特許 6358802 表示灯

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6358802

(24)【登録日】2018年6月29日

(45)【発行日】2018年7月18日

(54)【発明の名称】表示灯

(51)【国際特許分類】

   G09F 13/00 20060101AFI20180709BHJP

   G09F 19/18 20060101ALI20180709BHJP

   F21S 2/00 20160101ALI20180709BHJP

【ＦＩ】

   G09F13/00 S

   G09F19/18 H

   F21S2/00 663

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-5072(P2014-5072)

(22)【出願日】2014年1月15日

(65)【公開番号】特開2015-132763(P2015-132763A)

(43)【公開日】2015年7月23日

【審査請求日】2016年11月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100132067

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 喜雅

(74)【代理人】

【識別番号】100137903

【弁理士】

【氏名又は名称】菅野 亨

(74)【代理人】

【識別番号】100150304

【弁理士】

【氏名又は名称】溝口 勉

(72)【発明者】

【氏名】津野 貴彦

【審査官】 古屋野 浩志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−１１８２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０７５３４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３１２２３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０１０９４８０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１３／００３９０３８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０９Ｆ １３／００

Ｆ２１Ｓ ２／００

Ｇ０９Ｆ １９／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

装置の状況を示す表示灯であって、
装置の外壁から光を放射する発光部を備え、
装置の上部に、装置が設置されるクリーンルームとクリーン度が異なる部屋を仕切る透明部材からなる仕切部材を配設させ、
該仕切部材は、該発光部から放射された光を表示させる表示エリアを備え、
該表示エリアは、該発光部から放射された光を反射し、
該表示エリアに、該発光部から放射した光を透過させるとともに、該表示エリアで該発光部から放射された光が反射することにより、該表示エリアで装置の状況を間接的に表示させる表示灯。

【請求項2】

該発光部から放射される光は、レーザー光線であって、該表示エリアに放射させるレーザー光線で文字および画像を表示させて装置の状況を表示する請求項１記載の表示灯。

【請求項3】

該発光部が放射する光の色を変更させる色変更手段を備え、色の変更によって装置の状況を知らせる請求項１記載の表示灯。

【請求項4】

該発光部から放射する光の角度を装置の前方に傾けて該表示エリアに放射させる角度変更手段を備え、装置から離間した該表示エリアで反射した反射光によって装置の状況を知らせる請求項１記載の表示灯。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表示灯に関し、例えば、加工装置などの各種装置における稼働状況や不具合状況などの状況を表示するための表示灯に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、加工装置などの各種装置に設けられ、装置の状況（稼働状況や不具合状況など）を表示する表示灯が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような表示灯は、装置が設置される部屋において、作業者等における視認性を確保するために、装置の上面又は側面から突き出るように設けられている。一般に、表示灯を装置の側面に設ける場合は、装置の前面側及び後面側での視認性を確保すべく、装置の前面及び後面の２箇所に表示灯が配置される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−１８１８９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述したような表示灯を装置の上面に設ける場合には、装置の搬入作業時等に搬入口の一部に表示灯が接触することが想定され、搬入作業が煩雑になるという問題がある。表示灯を着脱可能な構成とする場合には、上記のような問題は解消できるが、装置を設置した後に表示灯を取り付ける作業が必要となるという問題がある。一方、表示灯を装置の側面に設ける場合には、表示灯の数が多くなり、その表示制御が煩雑になると共に、装置の製造に必要となるコストが上昇するという問題がある。

【0005】

また、装置における不具合状況は、装置の稼働率等に影響を与えるものであり、早急に発見してメンテナンス等の対応を採ることが望ましい。このため、表示灯においては、このような装置の不具合状況を含む状況を作業者等が迅速に把握できるように、確認者の位置に関わらず確認し易い表示を行うことが要請される。上述のように、装置の上面又は側面に表示灯を設ける場合、装置の設置状況によっては作業者等において確認し難い事態が想定される。

【0006】

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、表示灯が設けられた装置の設置作業を簡素化しつつ、作業者等の位置に関わらず装置の状況を確認し易い表示灯を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る表示灯は、装置の状況を示す表示灯であって、装置の外壁から光を放射する発光部を備え、装置の上部に、装置が設置されるクリーンルームとクリーン度が異なる部屋を仕切る透明部材からなる仕切部材を配設させ、仕切部材は、発光部から放射された光を表示させる表示エリアを備え、表示エリアは、発光部から放射された光を反射し、表示エリアに、発光部から放射した光を透過させるとともに、表示エリアで発光部から放射された光が反射することにより、表示エリアで装置の状況を間接的に表示させることを特徴とする。

【0008】

上記表示灯によれば、発光部により装置の外壁から表示エリアに向けて放射された光の反射光によって装置の状況が間接的に表示される。これにより、装置の上部に配置される表示エリアにおける反射光によって作業者等に装置の状況を報知できるので、作業者等の位置に関わらず装置の状況を確認し易くすることができる。また、表示灯が装置の外壁から光を放射する構成を採るので、表示灯が装置上部から突き出る構成や、装置前側部及び後側部の双方に表示灯が配置される構成を回避できる。これにより、搬入時等に表示灯が搬入口に接触する事態や、表示灯の数に起因するコスト上昇等の事態を防止できる。この結果、表示灯が設けられた装置の設置作業を簡素化しつつ、作業者等の位置に関わらず装置の状況を確認し易い表示灯を提供することが可能となる。また、仕切部材の表示エリアに発光部から放射した光を透過させることで、表示エリアで装置の状況を表示できるので、クリーンルーム及びクリーン度の異なる部屋の双方の作業者等において装置の状況を確認し易くすることができる。

【0009】

例えば、上記表示灯において、発光部から放射される光は、レーザー光線であって、表示エリアに放射させるレーザー光線で文字および画像を表示させて装置の状況を表示する。この場合には、レーザー光線で描いた文字や画像を用いて装置の状況を作業者等に報知できるので、作業者等において装置の状況を直感的に把握することができる。

【0010】

上記表示灯においては、発光部が放射する光の色を変更させる色変更手段を備え、色の変更によって装置の状況を知らせることができる。この場合には、発光色の変更によって装置の状況を作業者等に報知することができるので、作業者等において発光色を通じて装置の状況を把握することができる。

【0011】

また、上記表示灯においては、発光部から放射する光の角度を装置の前方に傾けて表示エリアに放射させる角度変更手段を備え、装置から離間した表示エリアで反射した反射光によって装置の状況を知らせることができる。この場合には、装置の前方側に配置された表示エリアにおける反射光によって装置の状況を表示できるので、表示灯の上方に位置する表示エリアが作業者等から死角に位置する場合であっても、作業者等において装置の状況を確認し易くすることができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、表示灯が設けられた装置の設置作業を簡素化しつつ、作業者等の位置に関わらず装置の状況を確認し易い表示灯を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】第１の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の外観を示す斜視図である。

【図2】第１の実施の形態に係る表示灯から放射される光の様子の説明図である。

【図3】第１の実施の形態に係る表示灯から装置前方に放射される光の様子の説明図である。

【図4】第１の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の設置状況の説明図である。

【図5】第２の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の外観を示す斜視図である。

【図6】第２の実施の形態に係る表示灯から放射される光の様子の説明図である。

【図7】第３の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の設置状況の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の複数の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下においては、本発明に係る表示灯が設けられる装置として、半導体ウェーハなどの被加工物を加工する加工装置を用いて説明する。しかしながら、本発明に係る表示灯が設けられる装置については、加工装置に限定されるものではなく、稼働状況や不具合状況等を報知する必要がある任意の装置に適用することができる。

【0017】

（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の外観を示す斜視図である。なお、図１においては、説明の便宜上、後述する操作パネル３側を装置の前面側（又は単に前面側）と呼び、その反対側を装置の後面側（又は単に後面側）と呼ぶものとする。図２以降の図面においても同様であるものとする。

【0018】

図１に示すように、本実施の形態に係る表示灯が設けられる装置としての加工装置１は、概して直方体形状の筐体２を有している。筐体２の内部には、例えば、被加工物を加工する加工部及びこの加工部を制御するための制御部が収容されている。筐体２の前面には、加工装置１への指示を受け付ける操作パネル３と、筐体２内の加工部を視認するための窓部４と、加工装置１の稼働を停止するための緊急停止ボタン５とが設けられている。

【0019】

操作パネル３は、例えば、タッチパネルで構成され、加工装置１の操作用に設計された操作入力画面を表示可能に構成される。窓部４は、例えば、ガラスやアクリルなどの透明材料で形成され、開閉可能に構成される。緊急停止ボタン５は、操作パネル３の下方側近傍に設けられ、プッシュタイプのボタンで構成されている。例えば、加工装置１の操作者は、窓部４を介して加工部を視認しながら、操作パネル３から加工装置１に指示を入力することができる。また、不具合発生時等において、操作者は、操作パネル３に表示されたエラーメッセージを確認しながら即時に緊急停止ボタン５によって加工装置を停止することができる。

【0020】

加工装置１の両側面には、筐体２内の加工部や制御部のメンテナンスを行うための扉部６が設けられている（加工装置１の右側面に設けられる扉部６については図１に不図示）。扉部６は、窓部４と同様に、例えば、ガラスやアクリルなどの透明材料で形成され、開閉可能に構成される。加工装置１のメンテナンスを行う作業者は、この扉部６を開放することで、筐体２内の加工部における部品の位置調整や交換等の作業を行うことができる。

【0021】

加工装置１の上面であって、左側面且つ前面寄りの位置には、円形状の開口部１０１が設けられている。この開口部１０１は、後述する表示灯７の発光部７１に対応する位置に配置されており、例えば、アクリル等の透明材料からなる板で閉塞されている。開口部１０１は、後述する角度変更部７５により発光部７１からの光の角度を変更する際の放射経路を確保するために設けられている。

【0022】

なお、開口部１０１の位置は、加工装置１の左側面且つ前面寄りの位置に限定されず、後述する発光部７１の位置に応じて任意の位置に変更することができる。また、開口部１０１の形状は、円形状に限定されるものではなく、後述する角度変更部７５で調整可能な発光部７１からの光の角度に合わせた形状とすることができる。例えば、発光部７１からの光が加工装置１の前後左右に角度調整可能な場合には、開口部１０１の形状を十字形状とすることができる。

【0023】

開口部１０１の内部には、加工装置１の状況を間接的に表示可能な表示灯７が設けられている。表示灯７には、上方側に向かって光を放射する発光部７１が設けられている。表示灯７は、この発光部７１が開口部１０１に対峙して配置されるように、加工装置１の上面近傍に設けられている。このように配置されることで、発光部７１は、開口部１０１を介して加工装置１の外壁から光を放射するように構成されている。例えば、発光部７１から放射された光は、加工装置１が設置される部屋１０の天井１０ａに照射される（図２参照）。

【0024】

発光部７１は、単一又は複数の任意の光源を有する。例えば、発光部７１は、レーザー光源を備え、レーザー光線を放射可能に構成することができる。以下においては、発光部７１が赤色、青色及び緑色のレーザー光線を放射可能なレーザー光源を備えるものとする。発光部７１は、後述する表示灯制御部７２の制御の下、赤色、青色及び緑色のレーザー光線を切り替えて放射可能に構成される。

【0025】

特に、発光部７１は、レーザー光源から放射されるレーザー光線で天井等の被放射対象物に文字および画像を描くことができる。なお、ここでは、発光部７１によりレーザー光線で天井等に文字および画像を描く構成とするが、文字および画像のいずれか一方を描く構成とすることも可能である。また、被放射対象物に文字や画像を描くために発光部７１を駆動する構成については、特に限定されるものではなく任意の構成を採用できる。例えば、発光部７１自体を水平に加工装置１の前後左右に移動する構成や、発光部７１自体の角度やレーザー光線の角度を変更する構成を採用することができる。

【0026】

また、表示灯７には、表示灯７における発光の有無、発光色及び発光角度を制御する表示灯制御部７２が設けられている。表示灯制御部７２は、発光部７１から放射される光の有無、すなわち、発光部７１の点灯の有無を制御する点灯制御部７３と、発光部７１から放射される光の色を変更する色変更部７４と、発光部７１から放射される光の角度を変更する角度変更部７５とを含んで構成される。表示灯制御部７２は、図示しない加工装置１の主制御部（以下、単に「主制御部」という）からの指示に応じて表示灯７における発光の有無、発光色及び発光角度を制御する。

【0027】

点灯制御部７３は、主制御部の指示に応じて発光部７１の点灯の有無を制御する。例えば、点灯制御部７３は、加工装置１の稼働状況や不具合状況を作業者等に報知する必要がある場合に発光部７１を点灯させる。また、点灯制御部７３は、報知する内容に応じて発光部７１を点滅させることができる。発光部７１を点滅させることにより、同一の発光色であっても２種類以上の異なる内容を作業者等に報知することができる。

【0028】

色変更部７４は、色変更手段を構成するものであり、主制御部の指示に応じて発光部７１から放射される光の色を変更する。例えば、色変更部７４は、発光部７１が備えるレーザー光源を切り替えることで、発光部７１から放射される光の色を変更する。具体的には、色変更部７４は、加工装置１が問題なく稼働している稼働状況時においては青色のレーザー光源を選択する一方、緊急性がある不具合状況時においては赤色のレーザー光源を選択することができる。

【0029】

角度変更部７５は、角度変更手段を構成するものであり、主制御部の指示に応じて発光部７１から放射される光の角度を変更する。より具体的には、角度変更部７５は、発光部７１から放射される光の角度が加工装置１の前方に傾くように調整する。例えば、角度変更部７５は、表示灯７全体を傾斜させる駆動モータや、発光部７１からの光の反射角度を変更する反射鏡を備えた構成とすることができる。角度変更部７５は、例えば、作業者等から確認し易い位置に発光部７１から放射される光を移動する際に利用される。なお、角度変更部７５は、発光部７１から放射されるレーザー光線で文字や画像を描く際に利用することもできる。

【0030】

ここで、本実施の形態に係る表示灯７から放射される光の様子について図２〜図４を参照しながら説明する。図２は、第１の実施の形態に係る表示灯７から放射される光の様子の説明図である。図３は、第１の実施の形態に係る表示灯７から装置前方に放射される光の様子の説明図である。図４は、第１の実施の形態に係る表示灯７が設けられる装置の設置状況の説明図である。

【0031】

なお、図２〜図４においては、角度変更部７５として、表示灯７全体を傾斜させる駆動モータを備えた構成を加工装置１に採用した場合の一例を示している。また、図２においては、角度変更部７５により発光部７１の角度を変更していない初期状態を示している。ここで、初期状態の発光部７１は、放射される光が加工装置１の真上に向かう方向に向けて配置されている。一方、図３及び図４においては、角度変更部７５により発光部７１の角度を装置前方に変更した状態を示している。

【0032】

図２においては、加工装置１がクリーンルーム等の仕切られた部屋１０に設置された場合について示している。発光部７１から放射された光は、発光部７１の真上に配置された天井１０ａに反射する。点灯制御部７３は、このように天井１０ａに反射する光の点灯を制御する。このような点灯制御部７３による点灯制御により、表示灯７においては、天井１０ａに反射した反射光によって間接的に加工装置１の状況を表示することができる。このように、加工装置１が設置される部屋１０の天井１０ａにおける反射光によって作業者等に加工装置１の状況を報知できるので、作業者等の位置に関わらず加工装置１の状況を確認し易くすることができる。

【0033】

表示灯７は、加工装置１の上面（より具体的には開口部１０１）の内側に配置されており、加工装置１の外壁から光を放射する構成を採る。このため、表示灯７が装置上部から突き出る構成や、装置前面部及び後面部の双方に表示灯７が配置される構成を回避できる。これにより、搬入時等に表示灯７が搬入口に接触する事態や、表示灯７の数に起因するコスト上昇等の事態を防止できる。この結果、表示灯７が設けられた加工装置１の設置作業を簡素化することができる。

【0034】

また、本実施の形態に係る表示灯７において、発光部７１は、上述のように、レーザー光源から放射されるレーザー光線で天井１０ａに文字や画像を描くことができる。したがって、レーザー光線で描いた文字や画像を用いて加工装置１の状況を作業者等に報知できるので、作業者等において加工装置１の状況を直感的に把握することができる。

【0035】

さらに、本実施の形態に係る表示灯７において、色変更部７４は、発光部７１から放射される光の色を変更することができる。これにより、発光部７１から放射される光の色の変更によって加工装置１の状況を作業者等に報知することができるので、作業者等において表示灯７からの発光色を通じて加工装置１の状況を把握することができる。

【0036】

例えば、本実施の形態に係る表示灯７においては、上述した赤色、青色及び緑色のレーザー光線の点灯及び点滅を組み合わせて、加工装置１における複数種類の状況を報知することができる。例えば、表示灯７においては、赤色のレーザー光線の点灯によって不具合等に起因した加工装置１の停止状況を報知でき、青色のレーザー光線の点灯によって加工装置１の正常稼働状況を報知でき、緑色のレーザー光線の点灯によって加工装置１の待機状況を報知できる。また、表示灯７においては、不具合等は発生しているものの、被加工物の連続加工が可能である状況等を赤色のレーザー光線の点滅によって報知することができる。

【0037】

図３及び図４においては、例えば、通路１１に面して複数（ここでは、２つ）の加工装置１（１ａ、１ｂ）が一列に並んで設置された状況を示している。図３及び図４においては、発光部７１からの光が加工装置１ａ、１ｂの前方側、すなわち、通路１１側に放射されるように、表示灯７の角度が角度変更部７５により調整されている。この場合、発光部７１から放射された光は、加工装置１ａ、１ｂよりも前方側に配置された天井１０ｂに反射する。したがって、加工装置１ａ、１ｂから前方側に離間した天井１０ｂにおける反射光によって加工装置１ａ、１ｂの状況を表示できるので、表示灯７の上方に位置する天井が作業者等から死角に位置する場合であっても、作業者等において加工装置１ａ、１ｂの状況を確認し易くすることができる。

【0038】

例えば、図４に示す加工装置１ａ、１ｂとの間に床面から天井１０ｂまで到達する仕切り壁が設置されていると、加工装置１ａ側に位置する作業者にとっては、加工装置１ｂの真上に位置する天井は、仕切り壁により死角になり得る。このような場合であっても、図３及び図４に示すように、角度変更部８３により発光部７１から放射される光の角度を変更して、加工装置１ｂの前方側に位置する天井１０ｂに反射光の位置を調整することにより、加工装置１ｂの状況を作業者等に適切に報知することができる。

【0039】

（第２の実施の形態）
第１の実施の形態に係る表示灯７においては、単一の発光部７１を備え、加工装置１の上方の天井等における反射光により加工装置１の状況を間接的に表示している。第２の実施の形態に係る表示灯は、複数の発光部を備え、これらの発光部から放射される光の交点によって加工装置の状況を間接的に表示する点で、第１の実施の形態に係る表示灯７と相違する。

【0040】

以下、第２の実施の形態に係る表示灯が設けられる加工装置の構成について、図５及び図６を参照しながら説明する。図５は、第２の実施の形態に係る表示灯が設けられる加工装置の外観を示す斜視図である。図６は、第２の実施の形態に係る表示灯から放射される光の様子の説明図である。なお、図５及び図６において、図１に示す加工装置１と共通の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。なお、図５においては、筐体２の上面に形成される開口部１０１を省略している。

【0041】

図５及び図６に示すように、本実施の形態に係る表示灯７ａは、上方側に向かって光を放射する複数（本実施の形態では２つ）の発光部７１ａ、７１ｂを備える。これらの発光部７１ａ、７１ｂは、角度変更部７５に角度調整されていない初期状態において、放射される光が交差するように加工装置１ｃの筐体２の上面近傍に設けられている。より具体的には、発光部７１ａ、７１ｂが放射する光が、加工装置１ｃの上面と天井１０ｂとの間の空間で交差するように、それぞれ内側に傾いて配置されている。なお、これらの発光部７１ａ、７１ｂは、第１の実施の形態と同様に、例えば、レーザー光源を備える構成とすることができる。

【0042】

この構成によれば、発光部７１ａ、７１ｂから放射される光の交点１２によって加工装置１ｃの状況を表示することができる。これにより、加工装置１ｃの上面が天井１０ｂまで離れている場合であっても、作業者等において加工装置１ｃの状況を確認し易くすることができる。なお、この交点１２における表示態様については、例えば、第１の実施の形態と同様に、上述した赤色、青色及び緑色のレーザー光線の点灯及び点滅を組み合わせることができる。また、発光部７１ａ、７１ｂから放射されるレーザー光線の角度を変更することにより、交点１２の軌跡で文字や画像を描くこともできる。

【0043】

また、本実施の形態に係る表示灯７ａにおいては、２つの発光部７１ａ、７１ｂから異なる色の光を放射することにより、交点１２における表示態様を更に増やすことができる。例えば、発光部７１ａから赤色のレーザー光線を放射する一方、発光部７１ｂから緑色のレーザー光線を放射することにより、交点１２における発光色を黄色に設定することができる。このように異なる色の組み合わせで形成される色に異なる加工装置１ｃの状況を関連付けておくことにより、作業者等に報知する加工装置１ｃの状況のバリエーションを増やすことが可能となる。

【0044】

さらに、本実施の形態に係る表示灯７ａにおいて、角度変更部７５により発光部７１ａ、７１ｂから放射される光の交点１２の位置を、作業者等にて確認し易い位置に調整することは実施の形態として好ましい。例えば、加工装置１ｃと天井１０ｂとの間の空間で上下動させることや、加工装置１ｃの前方側に移動させることが考えられる。この場合には、作業者等の作業位置や天井１０ｂの高さに依存することなく、加工装置１ｃの状況をより確認し易い表示灯７ａを提供することができる。

【0045】

（第３の実施の形態）
第１の実施の形態に係る表示灯７においては、加工装置１の上方の天井等における反射光により加工装置１の状況を間接的に表示している。第３の実施の形態に係る表示灯は、加工装置の上方の天井までの間に配置される仕切部材の一部における反射光により加工装置の状況を間接的に表示する点で、第１の実施の形態に係る表示灯７と相違する。

【0046】

以下、第３の実施の形態に係る表示灯が設けられる加工装置の構成について、図７を参照しながら説明する。図７は、第３の実施の形態に係る表示灯が設けられる装置の設置状況の説明図である。なお、図７において、図１に示す加工装置１と共通の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。なお、図７においては、筐体２の上面に形成される開口部１０１を省略している。

【0047】

図７に示すように、第３の実施の形態に係る表示灯７ｂが設けられる加工装置１ｄは、操作パネル３が設けられた前面がクリーンルームに配置されると共に、メンテナンス用の扉部６が設けられた側面部より後方側部分がグレールームに配置される。第３の実施の形態においては、このように設置される加工装置１ｄの上部に、クリーンルームと、このクリーンルームとクリーン度が異なるグレールームとを仕切る透明部材からなる仕切部材１３が配設されている。この仕切部材１３の所定位置には、発光部７１から放射された光を表示させる表示エリア１３１が設けられている。

【0048】

表示エリア１３１は、例えば、発光部７１から放射された光を乱反射させる変質層で構成される。変質層においては、例えば、仕切部材１３の表面に微小な凹凸部が設けられている。この凹凸部で発光部７１から放射された光が乱反射することにより、加工装置１ｄの状況を表示することが可能となる。この変質層を構成する凹凸部は、例えば、仕切部材１３の表示エリア１３１に対してサンドブラスト加工を施すことにより形成される。

【0049】

本実施の形態に係る表示灯７ｂにおいて、発光部７１は、角度変更部７５に角度調整されていない初期状態において、放射される光が仕切部材１３を透過するように上面近傍に設けられている。より具体的には、発光部７１は、放射する光が仕切部材１３の表示エリア１３１に照射されるような角度を有するように配置されている。

【0050】

この構成によれば、仕切部材１３に発光部７１から放射した光を透過させることで、仕切部材１３の表示エリア１３１で加工装置１ｄの状況を表示できる。これにより、クリーンルーム及びグレールームの双方の作業者等において加工装置１ｄの状況を確認し易くすることができる。なお、この表示エリア１３１における表示態様については、例えば、第１の実施の形態と同様に、上述した赤色、青色及び緑色のレーザー光線の点灯及び点滅を組み合わせることができる。また、発光部７１から放射されるレーザー光線の角度を変更することにより、表示エリア１３１上の光点の軌跡で文字や画像を描くこともできる。

【0051】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0052】

例えば、上記実施の形態においては、表示灯７を構成する発光部７１を、加工装置１の上面近傍の内部に設ける場合について説明している。しかしながら、発光部７１が設けられる加工装置１の位置については、これに限定されるものではなく適宜変更が可能である。例えば、加工装置１が設置される部屋の天井や、加工装置１の上面と天井との間の空間の所望位置に向けて放射できることを条件として、加工装置１の側面や前面近傍の内部に発光部７１を設けるようにしてもよい。この場合には、発光部７１から放射される光は、加工装置１の外壁を構成する側面や前面から放射される。

【0053】

また、上記実施の形態においては、表示灯７を構成する発光部７１がレーザー光源を備える場合について説明している。しかしながら、発光部７１が備える光源については、これに限定されるものではなく適宜変更が可能である。例えば、半導体発光素子であるＬＥＤ素子や、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）発光素子などの光源を備えるようにしてもよい。

【0054】

さらに、上記実施の形態においては、色変更部７４が、発光部７１が備えるレーザー光源を切り替えることで発光部７１から放射される光の色を変更する場合について説明している。しかしながら、色変更部７４の構成についてはこれに限定されるものではなく、発光部７１から放射される光の色を所望の色に変更可能であることを条件として任意の機構又は制御を採用することが可能である。例えば、発光部７１から放射される光を白色とする一方、光路上に所望色のフィルタを切替え可能に配置しておき、各色のフィルタを切り替えることで、発光部７１から放射される光の色を変更するようにしてもよい。

【0055】

さらに、上記実施の形態においては、角度変更部７５が、発光部７１から放射される光の角度が加工装置１の前方に傾くように調整する場合について説明している。しかしながら、角度変更部７５が変更する光の角度は、加工装置１の前方側に傾く角度に限定されるものではなく任意の角度に変更することが可能である。例えば、表示灯７による表示内容を確認する作業者（例えば、メンテナンスを行う作業者や操作を行う作業者）に合わせて確認し易い角度に発光部７１からの光を調整可能とすることは実施の形態として好ましい。例えば、角度変更部７５は、メンテナンスを行う作業者に合わせて、発光部７１からの光が加工装置１の側方に傾くように調整してもよい。

【0056】

さらに、上記実施の形態においては、角度変更部７５が、表示灯７全体を傾斜させる駆動モータや、発光部７１からの光の反射角度を変更する反射鏡を備えた構成を有する場合について例示している。しかしながら、角度変更部７５の構成については、これに限定されるものではなく、発光部７１から放射される光の角度を所望の方向に変更可能であることを条件として任意の機構又は制御を採用することが可能である。

【0057】

さらに、上記第２の実施の形態においては、２つの発光部７１ａ、７１ｂを備える場合について例示している。しかしながら、発光部７１の数量については、３つ以上備えるようにしてもよい。このように３つ以上の発光部７１を備える場合においては、少なくとも２つ以上の発光部７１を発光させることで交点１２を形成でき、この交点１２により加工装置１ｃの状況を表示することができる。

【産業上の利用可能性】

【0058】

以上説明したように、本発明によれば、表示灯が設けられた装置の設置作業を簡素化しつつ、作業者等の位置に関わらず装置の状況を確認し易くできるという効果を有し、特に、装置の状況を作業者等に報知する必要がある任意の装置に有用である。

【符号の説明】

【0059】

１、１ａ〜１ｄ 加工装置
２ 筐体
３ 操作パネル
４ 窓部
５ 緊急停止ボタン
６ 扉部
７、７ａ、７ｂ 表示灯
７１、７１ａ、７１ｂ 発光部
７２ 表示灯制御部
７３ 点灯制御部
７４ 色変更部
７５ 角度変更部
１０ 部屋
１０ａ、１０ｂ 天井
１１ 通路
１２ 交点
１３ 仕切部材
１３１ 表示エリア

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】