２の前腕部３１８、３２０、及び、個別に回転可能な第１と第２のリスト部材３２４、３３０を含みうる。

【0039】

図３Ｂは、折畳まれた状態のロボット装置３０３を示す。折畳まれた状態では、システムは、同時に搬送されている基板３０５Ａ、３０５Ｂが、互いの直上に位置する、又は、互いの直上を通過することがないように構成されうることに、留意されたい。換言すると、一方の基板（例えば基板３０５Ａ）が他方の基板（例えば基板３０５Ｂ）の上方にない（又は上方を通過しない）ように、前腕部３１８、３２０、リスト部材３２４、３３０、及びエンドエフェクタ３２８、３３４が、垂直方向に位置合わせされている時に、両基板の中心は、水平方向に十分にオフセットされうる。これは、下方の基板３０５Ａの粒子汚染を低減しうる。しかし、他の構成も可能である。

【0040】

図３Ｃは、折畳まれた状態のロボット装置３０３を示す。ロボット装置３０３は、駆動モータ１４０、１４６、１５２、１５６及び１６０（図１Ｅ）のような駆動モータを包含するモータハウジング３３６、及び、外部筐体３６１を有する、駆動アセンブリ３１１を含む。ブーム３０４及び接続した構成要素、ひいては、基板３０５Ａ、３０５Ｂを上昇させる、垂直Ｚ軸性能が提供される。動作中に、モータハウジング３３６は、一又は複数の動作制限装置３６２Ａ、３６２Ｂによって、外部筐体３６１に対して回転が制限されうる。動作制限装置３６２Ａ、３６２Ｂは、キャリッジ３６７に結合された、垂直に配向された２つ以上の線形摺動機構でありうる。キャリッジ３６７は、モータハウジングに固定されるか、それと一体化される。動作制限装置３６２Ａ、３６２Ｂは、外部筐体３６１に対してモータハウジング３３６の回転を制約するよう機能するが、モータハウジング３３６のＺ軸動作を可能にする。外部筐体３６１に結合された垂直モータ３６３によって、垂直動作が提供される。垂直モータ３６３の回転は、キャリッジ３６７又はモータハウジング３３６に結合された、又は、それと一体化したネジ受け３６３Ｒ内で、親ネジ３６３Ｓを回転させる。これは、モータハウジング３３６、ゆえに、接続されたブーム３０４、前腕部３１８、３２０、リスト部材３２４、３３０、エンドエフェクタ３２８、３３４、及び、ひいては基板３０５Ａ、３０５Ｂを、垂直方向に直動させる。適切な密封３６４が、モータハウジング３３６とベース３１７との間を密封し、それによって、垂直動作に適応し、かつ、ロボット３０３が中で作動するチャンバ１０２の内部で真空を維持しうる。金属製ベローズ又は他の類似のフレキシブルな密封が、密封３６４のために使用されうる。

【0041】

図４は、電子デバイス処理システム１００の内部で使用するよう適合しうる実施形態による、別のロボット装置４０３を示す。ロボット装置４０３は、エンドエフェクタ４２８、４３４及びリスト部材４２４、４３０という異なる構成を含むが、それ以外は図１Ｂから図１Ｅの実施形態において説明された通りである。

【0042】

ここで図５を参照するに、図１Ｂから図１Ｅのロボット装置を含む、別のシステム５００が提供されている。動作中に、ブーム１０４は、まず第１回転軸の周囲で回転して、ブーム１０４の外側末端部を、第１目標位置、すなわち、ロボット装置１０３が目標位置に容易にアクセスしうる位置にある目標位置に、隣接して載置しうる。ロボット装置１０３は次いで、起動して、一方のエンドエフェクタで目標位置（例えば処理チャンバ５０６Ｃ）から基板１０５Ａを取り上げ、続いて、ロボット装置１０３の他方のエンドエフェクタで、その目標位置（例えば処理チャンバ５０６Ｃ）に別の基板１０５Ｂを載置し、ゆえに、交換を実行しうる。第１基板が除去される際に、基板１０５Ａが第２目標位置（例えば処理チャンバ５０６Ｂ）の隣に載置されるように、前腕部とリスト部材は、直ちに移動し、ゆえに、事前位置付け動作を実行しうる。この第２目標位置において、ロボット装置１０３は、処理チャンバ５０６Ｃについての説明と同一の様態で、エンドエフェクタで別の完成品基板の交換を実行しうる。他の実施形態では、前腕部とリスト部材は、直ちに移動し、ゆえに、基板１０５Ａを、例えばロードロックチャンバ５０８Ａ又は５０８Ｂへと直接的に移動させ、その中に基板１０５Ａを直接的に載置しうる。そのため、面が平行した処理チャンバの対（例えば５０６Ａと５０６Ｂ、５０６Ｃと５０６Ｄ、及び５０６Ｅと５０６Ｆ）、並びに、面が平行したロードロックチャンバの対（例えば５０８Ａと５０６Ｂ）は、ロボット装置１０３によって機能提供されることが可能であり、一方の前腕部（例えば前腕部１２０）が他方の前腕部（例えば１１８）よりも短い状態で、個別に動作可能なブーム１０４、個別に動作可能な前腕部１１８、１２０、及び、個別に動作可能なリスト部材１２４、１３０を組み合わせることにより、交換がより効率的に実行されうる。

【0043】

本発明の実施形態による、電子デバイス処理システム（例えば１００、２００Ａ、２００Ｂ、５００）の内部で基板（例えば１０５Ａ、１０５Ｂ）を搬送する方法６００が、図６で提供される。方法６００は、第１回転軸（例えば第１回転軸１１６）の周囲で回転するよう適合したブーム（例えばブーム１０４）を提供すること（６０２）を含む。ブーム１０４は中心間長さｄ１を有しうる。方法６００は、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合された第１前腕部（例えば第１前腕部１１８）を提供すること（６０４）を含む。外側末端部は、第１回転軸１１６から離間している。方法６００は、ブームの外側末端部でブームに回転式に結合された第２前腕部（例えば第２前腕部１２０）を提供すること（６０６）を含み、第２前腕部は第１前腕部よりも短い。その長さは、第２前腕部１２０が、第リスト１部材（例えば第１リスト部材１２４）を第１前腕部（例えば第１前腕部１１８）に接続するリスト継手の付近を通過しうるように、十分に短くあるべきである。方法６００は、第１前腕部の外側位置で第１前腕部に回転式に結合された第１リスト部材を提供すること（６０８）と、第２前腕部の外側位置で第２前腕部に回転式に結合された第２リスト部材（例えば第２リスト部材１３０）を提供すること（６１０）とを含む。６０２から６１０までの各々は、様々な構成要素が組み立てられる組立作業によって完遂されうる。方法６００は任意の順番で実行されうる。方法６００は更に、基板（例えば基板１０５Ａ、１０５Ｂ）をチャンバからチャンバへと搬送するために、第１前腕部、第２前腕部、第１リスト部材及び第２リスト部材を個別に回転させ、かつ、搬送における少なくともいずれかの時点に、第２前腕部を第１前腕部の上で移動させること（６１２）を含む。第２前腕部が短いこと、及び、リスト継手との間に間隙（例えばスペーサ１３５との間の間隙）があることによる、第２前腕部（例えば第２前腕部１２０）の第１前腕部（例えば第１前腕部１１８）の上での移動が、迅速かつ多様な動作経路性能を可能にする。

【0044】

別の態様では、除去された基板（例えば基板１０５Ａ）の、別のチャンバ（例えば処理チャンバ又はロードロックチャンバ）に隣接した事前位置付けが、実現されうる。例えば、第２基板（例えば１０５Ｂ）が第１チャンバ（例えば５０６Ｃ）内に載置されると共に、第２チャンバ（例えばチャンバ５０６Ｂ）に隣接した位置に、第１チャンバから従前に除去された第１基板（例えば１０５Ａ）を事前位置付けしうる。別の態様では、チャンバ（例えばチャンバ５０６Ｃ）は、たとえチャンバ５０６Ｃが、第１回転軸（例えば第１回転軸５１６−図５）からオフセット距離５９０だけ軸方向にオフセットされていても、機能提供されうる。この様態では、基板（例えば基板１０５Ｂ）は、たとえ進入線が第１回転軸と位置合わせされていなくても、面に垂直にチャンバ５０６Ｃ内に挿入されることが可能である。これは、機能提供されるべき複数の処理チャンバを各側部に有する、長方形又は正方形の移送チャンバ（例えば移送チャンバ５０２）を可能にする。別の態様では、チャンバ（例えば１０５Ｂ）における第１基板（例えば１０５Ａ）と第２基板（例えば１０５Ｂ）の交換が、交換動作プロファイルにおいて、第２基板１０５Ｂが第１基板１０５Ａの垂直方向に下方に位置付けられることは決してないように、第１前腕部１１８、第１リスト部材１２４、第２前腕部１２０、及び第２リスト部材１３０を個別に回転させることによる様態で、実行されることが可能である。これにより、第２基板１０５Ｂの汚染を回避しうる。

【0045】

前述の説明は、本発明の単なる例示的な実施形態を開示している。本発明の範囲内に該当する、上記で開示された装置、システム及び方法の変形例は、当業者には容易に明らかになるだろう。そのため、本発明は例示的な実施形態に関連して開示されているが、他の実施形態も、以下の特許請求の範囲によって定義されるように、本発明の範囲内に該当しうると理解されるべきである。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】