特許6349110チャンバー装置及び加熱方法

発明の名称　チャンバー装置及び加熱方法

出願人　東京応化工業株式会社　（識別番号 220239）

　　　　特許公開件数ランキング 241 位（129件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 373 位（65件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6349110

公報発行日　2018年6月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6349110

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