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特許6357231化学的研磨平坦化の方法
発明の名称 化学的研磨平坦化の方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 33 位（217件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24 位（227件）（共同出願を含む）
出願人 トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド （識別番号 514028776）
特許公開件数ランキング 13870 位（11件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6357231
公報発行日 2018年7月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6357231
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