特許6385397プラズマ処理チャンバの下側電極アセンブリ

発明の名称　プラズマ処理チャンバの下側電極アセンブリ

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 158 位（64件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 169 位（53件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6385397

公報発行日　2018年9月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6385397

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