特許6367941極端紫外光生成装置

発明の名称　極端紫外光生成装置

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 549 位（46件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 623 位（33件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6367941

公報発行日　2018年8月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6367941

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6367941「極端紫外光生成装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録