特許第6376538号(P6376538)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6376538投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法
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