特許第6376574号(P6376574)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6376574触媒酸化物の形成によって生成されたマイクロ電子デバイス分離を含む非プレーナトランジスタ、システム、および非プレーナトランジスタを製造する方法
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