特許 6376852 ドレッシングボードの保持治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6376852

(24)【登録日】2018年8月3日

(45)【発行日】2018年8月22日

(54)【発明の名称】ドレッシングボードの保持治具

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/12 20060101AFI20180813BHJP

   B24B 53/00 20060101ALI20180813BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20180813BHJP

【ＦＩ】

   B24B53/12 Z

   B24B53/00 K

   H01L21/78 F

【請求項の数】4

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2014-120522(P2014-120522)

(22)【出願日】2014年6月11日

(65)【公開番号】特開2016-434(P2016-434A)

(43)【公開日】2016年1月7日

【審査請求日】2017年4月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】北野 孝之

【審査官】 須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２６４５７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２５１９０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２０２７４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１８３５０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−０３９９６８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０１４−０９１２０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−０４９１２０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ５３／００−５７／０４

Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環状フレームの開口にテープを介して被加工物を支持する被加工物ユニットの被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、を備えた切削装置で使用されるドレッシングボードの保持治具であって、
前記チャックテーブルからの吸引力を作用させる貫通穴が形成されドレッシングボードが載置される載置領域を備え、前記環状フレームに対応した外径に形成されたプレート状の治具本体と、
前記治具本体の前記載置領域の周囲に形成され、ドレッシングボードの位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部と、を備え、
前記治具本体は、プラスチック又は金属を素材とした一体の部材であることを特徴とするドレッシングボードの保持治具。

【請求項2】

前記治具本体は、前記載置領域を設けた凸部と、前記載置領域の裏側の裏面に形成されかつ前記チャックテーブルが侵入する凹部と、を備えて、前記チャックテーブルのフレームクランプにより前記チャックテーブルの保持面より低い位置で挟持される請求項１に記載のドレッシングボードの保持治具。

【請求項3】

前記位置ずれ規制部は、前記ドレッシングボードの厚さより薄い厚さで前記治具本体に配設されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のドレッシングボードの保持治具。

【請求項4】

前記切削装置は、複数の前記被加工物ユニットを収容するカセットを載置するカセット載置台と、前記カセット載置台に載置された前記カセットと前記チャックテーブルとの間で前記環状フレームを支持して前記被加工物ユニットを搬送する搬送手段と、を備え、
前記載置領域に前記ドレッシングボードが載置された前記治具本体は、前記カセットに収容可能であり、前記搬送手段に支持されて搬送されることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のドレッシングボードの保持治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ドレッシングボードの保持治具に関する。

【背景技術】

【0002】

切削装置では、切削ブレードのドレッシング用にドレッシングボードを利用する際、他の被加工物と同様に、ドレッシングボードをダイシングテープで環状フレームに固定し、ドレッシングに用いる。

【0003】

通常、被加工物はテープマウンターと呼ばれる自動装置によって環状フレームにダイシングテープで装着されるが、ドレッシングボードは被加工物と形状が異なるため、テープマウンターにセッティングできないことから、オペレーターが１枚ずつ環状フレームにダイシングテープで固定している。よって、余分な工数がかかっている。

【0004】

また、ダイシングテープは１枚あたり数十円〜数百円程度のコストがかかっており、製品ではないドレッシングボードを加工するのに不要なコストがかかっていると言える。そこで、チャックテーブルの外周にドレッシングボード専用のテーブルを設けた切削装置が提案されている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０００−４９１２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、ドレッシングボード専用のテーブルを設けた切削装置は、導入コストも低くはないため、あまり採用されていない。一方、作業工数やランニングコストはかかるが、手軽さからドレッシングボードをダイシングテープで環状フレームに固定する方法が根強く採用されている。

【0007】

そこで、本発明が解決しようとする課題は、環状フレーム及びダイシングテープのランニングコストを削減できると共に、環状フレームへドレッシングボードを固定する工数を削減できるドレッシングボードの保持治具を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決するために、本発明に係るドレッシングボードの保持治具は、環状フレームの開口にテープを介して被加工物を支持する被加工物ユニットの被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、を備えた切削装置で使用されるドレッシングボードの保持治具であって、前記チャックテーブルからの吸引力を作用させる貫通穴が形成されドレッシングボードが載置される載置領域を備え、前記環状フレームに対応した外径に形成されたプレート状の治具本体と、前記治具本体の前記載置領域の周囲に形成され、ドレッシングボードの位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部と、を備え、前記治具本体は、プラスチック又は金属を素材とした一体の部材であることを特徴とするものである。
また、前記ドレッシングボードの保持治具において、前記治具本体は、前記載置領域を設けた凸部と、前記載置領域の裏側の裏面に形成されかつ前記チャックテーブルが侵入する凹部と、を備えて、前記チャックテーブルのフレームクランプにより前記チャックテーブルの保持面より低い位置で挟持されることが好ましい。

【0009】

また、前記ドレッシングボードの保持治具において、前記位置ずれ規制部は、前記ドレッシングボードの厚さより薄い厚さで前記治具本体に配設されることが好ましい。

【0010】

また、前記ドレッシングボードの保持治具において、前記切削装置は、複数の前記被加工物ユニットを収容するカセットを載置するカセット載置台と、前記カセット載置台に載置された前記カセットと前記チャックテーブルとの間で前記環状フレームを支持して前記被加工物ユニットを搬送する搬送手段と、を備え、前記載置領域に前記ドレッシングボードが載置された前記治具本体は、前記カセットに収容可能であり、前記搬送手段に支持されて搬送されることが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明のドレッシングボードの保持治具は、環状フレームとダイシングテープを不要にしながらも、被加工物が環状フレームにダイシングテープで保持された場合と同じようにドレッシングボードを搬送して固定することができる。これにより、環状フレーム及びダイシングテープのランニングコストを削減できると共に、環状フレームへドレッシングボードを固定する工数を削減できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、切削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、ドレッシングボードの保持治具の構成例を示す斜視図である。

【図3】図３は、ドレッシングボードの保持治具の構成例を示す断面図である。

【図4】図４は、ドレッシングボードの保持治具の使用例を示す断面図である。

【図5】図５は、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す斜視図である。

【図6】図６は、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す断面図である。

【図7】図７は、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の使用例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0014】

〔実施形態１〕
実施形態１に係る切削装置を図１に基づいて説明する。図１は、切削装置の構成例を示す斜視図である。図１に示す切削装置１は、環状フレーム５１の開口にテープ５２を介してウェーハＷを支持するウェーハユニット５０のウェーハＷを吸引保持するチャックテーブル３と、チャックテーブル３をＸ軸方向に移動させるテーブル移動手段４と、テーブル移動手段４を跨ぐように装置本体２に立設された門型形状の第１の支持部材５とを備える。ウェーハユニット５０は被加工物ユニットであり、ウェーハＷは被加工物である。

【0015】

チャックテーブル３は、ウェーハＷを保持する保持面３ａを有し、保持面３ａは、図示しない真空吸引源と連通されており、真空吸引源の負圧によりウェーハＷを吸引保持する。チャックテーブル３は、図示しない回転手段により鉛直方向に対して平行となる軸周りに回転可能に配設される。

【0016】

テーブル移動手段４は、チャックテーブル３を支持するテーブル移動基台４ａを有している。テーブル移動基台４ａは、Ｘ軸方向に対して平行に延在されるボールねじ（図示せず）に係合され、パルスモータ等で構成される駆動源によってＸ軸方向に移動する。

【0017】

門型形状の第１の支持部材５には、第１の搬送手段６と、第２の搬送手段７とが配設されている。第１の支持部材５の正面には、複数のウェーハユニット５０を収容するカセット８と、カセット８を載置するカセット載置台８ａと、ウェーハＷを仮置きする一対のレール９と、ウェーハＷを洗浄する洗浄テーブル１０とが配設されている。

【0018】

第１の搬送手段６は、Ｙ，Ｚ軸方向に移動可能に第１の支持部材５に取り付けられ、図示しないアクチュエータにより駆動される。第２の搬送手段７は、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向に移動可能に第１の支持部材５に取り付けられ、図示しないアクチュエータにより駆動される。第１及び第２の搬送手段６，７は、カセット８とチャックテーブル３との間で環状フレーム５１を支持してウェーハユニット５０を搬送する搬送手段として機能する。例えば、第１の搬送手段６は、カセット８から切削加工前のウェーハユニット５０を取り出して一対のレール９上に仮置きし、レール９に仮置きされたウェーハユニット５０の環状フレーム５１を吸引保持してチャックテーブル３に搬送する。チャックテーブル３上で切削加工後、第２の搬送手段７は、チャックテーブル３に載置されたウェーハユニット５０の環状フレーム５１を吸引保持して洗浄テーブル１０に搬送する。洗浄テーブル１０で切削加工後のウェーハＷを洗浄後、第１の搬送手段６は、ウェーハユニット５０をレール９に搬送して仮置きし、その後カセット８に収容する。

【0019】

第１の支持部材５の背面には、テーブル移動手段４を跨ぐように装置本体２に立設された門型形状の第２の支持部材１３を備える。第２の支持部材１３には、第１の切削手段１１と、第２の切削手段１２とが対峙して配設されている。各切削手段１１，１２は、Ｙ，Ｚ軸方向に移動可能に取り付けられ、図示しないアクチュエータにより駆動される。第１の切削手段１１は、チャックテーブル３に吸引保持されたウェーハＷを一方側から切削する切削ブレード１１ａを備える。第２の切削手段１２も同様に、チャックテーブル３に吸引保持されたウェーハＷを他方側から切削する切削ブレード１２ａを備える。

【0020】

次に、ドレッシングボードの保持治具の構成例について説明する。図２は、ドレッシングボードの保持治具の構成例を示す斜視図である。図３は、ドレッシングボードの保持治具の構成例を示す断面図である。

【0021】

図２に示すドレッシングボード１５の保持治具３０Ａは、プレート状の治具本体３１ａと、ドレッシングボード１５が載置される載置領域３２と、ドレッシングボード１５の位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部３３とを備える。

【0022】

治具本体３１ａの素材はプラスチックや金属などであり、治具本体３１ａは環状フレーム５１に対応した外径に形成されている。すなわち、治具本体３１ａは、ウェーハユニット５０の環状フレーム５１と同じ外周形状に形成されている。これは、ウェーハユニット５０と同様に保持治具３０Ａをカセット８に収容し、ウェーハユニット５０と同様に保持治具３０Ａを第１及び第２の搬送手段６，７により搬送するためである。ここで、カセット８は、一定の間隔でウェーハユニット５０を積層して収容しているが、当該間隔は、保持治具３０Ａにドレッシングボード１５を載置した時の高さＨ１よりも大きくなっている。これにより、保持治具３０Ａをウェーハユニット５０と同様にカセット８に差し込んで収容することができる。また、第１及び第２の搬送手段６，７は、環状フレーム５１を吸引保持して搬送するが、保持治具３０Ａも同様にして治具本体３１ａの外周部を吸引保持して搬送する。

【0023】

載置領域３２は、治具本体３１ａの中央付近に２箇所設けられ、正方形のドレッシングボード１５の形状に合わせて領域が設定されている。載置領域３２には、チャックテーブル３からの吸引力を作用させる貫通穴３４が形成されている。貫通穴３４は、載置領域３２の全域にわたって等間隔で所定の個数形成されている。これは、載置領域３２に接するドレッシングボード１５の面に対して等しく吸引力を働かせることで、ドレッシングボード１５を載置領域３２-に密着させるためである。載置領域３２には、例えばシリコン樹脂のような摩擦力の高い滑止部材３２０が塗布されており、ドレッシングボード１５が滑りにくいようになっている。もちろん、載置領域３２に塗布された滑止部材３２０にも貫通穴３４が形成されている。

【0024】

位置ずれ規制部３３は、治具本体３１ａの載置領域３２の周囲に形成され、ドレッシングボード１５の位置ずれを防ぐ。例えば、位置ずれ規制部３３は略Ｌ字形状であり、ドレッシングボード１５の厚さより薄い厚さに形成され、載置領域３２の一方の対角線上に配設される。位置ずれ規制部３３は、一方の対角線上にのみ配設されるので、簡単な構成で部品数を少なくできると共に、使用後のドレッシングボード１５を簡単に治具本体３１ａから取り外すことができる。更に好ましくは、位置ずれ規制部３３の厚さは、ドレッシング時の切削ブレード１１ａによるドレッシングボード１５の切り残し量より薄く形成されている。これにより、ドレッシングボード１５の全面を余すことなく利用できる。

【0025】

次に、ドレッシングボード１５の保持治具３０Ａの使用例について説明する。図４は、ドレッシングボードの保持治具の使用例を示す断面図である。ドレッシングボード１５が載置された保持治具３０Ａは、作業員により予めカセット８に収容されている。保持治具３０Ａは、第１の搬送手段６により、カセット８から取り出されて一対のレール９上に仮置きされてチャックテーブル３に搬送される。保持治具３０Ａは、チャックテーブル３により吸引保持された状態でドレッシングを行う。

【0026】

例えば、図４に示す保持治具３０Ａは、チャックテーブル３の保持面３ａに載置され、治具本体３１ａがチャックテーブル３のフレームクランプ３ｂにより挟持されている。このとき、ドレッシングボード１５は、治具本体３１ａの貫通穴３４を介して保持面３ａから受ける負圧により、治具本体３１ａに吸引保持される。さらに、ドレシングボード１５は、位置ずれ規制部３３により、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動が規制される。この状態で、切削ブレード１１ａがドレッシングボード１５を切削して、切削ブレード１１ａのドレッシング（目立て）を行う。

【0027】

ドレッシングボード１５は、切削ブレード１１ａによりＸ軸方向からドレッシングされても、治具本体３１ａに吸引保持されると共に位置ずれ規制部３３により移動が規制され、更に滑止部材３２０により滑り止めされているので、載置領域３２からずれることがない。また、位置ずれ規制部３３の厚みは、ドレッシングボード１５の厚みより薄いので、切削ブレード１１ａの目立ての際に切削ブレード１１ａが位置ずれ規制部３３に接触することを防止できる。なお、切削ブレード１１ａの目立ては、切削ブレード１１ａが目潰れして目立てが必要になった場合や、切削ブレード１１ａが磨耗して新たな切削ブレードに交換する場合に行われる。

【0028】

ドレッシング処理が終了した後、チャックテーブル３に載置された保持治具３０Ａは、第２の搬送手段７により、レール９に搬送されて仮置きされる。レール９に仮置きされた保持治具３０Ａは、第１の搬送手段６により、カセット８に収容される。なお、ドレッシング終了後、第２の搬送手段７によりレール９に仮置きされた保持治具３０Ａをカセット８に収容せずに作業員が回収するようにしてもよい。

【0029】

以上のように、実施形態１に係るドレッシングボード１５の保持治具３０Ａによれば、治具本体３１ａが環状フレーム５１に対応した外径に形成され、チャックテーブル３からの吸引力を作用させる貫通穴３４が形成されてドレッシングボード１５が載置される載置領域３２と、ドレッシングボード１５の位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部３３とを備える。これにより、保持治具３０Ａは、第１及び第２の搬送手段６，７により環状フレーム５１と同様に治具本体３１ａが保持されるので、ウェーハユニット５０と同様に搬送することができる。また、保持治具３０Ａは、チャックテーブル３により載置領域３２の貫通穴３４に負圧が与えられるので、ドレッシングボード１５を治具本体３１ａに吸着して固定することができる。また、保持治具３０Ａは、位置ずれ規制部３３によりドレッシングボード１５の移動を規制するので、ドレッシングボード１５を余すところなく予定通り切削して良好に目立てができる。従って、環状フレーム５１とテープ５２を不要にしながらも、環状フレーム５１にテープ５２によりドレッシングボード１５が保持された場合と同じようにドレッシングを行うことができる。これにより、環状フレーム５１及びテープ５２のランニングコストを削減できると共に、テープ５２により環状フレーム５１へドレッシングボード１５を固定する工数を削減できる。

【0030】

〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の構成例について説明する。図５は、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す斜視図である。図６は、実施形態２に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す断面図である。実施形態１と同じ構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

【0031】

ドレッシングボード１５の保持治具３０Ｂは、フレームクランプ３ｃがチャックテーブル３の保持面３ａよりも低い位置で挟持する場合に使用される（図７参照）。例えば、フレームクランプ３ｃの支持基台部３ｄの支持面３ｆは、チャックテーブル３の保持面３ａよりも高さＨ４だけ低い位置で環状フレーム５１を挟持する。

【0032】

保持治具３０Ｂは、治具本体３１ｂと、ドレッシングボード１５が載置される載置領域３２と、ドレッシングボード１５の位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部３３とを備える。治具本体３１ｂは凸部３５と、縁部３６と、凹部３７とを備え、縁部３６は環状フレーム５１に対応した外径に形成されている。すなわち、治具本体３１ｂは、ウェーハユニット５０の環状フレーム５１と同じ外周形状に形成されている。治具本体３１ｂの凸部３５は、縁部３６よりも高い位置に形成され、チャックテーブル３の保持面３ａと略同じ大きさに形成されている。治具本体３１ｂの裏面側には凹部３７が形成され、凹部３７の深さＨ３とフレームクランプ３ｃの支持基台部３ｄの支持面３ｆからのチャックテーブル３の保持面３ａの高さＨ４は等しい高さである。治具本体３１ｂの素材は、プラスチックや金属などである。載置領域３２は、治具本体３１ａにおける凸部３５の中央付近に２箇所設けられ、正方形のドレッシングボード１５の形状に合わせて領域が設定されている。

【0033】

載置領域３２には、チャックテーブル３からの吸引力を作用させる貫通穴３４が形成されている。載置領域３２には滑止部材３２０が塗布されており、ドレッシングボード１５が滑りにくいようになっている。位置ずれ規制部３３は、治具本体３１ｂの載置領域３２の周囲に形成され、ドレッシングボード１５の位置ずれを防ぐ。

【0034】

載置領域３２にドレッシングボード１５が載置された保持治具３０Ｂは、ウェーハユニット５０と同様にカセット８に収容され、第１及び第２の搬送手段６，７に支持されて搬送される。例えば、カセット８にウェーハユニット５０を積層する間隔は、保持治具３０Ｂにドレッシングボード１５を載置した時の高さＨ２よりも大きくなっている。これにより、保持治具３０Ｂをウェーハユニット５０と同様にカセット８に差し込んで収容することができる。ところで、保持治具３０Ｂは凸部３５を有しているので、保持治具３０Ｂの高さＨ２は保持治具３０Ａの高さＨ１よりも高く構成されている。このため、保持治具３０Ｂの高さＨ２が、カセット８にウェーハユニット５０を積層する間隔よりも高くなる場合は、カセット８の２段分のスペースを確保して保持治具３０Ｂを収容するようにしてもよい。第１及び第２の搬送手段６，７は、環状フレーム５１と同様に治具本体３１ｂの縁部３６を吸引保持して保持治具３０Ｂを搬送する。

【0035】

次に、ドレッシングボードの保持治具の使用例について説明する。図７は、ドレッシングボードの保持治具の使用例を示す断面図である。図７に示す保持治具３０Ｂは、凸部３５がチャックテーブル３の保持面３ａに載置され、縁部３６がフレームクランプ３ｃにより挟持されている。

【0036】

フレームクランプ３ｃは、アクチュエータにより回動されて支持基台部３ｄに対向する爪部３ｅを有している。保持治具３Ｂがチャックテーブル３に載置されると、保持治具３０Ｂの縁部３６が支持基台部３ｄにより支持され、爪部３ｅが回動されて爪部３ｅと支持基台部３ｄにより縁部３６が挟持されて保持治具３０Ｂがチャックテーブル３に固定される。

【0037】

ドレッシングボード１５は、治具本体３１ｂの貫通穴３４を介して保持面３ａから受ける負圧により、治具本体３１ｂに吸引保持される。さらに、ドレシングボード１５は、位置ずれ規制部３３により、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動が規制される。この状態で、切削ブレード１１ａがドレッシングボード１５を切削して、切削ブレード１１ａの目立てを行う。ドレッシングボード１５は、切削ブレード１１ａによりＸ軸方向からドレッシングされても、治具本体３１ｂに吸引保持されると共に位置ずれ規制部３３により移動が規制され、更に滑止部材３２０により滑り止めされているので、載置領域３２からずれることがない。

【0038】

以上のように、実施形態２に係るドレッシングボード１５の保持治具３０Ｂによれば、環状フレーム５１を引き落としてクランプする切削装置に適用可能であって、実施形態１の保持治具３０Ａと同様に、環状フレーム５１にテープ５２によりドレッシングボード１５が保持された場合と同じようにドレッシングを行うことができる。

【0039】

なお、位置ずれ規制部３３は、略Ｌ字形状に形成されて載置領域３２の一方の対角線上に配設されると説明したが、ドレッシングボード１５の移動を規制できればよく、上述の構成に限定されない。例えば、位置ずれ規制部は、載置領域３２の他方の対角線上にも略Ｌ字形状の部材を追加して配設するようにしてもよいし、載置領域３２の全周を囲むような矩形枠の部材を配設するようにしてもよい。また、位置ずれ規制部は、柱状の部材を載置領域３２の各辺に対して２点支持するように立設させて配設してもよい。また、位置ずれ規制部は、切削ブレードの回転方向（Ｘ軸方向）に特に負荷がかかるので、Ｘ軸方向にかかる負荷を支持する部材を、Ｙ軸方向にかかる負荷を支持する部材よりも強固なものにしてもよい。例えば、Ｘ軸方向にかかる負荷を支持する部材の支持範囲を、Ｙ軸方向にかかる負荷を支持する部材の支持範囲よりも広くすることが考えられる。

【0040】

また、載置領域３２を２箇所に配設する例を説明したが、これに限定されない。例えば、切削ブレード１１ａ，１２ａのそれぞれに対してＸ軸方向に２箇所ずつ、合計４箇所に載置領域３２を配設するようにしてもよい。これにより、ドレッシングボード１５を２倍載置することができるので連続してドレッシングをすることが可能となり、作業効率を向上できる。

【符号の説明】

【0041】

１ 切削装置
３ チャックテーブル
３ａ 保持面
３ｂ，３ｃ フレームクランプ
８ カセット
８ａ カセット載置台
１１ 第１の切削手段
１１ａ 切削ブレード
１２ 第２の切削手段
１２ａ 切削ブレード
１５ ドレッシングボード
３０Ａ，３０Ｂ 保持治具
３１ａ，３１ｂ 治具本体
３２ 載置領域
３２０ 滑止部材
３３ 位置ずれ規制部
３４ 貫通穴
３５ 凸部
３６ 縁部
５０ ウェーハユニット
５１ 環状フレーム
５２ テープ
Ｗ ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】