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特許6383791ダイのパッケージング品質改善のためのウエハのダイシング方法
発明の名称 ダイのパッケージング品質改善のためのウエハのダイシング方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 26 位（238件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 60 位（127件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6383791
公報発行日 2018年8月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6383791
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