特許 6379322 成膜装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6379322

(24)【登録日】2018年8月3日

(45)【発行日】2018年8月22日

(54)【発明の名称】成膜装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/56 20060101AFI20180813BHJP

   C23C 16/44 20060101ALI20180813BHJP

   C23C 16/54 20060101ALI20180813BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20180813BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20180813BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/56 G

   C23C16/44 F

   C23C16/54

   H01L21/68 A

   B65G49/06 A

【請求項の数】5

【全頁数】24

(21)【出願番号】特願2018-504296(P2018-504296)

(86)(22)【出願日】2017年11月6日

(86)【国際出願番号】JP2017039940

【審査請求日】2018年1月26日

(31)【優先権主張番号】特願2016-216343(P2016-216343)

(32)【優先日】2016年11月4日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100106666

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100102875

【弁理士】

【氏名又は名称】石島 茂男

(72)【発明者】

【氏名】松崎 淳介

(72)【発明者】

【氏名】高橋 明久

(72)【発明者】

【氏名】水島 優

【審査官】 今井 淳一

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭５５−０５４５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０３１８２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２０７１４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１７／１０４８２６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／５６

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｃ２３Ｃ １６／４４

Ｃ２３Ｃ １６／５４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

単一の真空雰囲気が形成される真空槽と、
前記真空槽内に設けられ、基板保持器に保持された基板に第１の膜を形成する第１の成膜領域と、
前記真空槽内の前記第１の成膜領域の下方または上方のいずれか一方に設けられ、前記基板保持器に保持された前記基板に第２の膜を形成する第２の成膜領域と、
複数の前記基板保持器に第１の成膜領域と前記第２の成膜領域とを通過させる基板保持器搬送機構と、を備え、
前記基板保持器搬送機構は、
鉛直面に投影された形状が環状の形状になるように形成された搬送経路と、
前記複数の基板保持器に設けられた被駆動部と接触し、前記基板保持器の水平状態を維持しながら前記被駆動部を押して前記基板保持器を前記搬送経路に沿って移動させる駆動部と、
を有し、
前記搬送機構は、
前記第１の成膜領域の一端から他端に亘って配置され、前記駆動部によって前記基板保持器に前記第１の成膜領域を通過させる第１の搬送部と、
前記第２の成膜領域の一端から他端に亘って配置され、前記駆動部によって前記基板保持器に前記第２の成膜領域を通過させる第２の搬送部と、
を有し、
前記基板保持器搬送機構には、前記基板保持器の水平状態を維持しながら前記基板保持器を前記第１の搬送部から前記第２の搬送部に移動させる搬送折り返し部が設けられ、
前記搬送機構には、前記第２の搬送部から前記第１の搬送部に前記駆動部を移動させる駆動部折り返し部が設けられた成膜装置。

【請求項2】

前記基板保持器の移動方向の下流側の端部と移動方向の上流側の端部とに、成膜材料を遮蔽する突状の遮蔽部が設けられた請求項１記載の成膜装置。

【請求項3】

隣り合って移動する２個の前記基板保持器の前記遮蔽部のうち、先行して移動する前記基板保持器の前記移動方向の下流側の前記遮蔽部と、後行して移動する前記基板保持器の前記移動方向の上流側の前記遮蔽部とは、前記基板保持器の底面からの高さが異なって形成され、移動の際に重なり合って配置される請求項２記載の成膜装置。

【請求項4】

前記基板保持器搬送機構は、回転軸線を中心に回転する二個の駆動輪に架け渡された搬送駆動部材を有し、
前記駆動部は、前記搬送駆動部材にそれぞれ設けられた第２の駆動部と第１の駆動部とを含み、
各前記基板保持器の前記被駆動部には、前記基板保持器の移動方向の上流側に設けられた上流側被駆動部と下流側に設けられた下流側被駆動部とが含まれ、
前記第２の駆動部は、前記下流側被駆動部と接触して前記下流側被駆動部を押圧して前記基板保持器を直線移動させ、
前記第１の駆動部は、前記第２の駆動部よりも移動方向の後方側に配置され、前記第２の駆動部によって直線移動される前記基板保持器の移動方向上流側に位置する前記駆動輪の側面に位置して回転中に、前記上流側被駆動部に接触して押圧し、前記基板保持器を前記第２の駆動部の移動速度よりも高速に移動させる請求項１記載の成膜装置。

【請求項5】

前記基板保持器は、当該移動方向に対して直交する方向に沿って複数の成膜対象基板が並べられるように構成された請求項１記載の成膜装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空中で基板保持器に保持された基板の両面に通過成膜を行う成膜装置の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、複数の被成膜基板をそれぞれトレイ等の基板保持器に載置して通過成膜する成膜装置が知られている。
このような成膜装置としては、成膜対象である基板を真空槽内に導入（ローディング）して基板保持器に保持させ、成膜が終了した基板を基板保持器から取り外して真空槽の外へ排出（アンローディング）している。

【0003】

従来技術の構成では、基板は、ローディング位置からアンローディング位置まで、その成膜面が水平に保たれていて、水平面内に構成された環状の搬送経路を移動しながら、各プロセスを行うようになっている。

【0004】

その結果、このような従来技術では、成膜装置の大型化及び複雑化が避けられないという問題がある。
また、各基板を保持した複数の基板保持器を搬送して通過成膜を行う場合、成膜の効率をできるだけ大きくすることが好ましい。

【0005】

しかし、このような通過成膜を行う装置にあっては、効率良く成膜を行うことが困難であるという問題がある。
特に、基板の両面に成膜を行う装置においては、上述した課題がより深刻になるという問題もある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００７−０３１８２１号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、複数の基板保持器を用い、基板の両面に効率良く成膜が可能で、しかも小型且つ簡素な構成の通過型の成膜装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するためになされた本発明は、単一の真空雰囲気が形成される真空槽と、前記真空槽内に設けられ、基板保持器に保持された基板に第１の膜を形成する第１の成膜領域と、前記真空槽内の前記第１の成膜領域の下方または上方のいずれか一方に設けられ、前記基板保持器に保持された前記基板に第２の膜を形成する第２の成膜領域と、複数の前記基板保持器に第１の成膜領域と前記第２の成膜領域とを通過させる基板保持器搬送機構と、を備え、前記基板保持器搬送機構は、鉛直面に投影された形状が環状の形状になるように形成された搬送経路と、前記複数の基板保持器に設けられた被駆動部と接触し、前記基板保持器の水平状態を維持しながら前記被駆動部を押して前記基板保持器を前記搬送経路に沿って移動させる駆動部とを有し、前記搬送機構は、前記第１の成膜領域の一端から他端に亘って配置され、前記駆動部によって前記基板保持器に前記第１の成膜領域を通過させる第１の搬送部と、前記第２の成膜領域の一端から他端に亘って配置され、前記駆動部によって前記基板保持器に前記第２の成膜領域を通過させる第２の搬送部と、を有し、前記基板保持器搬送機構には、前記基板保持器の水平状態を維持しながら前記基板保持器を前記第１の搬送部から前記第２の搬送部に移動させる搬送折り返し部が設けられ、前記搬送機構には、前記第２の搬送部から前記第１の搬送部に前記駆動部を移動させる駆動部折り返し部が設けられた成膜装置である。
また、本発明は、前記基板保持器の移動方向の下流側の端部と移動方向の上流側の端部とに、成膜材料を遮蔽する突状の遮蔽部が設けられた成膜装置である。
本発明は、隣り合って移動する２個の前記基板保持器の前記遮蔽部のうち、先行して移動する前記基板保持器の前記移動方向の下流側の前記遮蔽部と、後行して移動する前記基板保持器の前記移動方向の上流側の前記遮蔽部とは、前記基板保持器の底面からの高さが異なって形成され、移動の際に重なり合って配置される成膜装置である。
本発明は、前記基板保持器搬送機構は、回転軸線を中心に回転する二個の駆動輪に架け渡された搬送駆動部材を有し、前記駆動部は、前記搬送駆動部材にそれぞれ設けられた第２の駆動部と第１の駆動部とを含み、各前記基板保持器の前記被駆動部には、前記基板保持器の移動方向の上流側に設けられた上流側被駆動部と下流側に設けられた下流側被駆動部とが含まれ、前記第２の駆動部は、前記下流側被駆動部と接触して前記下流側被駆動部を押圧して前記基板保持器を直線移動させ、前記第１の駆動部は、前記第２の駆動部よりも移動方向の後方側に配置され、前記第２の駆動部によって直線移動される前記基板保持器の移動方向上流側に位置する前記駆動輪の側面に位置して回転中に、前記上流側被駆動部に接触して押圧し、前記基板保持器を前記第２の駆動部の移動速度よりも高速に移動させる成膜装置である。
さらに、本発明は、前記基板保持器は、当該移動方向に対して直交する方向に沿って複数の成膜対象基板が並べられるように構成された成膜装置である。

【発明の効果】

【0009】

本発明にあっては、単一の真空雰囲気が形成される真空槽内において、搬送経路が鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成されるとともに、複数の基板保持器を水平にした状態で搬送経路に沿って搬送する基板保持器搬送機構を備えていることから、小型の成膜装置を提供することができる。

【0010】

また、本発明では、基板保持器搬送機構が、複数の基板保持器にそれぞれ設けられた被駆動部と接触して当該基板保持器を移動方向に押圧して移動させる複数の駆動部を有し、当該駆動部は、隣り合う二個の基板保持器について、移動方向下流側の基板保持器の移動方向上流側の端部と、移動方向上流側の基板保持器の移動方向下流側の端部とが近接した状態で成膜領域を搬送するように構成されていることから、複雑な制御を行うことなく搬送経路にできるだけ多くの基板保持器を配置することができ、これにより構成が簡素で且つ効率良く成膜を行う成膜装置を提供することができる。

【0011】

また、複数の基板保持器の間の間隔を従来技術に比べて狭くすることができるので、成膜材料の無駄を省き効率良く使用することができるとともに、基板保持器の間を通過する成膜材料の量を少なくすることができるので、成膜材料の真空槽内への付着量を減らすことができ、また真空槽内における成膜材料のコンタミネーションを防止することができる。

【0012】

また、基板の両面に効率良く成膜が可能で、しかも小型且つ簡素な構成の通過型の成膜装置を提供することができる。

【0013】

また、遮蔽部により、真空槽内における成膜材料のコンタミネーションを防止することができる。

【0014】

また、駆動部間の距離を適切に設定することで、複数の基板保持器を自動的に接近させて移動させることができる。

【0015】

また、第１及び第２の搬送部を一定の速度で搬送させた状態で、第１の回転駆動手段側から基板保持器を排出する際においても、搬送駆動部材の加速用駆動部によって基板保持器を加速することができ、これにより排出する基板保持器を後続の基板保持器に対して自動的に離間させて円滑に排出することができる。

【0016】

第１の回転駆動手段側から基板保持器を導入する場合において第１の回転駆動手段を通過する際に、また第１の回転駆動手段側から基板保持器を排出する際に、搬送駆動部材の加速用駆動部によって容易に基板保持器を加速することができる。

【0017】

また、本発明において、基板保持器が当該移動方向に対して直交する方向に複数の成膜対象基板を並べて保持するように構成されている場合には、従来技術のような基板の移動方向に複数の基板を並べて保持する基板保持器を搬送して成膜を行う場合と比較して、基板保持器の長さ及びこれに伴う余剰スペースを削減することができるので、成膜装置のより省スペース化を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明に係る成膜装置の実施の形態の全体を示す概略構成図

【図2】本実施の形態における基板保持器搬送機構の基本構成を示す平面図

【図3】同基板保持器搬送機構の要部構成を示す正面図

【図4】（ａ）〜（ｃ）：本実施の形態に用いる基板保持器の構成を示すもので、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は正面図、図４（ｃ）は遮蔽部の近傍を示す拡大図

【図5】（ａ）（ｂ）：基板保持器搬送機構における第１及び第２の駆動部の寸法と、基板保持器の寸法との関係を示す説明図

【図6】真空槽内への基板の導入動作を示す説明図（その１）

【図7】真空槽内への基板の導入動作を示す説明図（その２）

【図8】真空槽内への基板の導入動作を示す説明図（その３）

【図9】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板保持器搬送機構へ渡される動作の説明図（その１）

【図10】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板保持器搬送機構へ渡される動作の説明図（その２）

【図11】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板保持器搬送機構へ渡される動作の説明図（その３）

【図12】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板保持器搬送機構へ渡される動作の説明図（その４）

【図13】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板搬入搬出機構へ渡される動作の説明図（その１）

【図14】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板搬入搬出機構へ渡される動作の説明図（その２）

【図15】（ａ）（ｂ）：本実施の形態において、基板保持器が基板搬入搬出機構へ渡される動作の説明図（その３）

【図16】真空槽内から基板を排出する動作を示す説明図（その１）

【図17】真空槽内から基板を排出する動作を示す説明図（その２）

【図18】真空槽内から基板を排出する動作を示す説明図（その３）

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る成膜装置の実施の形態の全体を示す概略構成図である。
また、図２は、本実施の形態における基板保持器搬送機構の基本構成を示す平面図、図３は、同基板保持器搬送機構の要部構成を示す正面図である。
さらに、図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に用いる基板保持器の構成を示すもので、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は正面図、図４（ｃ）は遮蔽部の近傍を示す拡大図である。

【0020】

図１に示すように、本実施の形態の成膜装置１は、真空排気装置１ａに接続された単一の真空雰囲気が形成される真空槽２を有している。

【0021】

真空槽２の内部には、後述する搬送経路を有し、基板保持器１１を搬送経路に沿って搬送する基板保持器搬送機構３が設けられている。

【0022】

この基板保持器搬送機構３は、基板１０を保持する複数の基板保持器１１を、近接した状態で連続して搬送するように構成されている。

【0023】

ここで、基板保持器搬送機構３は、例えばスプロケット等からなり駆動機構（図示せず）から回転駆動力が伝達されて動作する同一径の円形の第１及び第２の駆動輪（第１及び第２の回転駆動手段）３１、３２を有し、これら第１及び第２の駆動輪３１、３２が、それぞれの回転軸線Ｑ１、Ｑ２を平行にした状態で所定距離をおいて配置されている。

【0024】

そして、第１及び第２の駆動輪３１、３２には例えばチェーン等からなる二本の搬送駆動部材３３が離間して架け渡されている。

【0025】

さらに、図２に示すように、これら第１及び第２の駆動輪３１、３２に二本の搬送駆動部材３３が架け渡された構造体が所定の距離をおいて平行に配置され、これにより鉛直に配置された平面(この平面は水平面に対して垂直に配置された平面であって鉛直面と称する。)に対して環状となる搬送経路が形成されている。

【0026】

本実施の形態では、搬送経路を構成する搬送駆動部材３３のうち上側の部分に、第１の駆動輪３１から第２の駆動輪３２に向って移動して基板保持器１１を第１の移動方向に搬送する往路側搬送部（第１の搬送部とも称する）３３ａが形成されるとともに、第２の駆動輪３２の周囲の部分の搬送駆動部材３３によって基板保持器１１の移動方向を折り返して反対方向に転換する折り返し部３３ｂが形成され、さらに、二本の搬送駆動部材３３のうち下側の部分に、第２の駆動輪３２から第１の駆動輪３１に向って移動して基板保持器１１を第２の移動方向に搬送する復路側搬送部（第２の搬送部とも称する）３３ｃが形成されている。

【0027】

本実施の形態の基板保持器搬送機構３は、各搬送駆動部材３３の上側に位置する往路側搬送部３３ａと、各搬送駆動部材３３の下側に位置する復路側搬送部３３ｃとがそれぞれ対向し、鉛直方向に関して重なるように構成されている（図１、図２参照）。

【0028】

また、基板保持器搬送機構３には、基板保持器１１を導入する基板保持器導入部３０Ａと、基板保持器１１を折り返して搬送する搬送折り返し部３０Ｂと、基板保持器１１を排出する基板保持器排出部３０Ｃが設けられている。

【0029】

ここで、搬送折り返し部３０Ｂは、例えば一連の環状に形成された反転部３４を有し、この反転部３４に設けられた複数の支持部（図示せず）と、上記搬送駆動部材３３の折り返し部３３ｂに設けられた複数の支持部（図示せず）とによって各基板保持器１１を支持し、往路側搬送部３３ａ上での所定方向への移動が終了された基板保持器１１は復路側搬送部３３ｃに移動されて往路側搬送部３３ａ上を移動したときの方向とは逆方向への移動を開始する。
基板保持器１１は、往路側搬送部３３ａを移動するときに鉛直上方を向けられた面は、往路側搬送部３３ａから復路側搬送部３３ｃに移動されるときと復路側搬送部３３ｃ上で移動するときとの両方とも、鉛直上方を向けられた状態が維持される。

【0030】

また、本実施の形態では、第１、第２の駆動輪３１、３２は、モーター等の回転装置によって両方の側面が同速度で移動するように、回転軸線Ｑ１、Ｑ２を中心にして同じ回転方向に一定の速度で回転される。
各搬送駆動部材３３は第１、第２の駆動輪３１、３２の側面に接触されており、搬送駆動部材３３の第１の駆動輪３１に接触した部分と第２の駆動輪３２に接触した部分とは、第１、第２の駆動輪３１、３２と一緒に滑ることなく回転移動し移動方向後方側から移動方向前方側へ回転移動する。他方、第１の駆動輪３１と第２の駆動輪３２との間では移動方向後方側（移動方向上流側）から移動方向前方側（移動方向下流側）に直線移動する。
各搬送駆動部材３３は伸縮しない材料で構成されており、また、弛まないように第１、第２の駆動輪３１、３２の間に掛け渡され、往路側搬送部３３ａの中と復路側搬送部３３ｃの中とでは、各搬送駆動部材３３は水平な平面形状に配置されている。従って、第１、第２の駆動輪３１、３２の間の各搬送駆動部材３３も、第１及び第２の駆動輪３１、３２の側面の移動速度と同じ速度で移動するように構成されている。

【0031】

本実施の形態では、真空槽２内において、基板保持器搬送機構３の上部に配置されたスパッタ源４Ｔと対面する空間である第１の成膜領域４が設けられ、基板保持器搬送機構３の下部に配置されたスパッタ源５Ｔと対面する空間である第２の成膜領域５が設けられている。

【0032】

なお、第１及び第２の成膜領域４、５には、所定のスパッタガスを導入するガス導入機構（図示せず）がそれぞれ設けられている。

【0033】

本実施の形態では、上述した搬送駆動部材３３を有する往路側搬送部３３ａは、上記第１の成膜領域４の一端から他端に亘って直線的に配置されており、後述するように、往路側搬送部３３ａ内の搬送経路に沿って移動する基板保持器１１は、第１の成膜領域４の一端と他端との間を水平方向に移動して通過するように構成されている。
また搬送駆動部材３３を有する復路側搬送部３３ｃは、同様に、上記第２の成膜領域５の一端から他端の間に亘って直線的に配置されており、後述するように、復路側搬送部３３ｃ内の搬送経路に沿って移動する基板保持器１１は、上記第２の成膜領域５の一端と他端との間を水平方向に移動して通過するように構成されている。

【0034】

そして、搬送経路を構成するこれら搬送駆動部材３３を有する往路側搬送部３３ａ及び復路側搬送部３３ｃの中を基板保持器１１が通過する場合に、基板保持器１１に保持された複数の基板１０（図２参照）は水平状態で移動されるようになっている。

【0035】

真空槽２内の基板保持器搬送機構３の近傍の位置、例えば第１の駆動輪３１に隣接する位置には、基板保持器搬送機構３に基板保持器１１を渡し、また、基板保持器搬送機構３から基板保持器１１を受け取るための基板搬入搬出機構６が設けられている。

【0036】

本実施の形態の基板搬入搬出機構６は、昇降機構６０によって例えば鉛直上方向又は鉛直下方向に駆動される駆動ロッド６１の先（上）端部に設けられた支持部６２を有している。

【0037】

本実施の形態では、基板搬入搬出機構６の支持部６２上に搬送ロボット６４が設けられ、この搬送ロボット６４上に上述した基板保持器１１を支持して基板保持器１１を鉛直上下方向に移動させ、かつ、搬送ロボット６４によって基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１を渡し且つ受け取るように構成されている。

【0038】

この場合、後述するように、基板搬入搬出機構６は基板保持器搬送機構３の往路側搬送部３３ａの基板保持器導入部３０Ａに基板保持器１１を渡し（この位置を「基板保持器受け渡し位置」という。）、また、基板搬入搬出機構６は基板保持器搬送機構３の復路側搬送部３３ｃの基板保持器排出部３０Ｃから基板保持器１１を受け取る（この位置を「基板保持器取り出し位置」という。）ように構成されている。

【0039】

真空槽２の例えば上部には、真空槽２内に基板１０を搬入し且つ真空槽２から基板１０を搬出するための基板搬入搬出室２Ａが設けられている。

【0040】

この基板搬入搬出室２Ａは、例えば上述した基板搬入搬出機構６の支持部６２の上方の位置に連通口２Ｂを介して設けられており、例えば基板搬入搬出室２Ａの上部には、開閉可能な蓋部２ａが設けられている。

【0041】

そして、後述するように、基板搬入搬出室２Ａ内に搬入された基板１０を基板搬入搬出機構６の支持部６２の搬送ロボット６４上の基板保持器１１に渡して保持させ、かつ、成膜済の基板１０Ａを基板搬入搬出機構６の支持部６２の搬送ロボット６４上の基板保持器１１から例えば真空槽２の外部の大気中に搬出するように構成されている。

【0042】

なお、本実施の形態の場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２の上部の縁部に、基板１０を搬入及び搬出する際に基板搬入搬出室２Ａと真空槽２内の雰囲気を隔離するための例えばＯリング等のシール部材６３が設けられている。

【0043】

この場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２を基板搬入搬出室２Ａ側に向って上昇させ、支持部６２上のシール部材６３を真空槽２の内壁に密着させて連通口２Ｂを塞ぐことにより、真空槽２内の雰囲気に対して基板搬入搬出室２Ａ内の雰囲気を隔離するように構成されている。

【0044】

二本の搬送駆動部材３３には、それぞれ所定の間隔をおいて複数の対となる駆動部が搬送駆動部材３３の外方側に突出するように設けられている。

【0045】

図３に示すように、本実施の形態では、対となる駆動部であって、加速用駆動部として用いられる第１の駆動部２１と、加速用には用いられない他の駆動部としての第２の駆動部２２が二本の搬送駆動部材３３にそれぞれ設けられている。

【0046】

ここで、第１の駆動部２１と第２の駆動部２２とは両方とも棒形状であり、第１の駆動部２１と第２の駆動部２２とは、搬送駆動部材３３の表面に対して垂直になるようにして搬送駆動部材３３に固定されている。要するに、棒形状の第１、第２の駆動部２１、２２が各搬送駆動部材３３の表面に垂直に立設されている。後述するように、第１、第２の駆動部２１、２２が基板保持器１１の第１、第２の被駆動部１２、１３と接触して当該基板保持器１１を移動方向に押圧して移動させるように設けられている。

【0047】

また、一対の搬送駆動部材３３（図２参照）の内側の位置で、第１及び第２の駆動輪３１、３２の間には、搬送する基板保持器１１を支持する一対の基板保持器支持機構１８が設けられている。
搬送駆動部材３３は環状にされており、一部が上方に位置し、他の一部が下方に位置するように配置されている。搬送駆動部材３３は金属で形成されたベルト等である。
搬送駆動部材３３のうちの上方に位置する部分では、基板保持器１１は基板保持器支持機構１８によって搬送駆動部材３３よりも上方に位置するように支持されており、搬送駆動部材３３の下方に位置する部分では、基板保持器１１は基板保持器支持機構１８によって搬送駆動部材３３よりも下方に位置するように支持されている。

【0048】

基板保持器支持機構１８は、例えば複数のローラ等の回転可能な部材からなるもので、それぞれ搬送駆動部材３３の近傍に設けられている。

【0049】

本実施の形態では、図３に示すように、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａの近傍に往路側基板保持器支持機構１８ａが設けられるとともに、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃの近傍に復路側基板保持器支持機構１８ｃが設けられ、往路側基板保持器支持機構１８ａと復路側基板保持器支持機構１８ｃとは、搬送される基板保持器１１の下面の両縁部を支持するように配置構成されている。

【0050】

本実施の形態に用いる基板保持器１１は、基板１０の両面上に成膜を行うものであり、基板保持器１１は保持器本体９を有しており、後述するように、第１、第２の被駆動部１２，１３は、保持器保体９の二側面に設けられている。保持器本体９には開口部が形成され、トレイ状にされている。

【0051】

図２及び図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、本実施の形態の基板保持器１１は、例えば長尺矩形の平板状に形成され、その長手方向即ち移動方向に対して直交する方向に例えば矩形状の複数の基板１０を一列に並べてそれぞれ保持するように構成されている。

【0052】

ここで、複数の基板１０を保持する部分には、各基板１０と同じ形状で各基板１０の両面の全部が露出する大きさの開口部１７が設けられている。基板を保持する部分には、図示しない保持部材によって両面が露出された状態で、基板を開口部１７上に保持するように構成されている。基板１０が矩形の場合は開口部１７の形状も矩形である。

【0053】

本発明では、特に限定されることはないが、設置面積を小さくし且つ処理能力を向上させる観点からは、基板保持器１１について、本実施の形態のように、移動方向に対して直交する方向に複数の基板１０を一列に並べてそれぞれ保持するように構成することが好ましい。

【0054】

ただし、成膜効率を向上させる観点からは、移動方向に対して直交する方向に複数の基板１０を複数列に並べることも可能である。

【0055】

この場合、基板１０が円形形状であれば、例えば千鳥配列を採用することにより、成膜されない部分の面積を小さくすることができる。

【0056】

また、基板１０と後述する第１及び第２の遮蔽部１５、１６との寸法比により複数列に並べた方が成膜効率が向上する場合には、基板１０を複数列に並べることもできる。

【0057】

各基板保持器１１の保持器本体９は、移動方向とは垂直方向が長手方向にされた矩形形状であり、保持器本体９の四側面には、基板保持器１１が移動する移動方向の下流側に向けられた側面と上流側に向けられた側面と、側方に向けられた二側面とがあり、側方に向けられた二側面には、それぞれ第１、第２の被駆動部１２，１３が設けられている。
側方に向けられた二側面のうち一側面の中では、第１の被駆動部１２が第２の被駆動部１３よりも移動方向の下流側に設けられており、従って、二側面の中では、第１の被駆動部１２は保持器本体９の先頭側に設けられ、第２の被駆動部１２は保持器本体９の後尾側に設けられている。
第１、第２の被駆動部１２，１３は棒形状であり、水平方向に伸びるように保持器本体９の側面に垂直に設けられている。
二本の搬送駆動部材３３間には隙間が設けられており、保持器本体９は二本の搬送駆動部材３３の間に位置しており、第１、第２の被駆動部１２，１３はそれぞれ二本の搬送駆動部材３３上に配置されている。ここでは第１、第２の被駆動部１２，１３は二本の搬送駆動部材３３とは非接触にされており、第１、第２の被駆動部１２，１３が第１の駆動部２１又は第２の駆動部２２と非接触の状態では、基板保持器１１は移動する搬送駆動部材３３によっては移動されないようになっている。

【0058】

これら第１及び第２の被駆動部１２、１３の断面形状は、それぞれ基板保持器１１の長手方向に延びる中心軸線を中心とした円形形状であり、後述するように、搬送駆動部材３３に設けられた第１、第２の駆動部２１、２２と接触して第１及び第２の被駆動部１２、１３は第１又は第２の駆動部２１、２２によって押圧され、押圧される力により、基板保持器１１が移動方向に向けて移動されるように構成されている。
二本の搬送駆動部材３３は同一速度で移動するようになっており、二本の搬送駆動部材３３にそれぞれ設けられた第２の駆動部２２は、一個の基板保持器１１の二側面にそれぞれ設けられた第１の被駆動部１２に同時に接触し、また、二本の搬送駆動部材３３にそれぞれ設けられた第１の駆動部２１は一個の基板保持器１１の二側面にそれぞれ設けられた第２の被駆動部１３に同時に接触する。

【0059】

基板保持器１１を搬送駆動部材３３によって移動させる際に、基板保持器１１の移動方向の上流側の端部と下流側の端部とには遮蔽部がそれぞれ設けられている。ここで上流側と下流側のいずれか一方の端部の遮蔽部を第１の遮蔽部（遮蔽部）１５とし、他方の側の遮蔽部を第２の遮蔽部（遮蔽部）１６とする。

【0060】

これら第１及び第２の遮蔽部１５、１６は、飛翔する成膜材料（スパッタ粒子）を遮蔽するためのもので、それぞれ基板保持器１１の長手方向の全域にわたって移動方向側両端部から移動方向に突出するように設けられている。

【0061】

本実施の形態では、図４（ｃ）に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動部１２側の端部に設けられた第１の遮蔽部１５が、基板保持器１１の下面側において例えば移動方向下流側に突出するように設けられ、基板保持器１１の第２の被駆動部１３側の端部に設けられた第２の遮蔽部１６が、基板保持器１１の上面側において例えば移動方向上流側に突出するように設けられている。

【0062】

そして、複数の基板保持器１１が近接した状態で搬送される場合において、例えば図４（ｃ）に示すように、隣り合う二個の基板保持器１１のうち、一方の基板保持器１１の第１の遮蔽部１５が下方、他方の基板保持器１１の第２の遮蔽部１６が上方となって、（または一方の基板保持器１１の第１の遮蔽部１５が上方、他方の基板保持器１１の第２の遮蔽部１６が下方となって）第１、第２の遮蔽部１５、１６が重ねられるようになっている。
重ねられた第１、第２の遮蔽部１５、１６の間には隙間が設けられていると良い。
ここで、「隣り合う二個の基板保持器１１」とは、これら二個の基板保持器１１の間には他の基板保持器１１が位置しないことを意味しており、他の部材が隣り合う場合も同様とする。

【0063】

図５（ａ）（ｂ）は、基板保持器搬送機構３における第１及び第２の駆動部２１、２２の寸法と、基板保持器１１の寸法との関係を示す説明図である。

【0064】

本実施の形態の場合、各部分の寸法関係は往路側搬送部３３ａにおける場合を例にとって説明するが、第１の搬送部である往路側搬送部３３ａと、第２の搬送部である復路側搬送部３３ｃとにおいて、各部分の寸法関係は同一であることから、往路側搬送部３３ａにおける寸法関係は復路側搬送部３３ｃでも成立する。

【0065】

図５（ａ）（ｂ）に示すように、往路側搬送部３３ａに位置する複数の第１の駆動部２１は、その高さ（往路側搬送部３３ａ内に位置する搬送駆動部材３３表面から上端までの距離。「高さ」については以下同じ。）Ｈ₁が、搬送される基板保持器１１の第１及び第２の被駆動部１２、１３の高さｈより高くされている。
一本の搬送駆動部材３３の中で隣り合う第１の駆動部２１、２１間の、搬送駆動部材３３が平面形状に配置されているときの中心間距離である第１ピッチＰは全て同一の大きさに設定されている。中心間距離は、下流側に向いた面間の距離と上流側に向いた面間の距離と等しくされている。以下も同じである。

【0066】

本実施の形態の場合、第１ピッチＰは、図５（ｂ）に示すように、１個の基板保持器１１の第１及び第２の被駆動部１２、１３間の距離である被駆動部ピッチｐより大きくなるように設定されている。

【0067】

そして、一本の搬送駆動部３３の中で隣り合う第１の駆動部２１、２１を、隣り合って位置する基板保持器１１の第２の被駆動部１３、１３の移動方向上流側の面にそれぞれ接触させ、第１の駆動部２１、２１を移動させて第２の被駆動部１３，１３を押圧することで、往路側搬送部３３ａの中で基板保持器１１を移動方向下流側に移動させると、隣り合う基板保持器１１、１１が、近接した状態で整列して搬送されるように構成されている。

【0068】

ここでは、移動方向下流側に位置する基板保持器１１の移動方向上流側の端部と、移動方向上流側に位置する基板保持器１１の移動方向下流側の端部とが近接し、隣り合う移動方向上流側の基板保持器１１の第１の遮蔽部１５と、移動方向下流側の基板保持器１１の第２の遮蔽部１６とが、一方が下方、他方が上方に位置して隙間を間に配置して重ねられるように（図４（ｃ）参照）、第１ピッチＰと、被駆動部ピッチｐと、各基板保持器１１の寸法（第１及び第２の遮蔽部１５、１６の寸法）とが設定されている。

【0069】

一方、往路側搬送部３３ａに位置する複数の第２の駆動部２２は、その高さ（往路側搬送部３３ａに対する頂部の距離）Ｈ₂が、基板保持器１１の第１及び第２の被駆動部１２、１３の高さｈより高く、かつ、上記第１の駆動部２１の高さＨ₁より低くなるように設定されている。

【0070】

一本の搬送駆動部材３３の中では、第１の駆動部２１と第２の駆動部２２とは交互に配置されており、隣り合う第２の駆動部２２、２２間の、搬送駆動部材３３が平面形状に配置されているときの距離である第２ピッチＰ₀は、上記第１ピッチＰと同一の大きさに設定されている。

【0071】

そして、１本の搬送駆動材料３３の中では、第２の駆動部２２の移動方向上流側と下流側にはそれぞれ第１の駆動部２１が第２の駆動部２２に対して隣り合って配置されており、第２の駆動部２２と、その第２の駆動部２２に対して移動方向上流側で隣り合った第１の駆動部２１との間の、搬送駆動部材３３が平面形状に配置されているときの距離である上流側ピッチＰ₁は、第２の駆動部２２と、その第２の駆動部２２に対して移動方向下流側で隣り合った第１の駆動部２１との間の、搬送駆動部材３３が平面形状に配置されているときの距離である下流側ピッチＰ₂よりも大きくなるようにされている（図５（ａ）参照）。

【0072】

より詳細には、第２ピッチＰ₀は第１，第２の駆動部２１、２２の進行方向の下流に向く面間の距離であり、被駆動部ピッチｐは、第１、第２の被駆動部１２，１３の進行方向の上流に向く面間の距離であるものとする。上流側ピッチＰ₁は、被駆動部ピッチｐより小さくされている（図５（ｂ）参照）。

【0073】

以下、本実施の形態の成膜装置１の動作、並びに、この成膜装置１を用いた成膜方法を、図６〜図１８を参照して説明する。

【0074】

本実施の形態では、まず、図６に示すように、基板搬入搬出機構６の支持部６２上のシール部材６３を真空槽２の内壁に密着させて真空槽２内の雰囲気に対して基板搬入搬出室２Ａ内の雰囲気を隔離した状態で、大気圧までベントした後、基板搬入搬出室２Ａの蓋部２ａを開ける。

【0075】

その後、図示しない搬送ロボットを用いて基板１０を基板搬入搬出機構６の支持部６２の搬送ロボット６４上の基板保持器１１に装着して保持させる。

【0076】

そして、図７に示すように、基板搬入搬出室２Ａの蓋部２ａを閉じて所定の圧力となるまで真空排気をした後、基板搬入搬出機構６の支持部６２を基板保持器受け渡し位置まで下降させ、基板保持器１１の高さが搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａと同等の高さ位置となるようにする。

【0077】

さらに、図８に示すように、基板搬入搬出機構６の支持部６２に設けた搬送ロボット６４によって基板保持器１１を基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置する。

【0078】

本実施の形態において基板保持器１１を基板保持器搬送機構３へ渡す動作について、図９（ａ）（ｂ）〜図１２（ａ）（ｂ）を参照して説明する。

【0079】

なお、実際上は、この渡す動作の際、基板保持器１１を基板搬入搬出機構６へ渡す動作も同時に行われるが、本明細書では、理解を容易にするため、基板保持器１１が基板搬入搬出機構６へ渡される動作については後述する。

【0080】

以下、往路側搬送部３３ａ中に位置する搬送駆動部材３３に位置する基板保持器１１Ａと隣り合って後続する基板保持器１１Ｂが基板搬入搬出機構６から第１の搬送部３３ａに移動される工程について説明する。

【0081】

まず、基板搬入搬出機構６の搬送ロボット６４を用い、後続する基板保持器１１Ｂを図９（ａ）に示すように、基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置する。

【0082】

基板保持器導入部３０Ａに配置された基板保持器１１Ｂは、往路側搬送部３３ａを上流側に延長した場所に静止していることになり、その基板保持器１１Ｂの第１の被駆動部１２は、第２の被駆動部１３よりも移動方向下流側に位置している。

【0083】

このとき、基板保持器１１Ａと基板保持器導入部３０Ａに位置する後続の基板保持器１１Ｂとは離間しており、遮蔽部１５，１６は重なり合っていない。
基板保持器導入部３０Ａに位置する後続の基板保持器１１Ｂの下方では第１の駆動輪３１が回転軸線Ｑ１を中心に回転しており、第１の駆動輪３１と接触した搬送駆動部材３３の部分は、第１の駆動輪３１の回転速度と同じ大きさの回転速度で回転移動されている。回転移動する搬送駆動部材３３に設けられた第２の駆動部２２Ｂも回転移動し、その回転移動によって、第２の駆動部２２Ｂは図９（ｂ）に示すように上方に移動される。

【0084】

第１の駆動輪３１が更に回転し、第２の駆動部２２Ｂが設けられた部分の搬送駆動部材３３が第１の駆動輪３１から離間すると、第２の駆動部２２Ｂは、往路側搬送部３３ａの搬送経路に沿った直線移動を開始する。
回転移動中の第２の駆動部２２Ｂは、回転の外方向に向けて突き出されており、直線移動中は、上方に向けて突き出されている。

【0085】

基板保持器導入部３０Ａに位置する基板保持器１１Ｂの第１の被駆動部１２が回転軸線Ｑ１の真上よりも上流側に位置するときは、回転中の第２の駆動部２２Ｂが第１の被駆動部１２に接触し、回転軸線Ｑ１の真上よりも下流側に位置するときは、回転移動から直線移動に変更された第２の駆動部２２Ｂが第１の被駆動部１２に接触する。回転軸線Ｑ１の真上に位置しているときは、回転移動から直線移動に切り替わるときの第２の駆動部２２Ｂが第１の被駆動部１２に接触する（図１０(ａ)）。
いずれの場合も第２の駆動部２２Ｂの移動方向下流側を向く面が第１の被駆動部１２の移動方向上流側を向く面に接触する。

【0086】

第２の駆動部２２Ｂが第１の被駆動部１２に接触した状態で回転移動または直線移動をすると、第１の被駆動部１２は第２の駆動部２２Ｂによって移動方向下流側に向けて押圧され、基板保持部１１Ｂは移動方向下流側へ移動する。

【0087】

直線移動を継続すると、図１０(ｂ)に示すように、基板保持部１１Ｂの先頭は、往路側搬送部３３ａの内部に進入し、往路側搬送部３３ａの内部を直線移動する。先行する基板保持器１１Ａも一緒に移動しており、その第２の被駆動部１３と、後続する基板保持器１１Ｂの第１の被駆動部１２とは下流側ピッチＰ₂の距離だけ離間した状態で直線移動されている。

【0088】

このとき、基板保持部１１Ｂを移動させる第２の駆動部２２Ｂよりも移動方向上流側では、第１の駆動輪３１の回転によって、第２の駆動部２２Ｂと隣り合った第１の駆動部２１Ｂが回転移動によって上方に移動しており、図１１(ａ)に示されたように、第１の駆動部２１Ｂは第２の被駆動部１３に近づいている。

【0089】

第１の駆動部２１Ｂは、回転移動中でも搬送駆動部材３３に対して垂直になっており、第１の駆動輪３１が回転軸線Ｑ１を中心として回転すると、第１の駆動部２１Ｂの上端は、第１の駆動輪３１よりも直径が大きな同心円に沿って回転する。

【0090】

従って、第１の駆動部２１Ｂの上端の回転移動速度は、第１の駆動部２１に接触した搬送駆動部材３３の回転移動速度よりも高速である。

【0091】

第２の駆動部２２Ｂが直線移動しているときには、第１の駆動部２１Ｂの上端が第１の搬送部３３ａの移動方向の上流側に向きながら回転して上方に移動しており、斜め上方を向きながら上方に移動する第１の駆動部２１Ｂの上端の割合と第２の駆動部２２Ｂが第１の被駆動部１２に接触している部分との間の距離は、上流側ピッチＰ₁よりも大きくなっている。

【0092】

第１，第２の被駆動部１２，１３は同一の水平面である基準面内に位置している。第１の駆動部２１Ｂが回転により上昇してその上端の部分が基準面と交叉するときには、基板保持器１１Ｂは第２の被駆動部１３が第１の駆動輪３１の中心軸線Ｑ１の真上位置よりも上流側に位置した状態で、第２の駆動部２２Ｂの押圧によって移動中であり、第２の被駆動部１３は、第１の被駆動部１２の上端部分と第１の駆動部２１Ｂとの間に位置している。

【0093】

第１の駆動部２１Ｂの水平方向の移動速度は第２の被駆動部１３の移動速度よりも早いため、第１の駆動部２１Ｂは第２の被駆動部１３に追いつき、第１の駆動部２１Ｂの上端部分の下流側の面は第２の被駆動部１３の上流側の面に接触する(図１１(ｂ))。

【0094】

更に、第１の駆動部２１Ｂが更に回転しながら上昇すると、第２の被駆動部１３は第２の駆動部２２Ｂの移動速度よりも早い速度で第１の駆動部２１Ｂによって水平方向に押圧され、基板保持部１１Ｂの第１の被駆動部１２は、接触していた第２の駆動部２２Ｂから離間する(図１２(ａ))。
第１の駆動部２１Ｂが第１の駆動輪３１中心軸線Ｑ１の真上位置を通過する前は第１の駆動部２１Ｂと第２の被駆動部１３とが接触する部分は、第２の駆動部２２Ｂの移動速度よりも速い速度で水平方向に移動し、後続する基板保持部１１Ｂは先行する基板保持部１１Ａに近づく。第１の駆動部２１Ｂと第２の被駆動部１３との接触部分は、第１の駆動部２１Ｂが回転移動する間、上端側から根本側へ移動する(図１２(ｂ))。

【0095】

第１の駆動部２１Ｂが、第１の駆動輪３１の中心軸線Ｑ１の真上位置に到達すると、第１の駆動部２１Ｂの回転移動は終了し、直線移動になる。第１の駆動部２１Ｂの移動速度は第２の駆動部２２Ｂの移動速度と等しくなる。
第１の駆動部２１Ｂが第１の駆動輪３１の中心線Ｑ１の真上位置よりも上流側の時には、先行する第２の駆動部２２Ｂと後行する第１の駆動部２１Ｂとの間の距離は、第１の駆動輪３１の回転によって短縮されるが、第１の駆動部２１Ｂが第１の駆動輪３１の中心線Ｑ１の真上位置に到達すると、先行する第２の駆動部２２Ｂと後行する第１の駆動部２１Ｂとの間の距離は上流側ピッチＰ₁の大きさになり、第２の駆動部２２Ｂと第１の駆動部２１Ｂとが直線移動する間は、上流側ピッチＰ₁の距離が維持される。
以上の工程により、後続する基板保持器１１Ｂの導入動作が終了する。

【0096】

搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａに設けられた複数の第１の駆動部２１が、各基板保持器１１の第２の被駆動部１３にそれぞれ接触しており、この往路側搬送部３３ａを第２の駆動輪３２（図８参照）に向う移動方向下流側（第１の移動方向）に移動させることにより、各基板保持器１１が、それぞれ第１の駆動部２１からの駆動力によって近接した状態で搬送されるようになっている。

【0097】

各基板保持器１１は、基板保持器搬送機構３の動作により、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａの中を、移動経路に沿って移動し、第１の成膜領域４を通過する（図１参照）。
往路側搬送部３３ａの中を移動する際に、各基板保持器１１は第２の駆動輪３２に近づく。

【0098】

これにより、往路側基板保持器支持機構１８ａによって支持された複数の基板保持器１１の第２の被駆動部１３に、上述した第１の駆動部２１が接触して押圧され、一定の間隔で近接した状態で、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ上を搬送折り返し部３０Ｂに向って移動される（図３参照）。

【0099】

そして、基板保持器１１が第１の成膜領域４の位置を通過する際に、基板保持器１１に保持された基板１０の表面上に、基板保持器１１の上方に位置する第１のスパッタ源４Ｔによってスパッタリングによる成膜を行う（図１、図２参照）。

【0100】

その後、搬送折り返し部３０Ｂにおいて、第１の搬送部３３ａの中を移動中に、各基板保持器１１の上方に向いた面を上方に向け、下方に向いた面を下方に向けた状態を維持しながら、各基板保持器１１を往路側搬送部３３ａから搬送折り返し部３０Ｂに移動させ、搬送折り返し部３０Ｂから復路側搬送部３３ｃに移動させる（図１参照）。
搬送折り返し部３０Ｂの中を移動中の基板保持器１１は、復路側搬送部３３ｃでの搬送移動方向である第２の移動方向の上流側に第１の被駆動部１２が位置しており、下流側に第２の被駆動部１３が位置している。

【0101】

搬送折り返し部３０Ｂから復路側搬送部３３ｃに移動させる際には、搬送折り返し部３０Ｂに位置する基板保持器１１の第２の被駆動部１３に第１の駆動部２１を接触させ、基板保持器１１を第１の駆動部２１によって直線移動させる。
第１の駆動部２１が後続する基板保持器１１の第２の被駆動部１３に接触しながら回転移動して基板保持器１１を移動させる際に、その基板保持器１１は先行する基板保持器１１よりも高速に移動することは、上述の往路側搬送部３３ａの場合と同じである。
各基板保持器１１は、一定の間隔で近接した状態で、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃ上を基板保持器排出部３０Ｃに向って移動される（図３参照）。
各基板保持器１１は、基板保持器排出部３０Ｃに到達するまでに、第２の成膜領域５を通過する。

【0102】

この場合、本実施の形態の基板保持器搬送機構３では、上述したように、搬送折り返し部３０Ｂを経由して往路側搬送部３３ａから復路側搬送部３３ｃに移動された基板保持器１１は、往路側搬送部３３ａ内で上方に向けられていた面は上方に向けられ、下方に向けられた面は下方に向けられている。
このように、搬送折り返し部３０Ｂを通過する際には、基板保持器１１の上下に対する向きは変更されないため、第２の成膜領域５の位置を通過するときは、基板保持器１１に保持された基板１０の、第１のスパッタ源４Ｔで膜が形成されていない面が第２のスパッタ源５Ｔに面することになる。

【0103】

従って、基板保持器１１の下方に位置する第２のスパッタ源５Ｔをスパッタリングしながら基板保持器１１を通過させると、基板保持器１１に保持された基板１０の裏面へ膜が形成される（図１参照）。

【0104】

基板保持器１１が基板保持器排出部３０Ｃに到達した後、基板保持器１１を基板搬入搬出機構６へ渡す動作を行う。
この場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２を基板保持器取り出し位置に配置しておく（図１６参照）。

【0105】

以下、本実施の形態において、基板保持器１１が基板搬入搬出機構６へ渡される動作について、図１３（ａ）（ｂ）〜図１５（ａ）（ｂ）を参照して説明する。

【0106】

なお、実際上は、この渡し動作の際、基板保持器１１を基板保持器搬送機構３へ渡す動作も行われるが、当該動作は上述した通りであるので、以下、理解を容易にするため、基板保持器１１を基板搬入搬出機構６へ渡す動作のみについて説明する。

【0107】

図１３（ａ）は、基板搬入搬出機構６へ渡すべき基板保持器１１Ｃが基板保持器搬送機構３の基板保持器排出部３０Ｃに配置された状態を示すものである。

【0108】

以下、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃに配置された先行する基板保持器１１Ｃ（以下、「先行側基板保持器１１Ｃ」という。）が、後続の基板保持器１１Ｄ（以下、「後続側基板保持器１１Ｄ」という。）から切り離されて基板搬入搬出機構６へ渡される場合を例にとって説明する。

【0109】

図１３（ａ）に示す状態では、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃに設けられた二つの第１の駆動部２１Ｃ、２１Ｄが、先行側基板保持器１１Ｃと後続側基板保持器１１Ｄの第２の被駆動部１３の移動方向上流側の部分にそれぞれ接触しており、この復路側搬送部３３ｃを第１の駆動輪３１に向って第２の移動方向に移動させることにより、先行側基板保持器１１Ｃと後続側基板保持器１１Ｄが、それぞれ先行側第１の駆動部２１Ｃと後続側第１の駆動部２１Ｄからの駆動力によって第２の移動方向に搬送されるようになっている。

【0110】

この場合、先行側基板保持器１１Ｃの第２の被駆動部１３に接触している加速用駆動部である先行側第１の駆動部２１Ｃは、第１の駆動輪３１の下部において鉛直方向に向いて位置しており、先行側基板保持器１１Ｃと後続側基板保持器１１Ｄは、近接した状態となっている。

【0111】

この状態から、基板保持器搬送機構３を動作させて第１の駆動輪３１を回転させ、図１３（ｂ）に示すように、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃに設けられた先行側第１の駆動部２１Ｃ及び後続側第１の駆動部２１Ｄを第１の駆動輪３１の円弧に沿って第２の移動方向に移動させると、先行側基板保持器１１Ｃ及び後続側基板保持器１１Ｄは、それぞれの駆動力によって第２の移動方向に搬送される。

【0112】

この場合、先行側第１の駆動部２１Ｃは第１の駆動輪３１より直径の大きい同心円上において先行側基板保持器１１Ｃの第２の被駆動部１３と接触しつつ回転移動することから、先行側第１の駆動部２１Ｃが先行側基板保持器１１Ｃの第２の被駆動部１３を第２の移動方向に移動させる速度は、後続側第１の駆動部２１Ｄが後続側基板保持器１１Ｄの第２の被駆動部１３を第２の移動方向に移動させる速度より大きくなり、その結果、先行側基板保持器１１Ｃの移動方向上流側の端部が、後続側基板保持器１１Ｄの移動方向下流側の端部に対して離れる。

【0113】

その後、第１の駆動輪３１の回転に伴って先行側第１の駆動部２１Ｃが鉛直方向から傾斜した状態になるに従い、図１３（ｂ）に示すように、先行側第１の駆動部２１Ｃと、先行側基板保持器１１Ｃの第２の被駆動部１３との接触が外れ、これにより先行側基板保持器１１Ｃは推進力を失うから、基板搬入搬出機構６の搬送ロボット６４によって先行側基板保持器１１Ｃを第２の移動方向に移動させて後続側基板保持器１１Ｄに対して離間させる。

【0114】

そして、これ以降は基板搬入搬出機構６の搬送ロボット６４を用いて先行側基板保持器１１Ｃの取り出し動作を行う。

【0115】

さらに、搬送駆動部材３３の動作を継続すると、先行側第１の駆動部２１Ｃが搬送駆動部材３３と共に第１の駆動輪３１の円弧に沿って上方に移動するから、図１４（ａ）に示すように、先行側第１の駆動部２１Ｃの先端部が先行側基板保持器１１Ｃの第２の被駆動部１３と接触しないように、上述した搬送ロボット６４を用いて先行側基板保持器１１Ｃを第２の移動方向に移動させる。
符号３３ｄは、復路側搬送部３３ｃによって第２の成膜領域５を通過した第１、第２の駆動部２１，２２を、第１、第２の駆動部２１，２２が設けられた搬送駆動部材３３の部分と共に、復路側搬送部３３ｃから往路側搬送部３３ａに移動させる駆動部折り返し部であり、第１、第２の駆動部２１，２２は第１の駆動輪３１の円弧に沿って上方に移動する。

【0116】

搬送駆動部材３３の動作を継続すると、図１４（ｂ）に示すように、第２の駆動部２２Ｃが搬送駆動部材３３と共に第１の駆動輪３１の円弧に沿って上方に移動するが、その際、後続の第２の駆動部２２Ｃが先行する基板保持器１１Ｃの第１の被駆動部１２に接近する（図１５（ａ）参照）から、図１５（ｂ）に示すように、先行する第２の駆動部２２Ｃの先端部が先行側基板保持器１１Ｃの第１の被駆動部１２と接触しないように、上述した搬送ロボット６４を用いて先行側基板保持器１１Ｃを第２の移動方向に移動させる。
以上の工程により、先行側基板保持器１１Ｃの取り出し動作が終了する。

【0117】

そして、上述した工程により取り出し動作を行った基板保持器１１については、図１６に示すように、搬送ロボット６４と共に支持部６２上に配置する。

【0118】

その後、図１７に示すように、基板搬入搬出機構６の支持部６２を上昇させ、支持部６２上のシール部材６３を真空槽２の内壁に密着させて真空槽２内の雰囲気に対して基板搬入搬出室２Ａ内の雰囲気を隔離した状態で、大気圧までベントを行う。

【0119】

そして、図１８に示すように、基板搬入搬出室２Ａの蓋部２ａを開け、図示しない搬送ロボットを用い、成膜済の基板１０Ａを基板保持器１１から大気中に取り出す。

【0120】

その後、図６に示す状態に戻り、上述した動作を繰り返すことにより、複数の基板１０に対してそれぞれ両面に成膜を行う。

【0121】

以上述べた本実施の形態にあっては、単一の真空雰囲気が形成される真空槽２内において、搬送経路が鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成されるとともに、複数の基板保持器１１を水平にした状態で搬送経路に沿って搬送する基板保持器搬送機構３を備えていることから、小型の成膜装置１を提供することができる。

【0122】

また、本実施の形態では、基板保持器搬送機構３が、複数の基板保持器１１にそれぞれ設けられた第１及び第２の被駆動部１２、１３と接触して当該基板保持器１１を移動方向に押圧して移動させる複数の第１及び第２の駆動部２１、２２を有し、当該第１及び第２の駆動部２１、２２は、隣り合う基板保持器１１について、移動方向下流側の基板保持器１１の移動方向上流側の端部と、移動方向上流側の基板保持器１１の移動方向下流側の端部とが近接した状態で第１及び第２の成膜領域４、５を搬送するように構成されていることから、複雑な制御を行うことなく搬送経路にできるだけ多くの基板保持器１１を配置することができ、これにより構成が簡素で且つ効率良く成膜を行う成膜装置１を提供することができる。

【0123】

さらに、複数の基板保持器１１の間の間隔を従来技術に比べて狭くすることができるので、成膜材料の無駄を省き効率良く使用することができるとともに、基板保持器１１の間を通過する成膜材料の量を少なくすることができるので、成膜材料の真空槽２内への付着量を減らすことができ、また真空槽２内における成膜材料のコンタミネーションを防止することができる。

【0124】

さらにまた、本実施の形態の基板保持器搬送機構３は、基板保持器１１を搬送経路に沿って第１の移動方向に搬送する往路側搬送部３３ａと、基板保持器１１を搬送経路に沿って第１の移動方向と反対方向である第２の移動方向に搬送する復路側搬送部３３ｃと、基板保持器１１を上下関係を維持した状態で往路側搬送部３３ａから復路側搬送部３３ｃに向って折り返して搬送する搬送折り返し部３０Ｂとを有し、往路側搬送部３３ａが、第１の成膜領域４を通過し、かつ、復路側搬送部３３ｃが、第２の成膜領域５を通過するように構成されていることから、基板１０の両面に効率良く成膜が可能で、しかも小型且つ簡素な構成の通過型の成膜装置１を提供することができる。

【0125】

加えて、本実施の形態においては、基板保持器１１の移動方向下流側端部及び移動方向上流側端部に、成膜材料を遮蔽する突状の第１及び第２の遮蔽部１５、１６が設けられており、これら第１及び第２の遮蔽部１５、１６が、隣り合う基板保持器１１が搬送時に近接した状態で重なり合うように設けられていることから、成膜材料の真空槽２内への付着量をより減らすことができるとともに、真空槽２内における成膜材料のコンタミネーションを確実に防止することができる。

【0126】

一方、本実施の形態では、基板保持器搬送機構３が、円形の第１及び第２の駆動輪３１、３２に架け渡された一連の搬送駆動部材３３にその外方側に突出するように第１及び第２の駆動部２１、２２を有し、このうち第１の駆動部２１が、複数の基板保持器１１を導入し且つ排出する側の第１の駆動輪３１をその円弧に沿って通過する際に、第１の駆動部２１が基板保持器１１の第２の被駆動部１３と接触して往路側搬送部３３ａ及び復路側搬送部３３ｃの移動方向についての搬送速度より大きな速度で第２の被駆動部１３を押圧して移動させるように構成されていることから、往路側搬送部３３ａ及び復路側搬送部３３ｃを一定の速度で搬送させた状態で、第１の駆動輪３１側から基板保持器１１を導入する場合において第１の駆動輪３１を通過する際に搬送駆動部材３３の第１の駆動部２１によって基板保持器１１を加速することができ、これにより導入した基板保持器１１を先行する基板保持器１１に対して自動的に接近させて配置することができる。

【0127】

また、往路側搬送部３３ａ及び復路側搬送部３３ｃを一定の速度で搬送させた状態で、第１の駆動輪３１側から基板保持器１１を排出する際においても、搬送駆動部材３３の第１の駆動部２１によって基板保持器１１を加速することができ、これにより排出する基板保持器１１を後続の基板保持器１１に対して自動的に離間させて円滑に排出することができる。

【0128】

特に、加速用駆動部である第１の駆動部２１の搬送駆動部材３３に対する高さＨ₁が、他の駆動部である第２の駆動部２２の搬送駆動部材３３に対する高さＨ₂よりも大きくなるように形成されている（Ｈ₁＞Ｈ₂）。
第１の駆動部２１が基板保持器１１の第２の被駆動部１３と接触する際に第１の駆動輪３１の直径より直径が大きい同心円上において基板保持器１１の第２の被駆動部１３と接触しつつ回転移動するように構成されていることから、きわめて簡素な構成で、第１の駆動輪３１側から基板保持器１１を導入する場合において第１の駆動輪３１を通過する際に、また第１の駆動輪３１側から基板保持器１１を排出する際に、搬送駆動部材３３の第１の駆動部２１によって容易に基板保持器１１を加速することができる。

【0129】

また、本実施の形態においては、基板保持器１１が当該移動方向に対して直交する方向に複数の基板１０を並べて保持するように構成されていることから、従来技術のような基板の移動方向に複数の基板を並べて保持する基板保持器を搬送して成膜を行う場合と比較して、基板保持器の長さ及びこれに伴う余剰スペースを削減することができるので、成膜装置のより省スペース化を達成することができる。

【0130】

なお、本発明は上述した実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。
例えば上記実施の形態においては、搬送駆動部材３３のうち上側の部分を第１の搬送部である往路側搬送部３３ａとするとともに、搬送駆動部材３３のうち下側の部分を第２の搬送部である復路側搬送部３３ｃとするようにしたが、本発明はこれに限られず、これらの上下関係を逆にすることもできる。

【0131】

また、第１及び第２の駆動部２１、２２の形状については、上記実施の形態に限られず、第１及び第２の被駆動部１２、１３と確実に接触して押圧して移動させることができる限り、種々の形状のものを採用することができる。

【0132】

さらに、本発明は、上記実施の形態のように、成膜前の基板１０を真空槽２内に搬入し、成膜済の基板１０Ａを真空槽２から搬出する場合のみならず、成膜前の基板１０を基板保持器１１と共に真空槽２内に搬入し、成膜済の基板１０Ａを基板保持器１１と共に真空槽２から搬出する場合にも適用することができる。
なお、上記例では、上方の往路側搬送部を第１の搬送部とし、下方の復路側搬送部を第２の搬送部としたが、上方の往路側搬送部を第２の搬送部とし、下方の復路側搬送部を第１の搬送部として第２の搬送部によって成膜した後、第１の搬送部で成膜しても良い。また、往路側搬送部を下方に配置し、復路側搬送部を上方に配置してもよい。

【符号の説明】

【0133】

１…成膜装置
２…真空槽
３…基板保持器搬送機構
４…第１の成膜領域
４Ｔ…スパッタ源
５…第２の成膜領域
５Ｔ…スパッタ源
６…基板搬入搬出機構
１０…基板
１１…基板保持器
１１Ａ…先行側基板保持器
１１Ｂ…後続側基板保持器
１２…第１の被駆動部（被駆動部）
１３…第２の被駆動部（被駆動部）
１５…第１の遮蔽部（遮蔽部）
１６…第２の遮蔽部（遮蔽部）
２１…第１の駆動部（駆動部、加速用駆動部）
２２…第２の駆動部（駆動部）
３０Ａ…基板保持器導入部
３０Ｂ…搬送折り返し部
３０Ｃ…基板保持器排出部
３１…第１の駆動輪（第１の回転駆動手段）
３２…第２の駆動輪（第２の回転駆動手段）
３３…搬送駆動部材
３３ａ…往路側搬送部（第１の搬送部）
３３ｂ…折り返し部
３３ｃ…復路側搬送部（第２の搬送部）

【要約】

複数の基板保持器を用い、基板の両面に効率良く成膜が可能で、しかも小型且つ簡素な構成の通過型の成膜装置を提供する。真空槽２内に、基板保持器１１に保持された基板１０上に成膜を行う第１及び第２の成膜領域４、５と、鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成され、第１及び第２の成膜領域４、５を通過するように設けられた搬送経路と、複数の基板保持器１１を水平にした状態で搬送経路に沿って搬送する基板保持器搬送機構３とを備える。基板保持器搬送機構３は、各基板保持器１１に設けられた被駆動部と接触して基板保持器１１を移動方向に押圧して移動させる複数の駆動部を有し、当該駆動部は、隣り合う基板保持器１１について、移動方向下流側の基板保持器１１の移動方向上流側の端部と、移動方向上流側の基板保持器１１の移動方向下流側の端部とが近接した状態で第１及び第２の成膜領域４、５を搬送させる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】