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特許6382110基板処理機構及びこれを用いた小型製造装置
発明の名称 基板処理機構及びこれを用いた小型製造装置
出願人 リソテック ジャパン株式会社 （識別番号 594192349）
特許公開件数ランキング 30184 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24450 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 （識別番号 301021533）
特許公開件数ランキング 187 位（254件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 139 位（264件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社パルサ （識別番号 504466719）
特許公開件数ランキング 30184 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24450 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6382110
公報発行日 2018年8月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6382110
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