特許 6392760 ラジカルの化学的性質の複数の流れ経路を使用した調節及び制御

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6392760

(24)【登録日】2018年8月31日

(45)【発行日】2018年9月19日

(54)【発明の名称】ラジカルの化学的性質の複数の流れ経路を使用した調節及び制御

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/3065 20060101AFI20180910BHJP

   H01L 21/205 20060101ALI20180910BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/302 101B

   H01L21/302 301S

   H01L21/302 301N

   H01L21/302 301M

   H01L21/302 101D

   H01L21/302 101C

   H01L21/205

【請求項の数】20

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2015-533084(P2015-533084)

(86)(22)【出願日】2013年8月30日

(65)【公表番号】特表2015-532016(P2015-532016A)

(43)【公表日】2015年11月5日

(86)【国際出願番号】US2013057599

(87)【国際公開番号】WO2014046864

(87)【国際公開日】20140327

【審査請求日】2016年8月3日

(31)【優先権主張番号】61/704,241

(32)【優先日】2012年9月21日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】13/799,490

(32)【優先日】2013年3月13日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】イングル， ニティン ケー．

(72)【発明者】

【氏名】ワン， アンチョアン

(72)【発明者】

【氏名】チェン， シンロン

【審査官】 高橋 宣博

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０２３０００８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００２−２９４４５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１２−５１２５３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３１２３７６７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００１−１３５６２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／００１８３０４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 韓国公開特許第１０−２００３−００８３６６３（ＫＲ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第１０−２００１−００５６７３５（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／２０５

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体処理のためのシステムであって、
チャンバの処理領域に半導体基板を収納するように構成された前記チャンバと、
前記チャンバの第１のアクセスに流動的に結合され、前記第１のアクセスを介して前記チャンバの中へ第１の前駆体を送るように構成された第１の遠隔プラズマシステムと、
前記チャンバの第２のアクセスに流動的に結合され、前記第２のアクセスを介して前記チャンバの中へ第２の前駆体を送るように構成された第２の遠隔プラズマシステムと、
前記第１の前駆体と前記第２の前駆体の両方を前記チャンバの前記処理領域の中へ送るように構成されたガス分配アセンブリであって、前記ガス分配アセンブリは、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体が前記チャンバの前記処理領域へ送られるまで、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体を互いに流動的に分離された状態に維持するように構成されており、前記ガス分配アセンブリのうちの前記第１の前駆体と接する第１の部分は、前記第１の前駆体と相互作用しない物質でできており、前記ガス分配アセンブリのうちの前記第２の前駆体と接する第２の部分は、前記第２の前駆体と相互作用しない物質でできている、ガス分配アセンブリと、を備えるシステム。

【請求項2】

前記システムが、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体が前記チャンバの前記処理領域へ送られるまで、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体を互いに流動的に分離された状態に維持するように構成されている、請求項１に記載のシステム。

【請求項3】

前記第１のアクセスが、前記チャンバの最上部の近く、又は前記チャンバの最上部に位置づけされており、前記第２のアクセスが前記チャンバの側面部の近く、又は前記チャンバの側面部に位置づけされている、請求項１または２に記載のシステム。

【請求項4】

前記ガス分配アセンブリは、前記チャンバ内部の前記処理領域の最上部、又は前記処理領域の上に位置づけされている、請求項１から３のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項5】

前記ガス分配アセンブリは上方プレートと下方プレートとを備え、前記上方プレートと前記下方プレートは互いに結合されて、前記プレート間の容積を画定し、前記プレートの結合は、前記上方プレートと前記下方プレートとを通る第１の流体チャネルと、前記容積から前記下方プレートを通る流体のアクセスを提供するように構成された、前記下方プレートを通る第２の流体チャネルと、を提供し、前記第１の流体チャネルは、前記プレート間の容積と前記第２の流体チャネルとから流動的に分離されている、請求項１から４のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項6】

前記容積は、前記チャンバの前記第２のアクセスに流動的に結合された前記ガス分配アセンブリの側面を介して流動的にアクセス可能である、請求項５に記載のシステム。

【請求項7】

前記チャンバは、前記第１の遠隔プラズマシステムから前記チャンバの前記第１のアクセスを介して、また前記ガス分配アセンブリの前記第１の流体チャネルを介して、前記チャンバの前記処理領域の中へ第１の前駆体を供給するように構成されている、請求項５または６に記載のシステム。

【請求項8】

前記チャンバは、前記第２の前駆体を、前記第２の遠隔プラズマシステムから前記チャンバの前記第２のアクセスを介して前記チャンバの中へ、前記上方プレートと前記下方プレートとの間に画定された前記容積の中へ、そして前記ガス分配アセンブリの前記第２の流体チャネルを介して前記チャンバの前記処理領域の中へ供給するように構成されている、請求項５から７のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項9】

前記ガス分配アセンブリは、前記ガス分配アセンブリの前記上方プレートを通る前記第２の前駆体の流れを防止するように構成される、請求項５から８のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項10】

前記第１の遠隔プラズマシステムは第１の材料を含み、前記第２の遠隔プラズマシステムは第２の材料を含む、請求項１から９のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項11】

前記第１の材料は、前記第１の前駆体の組成に基づいて選択される、請求項１０に記載のシステム。

【請求項12】

前記第２の材料は、前記第２の前駆体の組成に基づいて選択される、請求項１０または１１に記載のシステム。

【請求項13】

前記第１の材料と、前記第２の材料は異なる材料である、請求項１０から１２のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項14】

前記第１の遠隔プラズマシステムと、前記第２の遠隔プラズマシステムは、高周波プラズマユニット、容量結合プラズマユニット、誘導結合プラズマユニット、マイクロ波プラズマユニット、及びトロイダルプラズマユニットから成る群から選択される、請求項１から１３のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項15】

前記第１の遠隔プラズマシステムと、前記第２の遠隔プラズマシステムは、１０Ｗと１０ｋＷの間の電力レベル、または１０ｋＷより大きい電力レベルで作動するように構成されている、請求項１から１４のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項16】

前記第１の遠隔プラズマシステムは、前記第１の前駆体の組成に基づいて選択された第１の電力レベルで作動するように構成されている、請求項１から１５のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項17】

前記第２の遠隔プラズマシステムは、前記第２の前駆体の組成に基づいて選択された第２の電力レベルで作動するように構成されている、請求項１から１６のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項18】

前記システムは、互いに異なる電力レベルで第１の遠隔プラズマユニットと、前記第２の遠隔プラズマユニットとを作動させるように構成されている、請求項１から１７のいずれか一項に記載のシステム。

【請求項19】

半導体処理チャンバの作動方法であって、
第１の前駆体を第１の遠隔プラズマシステムを介して半導体処理チャンバの中へ流すことと、
第２の前駆体を第２の遠隔プラズマシステムを介して半導体処理チャンバの中へ流すことと
を含み、前記第１の前駆体および前記第２の前駆体の両方は、ガス分配アセンブリにより前記処理チャンバの処理領域の中に送られ、前記第１の前駆体と、前記第２の前駆体は、前記処理領域において混合され、前記ガス分配アセンブリは、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体が前記チャンバの前記処理領域へ送られるまで、前記第１の前駆体と前記第２の前駆体を互いに流動的に分離された状態に維持するように構成されており、前記ガス分配アセンブリのうちの前記第１の前駆体と接する第１の部分は、前記第１の前駆体と相互作用しない物質でできており、前記ガス分配アセンブリのうちの前記第２の前駆体と接する第２の部分は、前記第２の前駆体と相互作用しない物質でできている、方法。

【請求項20】

前記第１の前駆体はフッ素含有前駆体を含み、前記第２の前駆体は水素含有前駆体を含む、請求項１９に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、「ラジカル化学的性質の複数の流れ経路を使用した調節及び制御」と題した２０１２年９月２１日出願の米国仮特許出願第６１／７０４，２４１号の利益を主張する。この米国仮特許出願の全開示内容は、参照により本明細書に援用される。

【0002】

本発明の技術は半導体プロセス及び機器に関する。さらに具体的には、本発明の技術は複数のプラズマ構成を有する処理システムに関する。

【背景技術】

【0003】

集積回路は、基板表面上に複雑なパターンの物質層を形成するプロセスによって可能になる。基板上のパターン付きの物質を形成するには、露出した物質を取り除く制御された方法が必要である。化学エッチングは、下位層にフォトレジストでパターンを転写する、層を薄くする、又は表面にすでにある特徴の横寸法を薄くすることを含む、様々な目的に使用される。多くの場合、一つの物質を別の物質よりも早くエッチングして、例えばパターン転写プロセスを促進するエッチングプロセスを有することが望ましい。上記エッチングプロセスは、第１の物質に対して選択的であると言われる。物質、回路、及びプロセスに多様性があるために、様々な物質に対して選択性を有するエッチングプロセスが開発されてきた。

【0004】

湿式ＨＦエッチングは、その他の誘電体及び半導体材料よりもシリコン酸化物を優先的に除去する。しかしながら、湿式プロセスは、いくつかの制約された溝に浸透することができず、しばしば残りの材料が変形してしまう。基板の処理領域内に形成された局所プラズマにおいて行われるドライエッチングは、より制約のある溝に浸透することができ、壊れやすい残りの構造の変形が抑えられる。しかしながら、局所プラズマは、局所プラズマが放電する時に作られる電気アークによって基板に損傷を与えうる。

【0005】

したがって、前駆体の化学的性質、及びエッチングパラメータをより良く制御することが可能になる、半導体基板上の物質及び構造を選択的にエッチングする改善された方法及びシステムが必要である。これらの必要、及びその他の必要は本発明の技術によって対処される。

【発明の概要】

【0006】

半導体の処理チャンバに関連するシステム及び方法を説明する。チャンバの処理領域に半導体基板を収納するように構成された例示のチャンバは、チャンバの第１のアクセスに流動的に結合された第１の遠隔プラズマシステムと、チャンバの第２のアクセスに流動的に結合された第２の遠隔プラズマシステムとを含むことができる。システムはさらに、第１の前駆体と第２の前駆体がチャンバの処理領域に送られるまで、第１の前駆体と第２の前駆体を互いに流動的に分離させた状態に維持しながら、チャンバの処理領域の中に第１の前駆体と第２の前駆体の両方を送るように構成することができるチャンバのガス分配アセンブリを含むこともできる。第１のアクセスは、チャンバの最上部の近く、又はチャンバの最上部に位置づけすることができ、第２のアクセスは、チャンバの側面部の近く、又はチャンバの側面部に位置づけすることができる。

【0007】

ガス分配アセンブリは上方プレートと下方プレートとを含むことができ、上方プレートと下方プレートが互いに結合されて、プレート間に容積が画定されうる。プレートの結合は、上方プレートと下方プレートを通る第１の流体チャネルと、下方プレートを通る第２の流動チャネルとを提供しうる。結合は、容積から下方プレートを通る流体のアクセスを提供することもでき、第１の流体チャネルは、プレート間の容積と、第２の流体チャネルとから分離させることができる。容積は、チャンバの第２のアクセスと流動的に結合されたガス分配アセンブリの側面を通って流動的にアクセス可能である。

【0008】

チャンバは、チャンバの第１のアクセスを介して、またガス分配アセンブリの第１の流体チャネルを介して、第１の遠隔プラズマシステムからチャンバの処理領域の中へ第１の前駆体を供給するように構成することができる。チャンバは、第２の前駆体を、第２の遠隔プラズマシステムからチャンバの第２のアクセスを介して、チャンバの中の上方プレートと下方プレートとの間に画定された容積の中へ、そしてガス分配アセンブリの第２の流体チャネルを介してチャンバの処理領域の中へ供給するように構成することもできる。ガス分配アセンブリは、ガス分配アセンブリの上方プレートを介して第２の前駆体が流れるのを防止するように構成することができる。第１の遠隔プラズマシステムは第１の物質を含むことができ、第２の遠隔プラズマシステムは第２の材料を含むことができる。第１の物質は、第１の前駆体の組成に基づいて選択することができ、第２の物質は、第２の前駆体の組成に基づいて選択することができる。第１の物質及び第２の物質は、本開示実施形態では異なる材料であってよい。第１の遠隔プラズマシステムと第２の遠隔プラズマシステムは、ＲＦプラズマユニット、容量結合プラズマユニット、誘導結合プラズマユニット、マイクロ波プラズマユニット、及びトロイダルプラズマユニットからなる群から選択することもできる。第１の遠隔プラズマシステムと第２の遠隔プラズマシステムは、約１０Ｗ〜約１０ｋＷ以上の電力レベルで作動するように構成することができる。第１の遠隔プラズマシステムは、第１の前駆体の組成に基づいて選択された第１の電力レベルで作動するように構成することができ、第２の遠隔プラズマシステムは、第２の前駆体の組成に基づいて選択された第２の電力レベルで作動するように構成することができる。システムは、互いに異なった電力レベルで第１の遠隔プラズマユニットと第２の遠隔プラズマユニットが作動するように構成することができる。

【0009】

半導体処理チャンバの作動方法は、第１の遠隔プラズマシステムを介して半導体処理チャンバの中へ第１の前駆体を流すことを含むことができる。この方法はまた、第２の遠隔プラズマシステムを介して半導体処理チャンバの中へ第２の前駆体を流すことを含むこともできる。第１の前駆体及び第２の前駆体を、処理チャンバの処理領域で混合することができ、チャンバの処理領域に入る前は互いに流動的に分離された状態で維持することができる。本発明の実施形態において、第１の前駆体はフッ素含有前駆体を含むことができ、第２の前駆体は水素含有前駆体を含むことができる。

【0010】

上記手法は、従来の手法よりも多数の利点を提供することができる。例えば、異なる前駆体に基づいて異なるプラズマシステムそれぞれにおいて、改善されたプラズマプロファイルを使用することができる。加えて、各システムで処理される特定の前駆体の劣化の防止に特異的な物質から形成された異なるプラズマシステムを有することにより、システムの劣化が抑えられる。これら多数の利点及び特徴と共に、これらの実施形態及びその他の実施形態を、下記の説明及び添付の図面と合わせてさらに詳細に説明する。

【0011】

本発明の手法の性質及び利点は、本明細書の残りの部分と図面を参照することによってさらに理解を深めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】例示の処理ツールの一実施形態を示す上部平面図である。

【図2】例示の処理チャンバを示す概略断面図である。

【図3A】本発明の手法による例示のシャワーヘッド構成の概略図である。

【図3B】本発明の手法による例示のシャワーヘッド構成の概略図である。

【図3C】本発明の手法による例示のシャワーヘッド構成の概略図である。

【図3D】本発明の手法による例示のシャワーヘッド構成の概略図である。

【図4】本発明の手法による処理チャンバの簡略化された断面図である。

【図5】本発明の手法による半導体処理チャンバの作動方法のフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

添付の図面では、類似の構成要素及び／又は特徴に同じ数字の参照名が振られている場合がある。さらに、同じ種類の様々な構成要素は、ダッシュ記号と、類似の構成要素を区別する第２のラベルにより、参照ラベルに従って区別することができる。第１の参照ラベルのみが本明細書において使用されている場合、この説明は、第２の参照ラベルに関わらず、同じ第１の参照ラベルを有する類似の構成要素及び／又は特徴のすべてに適用可能である。

【0014】

本発明の手法は、改善された流体供給機構を提供する半導体処理のためのシステムを含む。特定の乾式エッチング法は、遠隔プラズマシステムを用いて、処理チャンバの中へラジカル流体種を供給することを含む。例示の方法は、本明細書の特許請求の範囲、及び説明に反しない範囲において、参照によってその全体が本願に組み込まれる同一出願人による２０１２年４月４日出願の特許出願第１３／４３９０７９号明細書に記載されている。幾つかのラジカル種を含みうる乾式エッチャント調合法を使用する際は、異なる流体から生成されたラジカル種が、遠隔プラズマチャンバと別々に相互作用しうる。例えば、エッチング用の前駆体の流体は、フッ素含有前駆体、及び水素含有前駆体を含むことができる。遠隔プラズマシステムのプラズマキャビティ、及び処理チャンバへの分配構成要素をコーティングする、又は内張りして、反応性ラジカルから保護することができる。例えば、アルミニウムのプラズマキャビティを、フッ素ラジカルからキャビティを守る酸化物又は窒化物でコーティングすることができる。しかしながら、前駆体が水素ラジカルも含有する場合、水素種により酸化アルミニウムがアルミニウムに変換される、又はアルミニウムに還元される可能性があり、その時にフッ素がアルミニウムと直接反応して、例えばフッ化アルミニウム等の望ましくない副産物が生じる場合がある。

【0015】

従来の手法では、定期的なメンテナンスと、構成要素の交換によって望ましくない副作用に対処してきたが、本発明のシステムは、処理チャンバの中への流体の流れ経路を分離してラジカル前駆体を供給することによって、この必要を満たすものである。別々に前駆体の流体を送るようにそれぞれ構成された２以上の遠隔プラズマシステムを用いることによって、各システムを送られる流体に基づいて別々に保護することができる。発明者は意外にも、別々の遠隔プラズマシステムを介して前駆体種を供給することによって、各流体の特定の解離、及びプラズマ特性を調整することができ、これにより、エッチングの性能が改善されることを確認している。したがって、本明細書で説明したシステムは、化学特性の調節の点で柔軟性が改善されている。これらの利点、及びその他の利点を下に詳しく説明する。

【0016】

残りの開示内容は、本発明の手法を利用した特定のエッチングプロセスを規定通りに識別するものであるが、システム及び方法は、記載されたチャンバで起こりうる堆積及び洗浄プロセスに等しく適用可能であることは、容易に理解できることである。したがって、この手法は、エッチングプロセスのみに限定されるものと考えるべきではない。

【0017】

図１は、本発明の実施形態による、堆積、エッチング、ベーキング、及び／又は硬化チャンバの処理ツール１００の一実施形態の上部平面図である。図面では、ＦＯＵＰ（前面開口型統一ポッド）１０２の対により基板（例：規定直径の半導体ウェハ）が供給され、この基板をロボットアーム１０４が受け、タンデム式処理チャンバ１０９ａ〜ｃの基板処理区域１０８ａ〜ｆのうちの一つの中に配置する前に、低圧保持領域１０６の中に置くことができる。第２のロボットアーム１１０を使用して、保持領域１０６から処理チャンバ１０８ａ〜ｆまで基板を搬送し、戻すことができる。

【0018】

タンデム式処理チャンバ１０９ａ〜ｃの基板処理区域１０８ａ〜ｆには、基板又は膜をその上に堆積させる、アニールする、硬化させる及び／又はエッチングする一又は複数のシステム構成要素が含まれうる。例示の膜は流動性誘電体であってよいが、処理ツールで多数の種類の膜を形成する又は処理することができる。一構成では、処理チャンバ（例：１０８ｃ〜ｄ及び１０８ｅ〜ｆ）のタンデム式処理区域の２つの対を使用して、基板上に誘電材料を堆積させることができ、タンデム式処理区域の第３の対（例：１０８ａ〜ｂ）を使用して、堆積した誘電体をアニールすることができる。別の構成では、処理チャンバのタンデム式処理区域の２つの対（例：１０８ｃ〜ｄ及び１０８ｅ〜ｆ）は、基板上の誘電膜の堆積及びアニールの両方を行うように構成することができ、タンデム式処理区域の第３の対（例：１０８ａ〜ｂ）を使用して、堆積した膜を紫外線又は電子ビームにより硬化させることができる。さらに別の構成では、タンデム式処理区域の３つの対（例：１０８ａ〜ｆ）は全て、基板上に誘電膜を堆積及び硬化させる、又は堆積した膜に特徴をエッチングするように構成することができる。

【0019】

さらに別の構成では、タンデム式処理区域の２つの対（例：１０８ｃ〜ｄ及び１０８ｅ〜ｆ）を使用して、誘電体の堆積及び紫外線による硬化又は電子ビームによる硬化の両方を行うことができ、タンデム式処理区域の第３の対（例：１０８ａ〜ｂ）を使用して、誘電膜をアニールすることができる。加えて、一又は複数のタンデム式処理区域１０８ａ〜ｆは処理チャンバとして構成することができ、湿式処理チャンバ、又はドライ処理チャンバであってよい。これらのプロセスチャンバは、湿気を含む大気中で誘電膜を加熱することを含むことができる。したがって、システム１００の実施形態は、堆積した誘電膜上に湿式及びドライアニールの両方を行うための、湿式処理用タンデム式処理区域１０８ａ〜ｂと、アニール用タンデム式処理区域１０８ｃ〜ｄを含むことができる。当然ながら、システム１００においては、誘電膜の堆積、エッチング、アニール、及び硬化チャンバのさらなる構成が考えられる。

【0020】

図２は、処理チャンバ内部の区分プラズマ生成領域を有する例示のプロセスチャンバ区域２００の断面図である。膜（例：シリコン、ポリシリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、又はオキシ炭化ケイ素）のエッチング中に、プロセスガスは、ガス注入口アセンブリ２０５を通って第１のプラズマ領域２１５の中へ流れることができる。遠隔プラズマシステム（ＲＰＳ）２０１は第１のガスを処理することができ、第１のガスは次に、ガス流入口アセンブリ２０５を通って移動し、第２のＲＰＳ２０２が第２のガスを処理することができ、第２のガスは次に、プロセスチャンバ２００の側面流入口を通って移動する。流入口アセンブリ２０５は、第２のチャネル（図示せず）がＲＰＳ２０１を迂回しうる２つの異なるガス供給チャネルを含むことができる。本発明の実施形態において、ある例では、ＲＰＳを介する第１のチャネルはプロセスガス用に使用可能であり、ＲＰＳを迂回する第２のチャネルは処理ガス用に使用可能である。ＲＰＳ２０１内部の第１のプラズマ領域２１５に入る前に、プロセスガスを励起させることができる。上に基板支持体２５５が配置された冷却板２０３、面板２１７、シャワーヘッド２２５、及び基板支持体２６５を、本発明の実施形態にしたがって示す。面板２１７は、最上部が狭く、底部に向けて拡張して広くなっているピラミッド形、円錐形、又は同様の別の構造物であってよい。面板２１７は図示したように、さらに平坦で、プロセスガスを分配するために使用される複数の貫通チャネル（図示せず）を含んでいてよい。図示した面板（又は導電性の最上部）２１７とシャワーヘッド２２５の間には絶縁リング２２０があるため、シャワーヘッド２２５に対して面板２１７にＡＣ電位を印加することができる。絶縁リング２２０を面板２１７とシャワーヘッド２２５の間に位置決めすることができ、これにより、第１のプラズマ領域に容量結合されたプラズマ（ＣＣＰ）を形成することが可能になる。バッフル（図示せず）を第１のプラズマ領域２１５にさらに位置づけして、ガス注入口アセンブリ２０５を通って領域に流れる流体に影響を与えることができる。

【0021】

例示の構成は、面板２１７によって第１のプラズマ領域２１５から分離されたガス供給領域の中に開口しているガス注入口アセンブリ２０５を含むことにより、ガス／種が面板２１７の孔を介して第１のプラズマ領域２１５へ流れる。構造特徴、及び動作特徴は、第１プラズマ領域２１５から、供給領域、ガス注入口アセンブリ２０５、流体供給システム２１０の中へのプラズマの大量逆流を防止するように選択することができる。構造特徴は、プラズマの逆流を止める面板２１７の開孔の寸法と断面形状の選択を含むことができる。動作特徴は、シャワーヘッド２２５を通るプラズマの流れを一方向に維持する、ガス供給領域と第１のプラズマ領域２１５との圧力差を維持することを含みうる。

【0022】

前駆体、例えばフッ素含有前駆体等の流体は、本明細書に記載されたシャワーヘッドの実施形態によって処理領域２３３の中へ流れることができる。プラズマ領域２１５のプロセスガスから引き出された励起種は、シャワーヘッド２２５の開孔を通って移動し、シャワーヘッドの分離した部分から処理領域２３３の中へ流れる追加の前駆体と反応しうる。処理領域２３３にはわずかなプラズマしか存在しない、又はプラズマは全く存在しない可能性がある。前駆体の励起誘導体は、基板の上の領域で、そして時々は基板上で結合して、本願において基板上の構造をエッチングする、又は基板上の種を除去することができる。

【0023】

第１のプラズマ領域２１５において流体を直接励起させるか、ＲＰＳユニット２０１及び２０２のいずれか又は両方で流体を励起させるかのいずれか又は両方を行うことにより、幾つかの利点が得られる。流体から引き出された励起種の濃度は、第１のプラズマ領域２１５のプラズマのために、処理領域２３３内部で上昇しうる。この上昇は、第１のプラズマ領域２１５のプラズマの位置による結果でありうる。処理領域２３３は、遠隔プラズマシステム（ＲＰＳ）２０１よりも第１のプラズマ領域２１５により近く位置づけすることができ、これにより励起種が他のガス分子、チャンバの壁、及びシャワーヘッド表面と衝突することによって励起状態を離脱する時間が縮小する。

【0024】

プロセスガスから引き出された励起種の濃度の均一性も、処理領域２３３内部で上がりうる。これは、処理領域２３３の形により類似しうる第１のプラズマ領域２１５の形に起因しうる。ＲＰＳ２０１、２０２に発生した励起種は、シャワーヘッド２２５のエッジ近辺の開孔を通過するために、シャワーヘッド２２５の中央近辺の開孔を通過する種よりも長い距離を移動することができる。距離がより長いために励起種の励起状態が低下する場合があり、例えば基板のエッジ近辺の成長速度が遅くなりうる。第１のプラズマ領域２１５で流体を励起させることで、ＲＰＳ２０１を通って流れる流体のこの変化を軽減することができる。

【0025】

処理ガスをＲＰＳ２０１、２０２で励起させることができ、励起状態でシャワーヘッド２２５を処理領域２３３まで通過させることができる。あるいは、第１の処理領域に電源を投入して、プラズマガスを励起させるか、ＲＰＳからすでに励起されたプロセスガスをさらに励起させることができる。プラズマは処理領域２３３で生成されるが、プラズマは処理領域において生成されなくてもよい。一例では、処理ガス又は前駆体の励起は、ＲＰＳ２０１、２０２の処理ガスを励起させて、処理領域２３３において互いに反応させることからのみであってよい。

【0026】

処理システムはさらに、面板２１７及び／又はシャワーヘッド２２５へ電力を供給して、第１のプラズマ領域２１５又は処理領域２３３にプラズマを生成する処理チャンバに電気的結合された電源２４０を含むことができる。電源は、実施されるプロセスにより、チャンバに調節可能な量の電力を送るように構成することができる。

【0027】

流体前駆体に加えて、供給を助けるキャリアガスを含む、様々な時点に様々な目的で導入されるその他のガスも存在しうる。チャンバの壁、基板、堆積膜、及び／又は堆積中の膜から不必要な種を除去するために、処理ガスを導入することができる。処理ガスはプラズマにおいて励起させて、その後にチャンバ内部の残留物含有量を低減する又は除去するために使用することができる。その他の本発明の実施形態では、処理ガスをプラズマなしで使用することができる。処理ガスが水蒸気を含む時は、質量流量計（ＭＦＭ）、注入バルブ、又は市販の水蒸気発生器を使用して送ることができる。処理ガスは、ＲＰＳユニットを介してか、ＲＰＳユニットを迂回してかのいずれかで、第１の処理領域から導入することができ、第１のプラズマ領域でさらに励起させることができる。

【0028】

さらなるデュアルチャネルシャワーヘッド、及びこの処理システムとチャンバは、本明細書の特許請求の範囲、及び説明に反しない範囲において、参照によってその全体が本願に組み込まれる同一出願人による２０１１年１０月３日出願の特許出願第１３／２５１７１４号明細書にさらに詳しく記載されている。

【0029】

処理チャンバ区域２００で使用されるガス分配アセンブリ２２５は、デュアルチャネルシャワーヘッド（ＤＣＳＨ）と呼ばれ、本明細書の図３Ａ〜３Ｄに記載される実施形態に詳しく示される。デュアルチャネルシャワーヘッドにより、誘電材料の流動性のある堆積、及び作動中の前駆体と処理流体との分離を可能にすることができる。シャワーヘッドはあるいは、エッチングプロセスに用いることができ、これにより、反応ゾーン外のエッチング液を処理領域の中へ送る前に分離し、相互との相互作用、そしてチャンバ構成要素との相互作用を制限することができる。

【0030】

図３Ａ〜３Ｄのシャワーヘッドを全体的に参照する。前駆体は、最初に第１のマニホールド３２０、又は上方プレート、及び第２のマニホールド３２５、又は下方プレートによってシャワーヘッド３００において画定されるシャワーヘッド内部容積３２７の中に導入することによって、処理領域の中へ導入することができる。マニホールドは、複数の開孔を画定する孔開きプレートであってよい。通常第２の前駆体を呼ばれるシャワーヘッド内部容積３２７の前駆体は、下方プレートに形成された開孔３７５を介して処理領域２３３の中に流れ込む２９５ことができる。この流路は、チャンバの残りのプロセスガスから分離させることができ、前駆体が基板２５５と下方プレート３２５の底部との間に画定される処理領域２３３の中に入るまで、反応していない状態、又はほぼ反応していない状態に保たれる。あるいは、第２のＲＰＳ２０２を使用して、第２の前駆体のラジカル種を励起させる、又は生じさせることができる。これらのラジカル種を、第１の開孔３６０を通って流れうる第１の前駆体の他のラジカル種と分離した状態に維持することができる。処理領域２３３に入ると、２つの前駆体は互いに、そして処理ガスと反応しうる。第２の前駆体は、本明細書のシャワーヘッドの実施形態に示すチャネル３２２等のシャワーヘッドに形成された側面チャネルを通って、シャワーヘッド３００で画定されたシャワーヘッド内部容積３２７の中に導入されうる。第１の前駆体ガスは、ＲＰＳユニットからのラジカル、又は第１のプラズマ領域で生成されたプラズマからのラジカルを含むプラズマ状態にあってよい。加えて、プラズマは処理領域で生成されうる。

【0031】

図３Ａは、ガス分配アセンブリ３００の上面概略図である。使用において、ガス分配システム３００は、システムを通って形成されたガス開孔軸が、基板支持体（図２の基板支持体２６５を参照）の平面に直交しうる、又はほぼ直交しうるようなほぼ水平の向きを有することができる。図３Ｂは、ガス分配アセンブリ３００の底面斜視図である。図３Ｃは、ガス分配アセンブリ３００の底面図である。図３Ｄは、図３Ｃの線Ａ−Ａに沿って切り取ったガス分配アセンブリ３００の例示の実施形態の断面図である。

【0032】

図３Ａ〜３Ｄを参照すると、ガス分配アセンブリ３００は概して、環状本体３４０、上方プレート３２０、及び下方プレート３２５を含む。環状本体３４０は、内径に位置づけされる環状内壁３０１と、外径に位置づけされる環状外壁３０５と、上面３１５、及び下面３１０を有するリングであってよい。上面３１５及び下面３１０は、環状本体３４０の厚さを画定する。導管３５０を環状本体３４０に形成することができ、冷却流体を環状本体３４０の外周周囲に延在するチャネル内部に流すことができる。あるいは、加熱要素３５１を、シャワーヘッドアセンブリを加熱するのに使われるチャネルを通って延在させてもよい。

【0033】

一又は複数の凹部及び／又はチャネルは、図３Ｄに示すものを含む本開示の実施形態において示すように、環状本体に形成されうる、又は環状本体によって画定されうる。環状本体は、環状内壁３０１において上面に形成された上方凹部３０３と、下面に形成された第１の下方凹部３０２とを含むことができる。環状本体は、第１の下方凹部３０２の下及び第１の下方凹部３０２から半径方向上向きの下面３１０に形成された第２の下方凹部３０４も含みうる。図３Ｄに示すように、内側の流体チャネル３０６を上面３１５に画定することができ、上方凹部３０３の半径方向内向きに環状本体に位置づけすることができる。内側の流体チャネル３０６の形状は環状であり、環状本体３４０周囲の全長において形成されうる。本開示の実施形態では、上方凹部３０３の底部は内側の流体チャネル３０６（図示せず）の外壁と交差する。内側の流体チャネルは、少なくとも部分的に第２の下方凹部３０４の半径方向外向きであってもよい。複数のポート３１２は、内側の流体チャネルの内壁に画定することができ、また環状本体３４０の環状内壁３０１にも画定されうる。ポート３１２により、内側の流体チャネルと、上方プレート３２０と下方プレート３２５との間に画定された内部容積３２７との間のアクセスを得ることができる。ポートは、特定の間隔を置いたチャネルの外周周囲で画定することができ、上方プレートと下方プレートとの間に画定された容積３２７全域にわたる流体の分配を促進することができる。ポート３１２間の間隔は一定であってよい、又は異なる場所で変化して、容積内への流体の流れに影響を与えるものであってよい。第１の流体チャネル３０６の半径方向の内壁及び外壁の高さは同じであってよい、又は異なっていてよい。例えば、内壁は外壁よりも高く形成することができ、これにより、内側の流体チャネルの流体の分配が影響され、第１の流体チャネルの内壁の上を流体が流れることが回避される又はほぼ回避される。

【0034】

図３Ｄを再び参照すると、外側の流体チャネル３０８は、内側の流体チャネル３０６の半径方向外向きに環状本体に位置づけされた上面３１５に画定されうる。外側の流体チャネル３０８は環状であり、内側の流体チャネル３０６から半径方向外向きに、内側の流体チャネル３０６と同心に位置づけすることができる。外側流体チャネル３０８を第１の上方凹部３０３の半径方向外向きに位置づけすることにより、外側流体チャネル３０８が上方プレート３２０によってカバーされないようにすることもできる、又は図示したように、第１の上方凹部３０３の半径方向内向きに位置づけすることにより、上方プレート３２０が外側流体チャネル３０８をカバーするようにすることができる。第２の複数のポート３１４は、内側の流体チャネル３０６の外壁と、外側の流体チャネル３０８の内壁を画定する環状本体３４０の一部において画定されうる。第２の複数のポート３１４は、チャネル周囲において所定の間隔を置いて位置づけして、外側の流体チャネル３０８周囲の幾つかの場所において内側の流体チャネル３０６に流動的なアクセスを提供することができる。作動中に、前駆体は、プロセスチャンバの外から環状本体３４０の側面に位置づけされる供給チャネル３２２まで流れることができる。この供給チャネル３２２は、処理チャンバの第２のアクセスを介して第２のＲＰＳ２０２と流動的に連結していてよい。流体は、外側の流体チャネル３０８の中へ、第２の複数のポート３１４を通って内側の流体チャネル３０６の中へ、第１の複数のポート３１２を通って上方プレートと下方プレートとの間に画定される内部容積３２７の中へ、そして下部プレート３２５に位置づけされた第３の開孔３７５を通って流れることができる。このように、上記のやり方で供給される流体は、流体が別々に下方プレート３２５から出るまで、開孔３６０を通って第１のプラズマ領域の中へ送られるすべての流体から分離させる、又はほぼ分離させることができる。

【0035】

上方プレート３２０は円盤状本体であってよく、第１の上方凹部３０３において環状本体３４０と結合させることができる。上方プレート３２０はしたがって、第１の流体チャネル３０６をカバーして、第１の流体チャネル３０６の最上部からの流体の流れを防止する、又はほぼ防止することができる。上方プレートの直径は、上方凹部３０３の直径と嵌合するように選択することができ、上方プレートは、上方プレートを貫通して形成された複数の第１の開孔３６０を備えることができる。第１の開孔３６０は、上方プレート３２０の底面を超えて延在することができ、これにより任意の数の隆起した円筒本体（図示せず）が形成される。隆起した円筒本体同士の間には隙間がありうる。図３Ａからわかるように、第１の開孔３６０を、最外部の第１の開孔３６０の中央を通って描かれた仮想線により、例えば六辺の多角形であってよい多角形の形態が画定される、又はほぼ画定されるように、上方プレート３２０の多角形パターンで配置することができる。

【0036】

下方プレート３２５は、図３Ｃで特に見られるように、下方プレート３２５を貫通して形成された任意の数の第２の開孔３６５と、第３の開孔３７５を有する円盤状本体を有することができる。下方プレート３２５は複数の厚さを有することができ、画定された部分の厚さは上方プレート３２０の中央の厚さよりも厚く、本発明の実施形態では、上方プレート３２０の厚さの少なくとも約２倍である。下方プレート３２５は、第１の下方凹部３０２において、環状本体３４０の環状内壁３０１の直径と嵌合する直径も有しうる。例えば、第２の開孔３６５は、上方プレート３２０まで円筒本体が延在しているため、下方プレート３２５によって画定されうる。これにより、互いに流動的に分離された第１の開孔と第２の開孔との間にチャネルを形成することができ、これは第１の流体チャネルと呼ぶことができる。加えて、上方プレートと下方プレートとの間に形成された容積３２７を、第１の開孔と第２の開孔との間に形成されたチャネルから流動的に分離させることができる。このように、第１の開孔３６０を通って流れる流体は第２の開孔３６５を通って流れ、プレートとプレートの間の内部容積３２７内の流体は第３の開孔３７５を通って流れ、流体は、第２の開孔又は第３の開孔のいずれかを通って下方プレート３２５から出るまで、互いに流動的に分離している。第３の開孔３７５を、下方プレート３２５を介して内部容積３２７から延在する第２の流体チャネルと呼ぶことができる。この分離により、反応ゾーンに到達する前にラジカル前駆体が第２の前駆体と接触することを防止することを含む多数の利点が得られる。ガスの相互作用を防止することによって、反応が所望される処理領域へ到達する前のチャンバ内部での反応を最小限に抑えることができる。

【0037】

第２の開孔３６５を、上述したように、第１の開孔３６０のパターンと直線に並んだパターンで配置することができる。一実施形態において、上方プレート３２０と下方プレート３２５が互いに重なって位置決めされた場合、第１の開孔３６０と第２の開孔３６５の軸は直線に並ぶ。本発明の実施形態では、上方プレート及び下方プレートは互いに結合させる、又は互いに直接接着させることができる。いずれの場合にも、第１の開孔と第２の開孔が直線に並んで、上方プレートと下方プレートを通るチャネルが形成されるように、プレートを結合させることができる。複数の第１の開孔３６０と、複数の第２の開孔３６５は互いに平行する、又はほぼ平行するそれぞれの軸を有することができ、例えば開孔３６０と３６５は同心であってよい。あるいは、複数の第１の開孔３６０と複数の第２の開孔３６５は、互いに約１〜３０度の角度に配置されたそれぞれの軸を有することができる。下方プレート３２５の中央には、第２の開孔３６５があってもよく、なくてもよい。

【0038】

図３Ｄを再び参照すると、分離チャネル３２４の対は、環状本体３４０に形成されうる。分離チャネル３２４の対のうちの一方を上方プレート３２０に画定することができ、分離チャネル３２４の対の他方を環状本体３４０の下面３１０に画定することができる。あるいは、図３Ａに示すように、分離チャネル３２４の対のうちの一つを、環状本体３４０の上面３１５に画定することができる。分離チャネルの対は互いに垂直方向に直線に並んでいてよく、本発明の実施形態では、直線上に垂直方向に並んでいてよい。あるいは、分離チャネルの対は、垂直方向に直線に並んだ状態からいずれかの方向にずれていてよい。チャネルは、本発明の実施形態において、Ｏリング等の分離障壁に場所を提供しうる。

【0039】

本発明の手法による処理チャンバ４００の簡略化された概略図である図４を参照する。チャンバ４００は、前述したすべての構成要素を含むことができ、チャンバの処理領域４３３に半導体基板４５５を収納するように構成することができる。基板４５５は、図示したように、ペデスタル４６５に位置づけすることができる。処理チャンバ４００は、２つの遠隔プラズマシステム（ＲＰＳ）４０１、４０２を含むことができる。第１のＲＰＳユニット４０１は、チャンバ４００の第１のアクセス４０５に流動的に結合させることができ、第１のアクセス４０５を介してチャンバ４００の中へ第１の前駆体を送るように構成することができる。第２のＲＰＳユニット４０２は、チャンバ４００の第２のアクセス４１０に流動的に結合させることができ、第２のアクセス４１０を介してチャンバ４００の中へ第２の前駆体を送るように構成することができる。第１のプラズマユニット４０１及び第２のプラズマユニット４０２は、同じ又は異なるプラズマシステムであってよい。例えば、片方又は両方のシステムが、ＲＦプラズマシステム、ＣＣＰプラズマチャンバ、ＩＣＰプラズマチャンバ、トロイダルプラズマシステムを含む磁気生成プラズマシステム、マイクロ波プラズマシステム等、又はプラズマを形成することができる、又はそうでない場合にシステムにおいて分子を励起させる、及び／又は解離させることができる種類のその他任意のシステムであってよい。システムは、第１の前駆体及び第２の前駆体がチャンバ４００の処理領域４３３に送られるまで、第１の前駆体及び第２の前駆体を互いに流動的に分離された状態に維持するように構成することができる。第１のアクセス４０５は、処理チャンバ４００の最上部の近く、又はチャンバの最上部に位置づけすることができ、第２のアクセス４１０は、チャンバ４００の側面部の一つの近く、又はそれに沿って位置づけすることができる。

【0040】

チャンバ４００はさらに、チャンバ内部にガス分配アセンブリ４２５を含むことができる。前述したデュアルチャネルシャワーヘッドの態様と類似していて良いガス分配アセンブリ４２５は、チャンバ４００内部の処理領域４３３の最上部、又は処理領域４３３の上に位置づけすることができる。ガス分配アセンブリ４２５は、第１の前駆体及び第２の前駆体の両方を、チャンバ４００の処理領域４３３の中へ送るように構成することができる。図４の例示のシステムはデュアルチャネルシャワーヘッドを含むが、当然ながら、処理領域４３３へ到達する前に第１及び第２の前駆体を流動的に分離された状態に維持する代替の分配アセンブリを用いることができる。例えば、穴あきプレートと、プレートの下の管を用いることができるが、効率が落ちる、又は記載されたデュアルチャネルシャワーヘッドのような処理の均一性が得られないその他の構成で作動させることができる。

【0041】

ガス分配アセンブリ４２５は、前述したように、上方プレート４２０と下方プレート４２３を含むことができる。プレートを互いに結合させて、プレート間の容積４２７を画定することができる。上方プレートと下方プレートを通る第１の流体チャネル４４０と、下方プレート４２３を通る第２の流体チャネル４４５を提供するように、プレートを結合させることができる。形成されたチャネルを、下方プレート４２３を介して容積４２７から流動的にアクセスできるように構成することができ、第１の流体チャネル４４０を、複数のプレートと、第２の流体チャネル４４５との間の容積４２７から流動的に分離させることができる。容積４２７は、前述したチャネル３２２等のガス分配アセンブリ４２５の側面を介して流動的にアクセス可能である。ガス分配アセンブリのこの部分を、ＲＰＳユニット４０２がそれを介して第２の前駆体を送ることができるチャンバの第２のアクセス４１０に流動的に結合させることができる。

【0042】

チャンバは、第１の前駆体を、チャンバの第１のアクセス４０５を介して、第１のＲＰＳユニット４０１からチャンバの処理領域４３３へ送るように構成することができる。第１の前駆体を次に、ガス分配アセンブリ４２５の第１の流体チャネル４４０を介して送ることができる。チャンバはさらに、チャンバ４００の第２のアクセス４１０を介して、第２のＲＰＳ４０２からチャンバの中へ第２の前駆体を供給するように構成することができる。第２の前駆体は、アクセス４１０を介して、ガス分配アセンブリ４２５の中へ流すことができる。第２の前駆体は、ガス分配アセンブリを介して、上方プレートと下方プレートとの間に画定された容積４２７の中へ流した後に、ガス分布アセンブリ４２５の下方プレート４２３の第２の流体チャネル４４５を介して処理領域４３３の中へ流すことができる。上方プレート４２０と下方プレート４２３の結合と構成から、アセンブリを、第２の前駆体のアセンブリ４２５の上方プレート４２０を通る流れを防止するように構成することができる。これは、前述したアセンブリの開孔が直線に並んでいるためでありうる。

【0043】

ＲＰＳユニット４０１、４０２のプラズマキャビティと、チャンバのアクセス４０５、４１０につながるすべての機械的結合は、ＲＰＳユニット４０１、４０２を通って流れるように選択された第１の前駆体と第２の前駆体に基づく物質でできていてよい。例えば、特定のエッチング工程において、フッ素含有前駆体（例：ＮＦ_３）を、例えばＲＰＳユニット４０１等の第１のＲＰＳユニット及び第２のＲＰＳユニットのいずれかを介して流すことができる。ＲＰＳユニット４０１でプラズマが形成されると、分子はラジカルイオンに解離しうる。ＲＰＳユニット４０１が変質していないアルミニウムでできている場合、フッ素ラジカルはキャビティの壁と反応し、フッ化アルミニウム等の副産物を形成しうる。したがって、ＲＰＳユニット４０１を、例えば酸化アルミニウム、窒化アルミニウムであってよい第１の物質、又は第１の前駆体が相互作用を起こさない別の物質で形成することができる。ＲＰＳユニット４０１の物質は、第１の前駆体の組成に基づいて選択することができ、特に前駆体がチャンバの構成要素と相互作用しないように選択することができる。

【0044】

同様に、第２のＲＰＳユニット４０２は、第２の前駆体に基づいて選択された第２の物質でできていてよい。本発明の実施形態では、第１の物質及び第２の物質は異なる物質であってよい。例えば、水素含有前駆体を第２のＲＰＳ４０２を介して流した場合、プラズマが形成され、解離した水素ラジカルがＲＰＳ４０２のプラズマキャビティと相互作用を起こす場合がある。チャンバが同様に例えば酸化アルミニウムでできている場合、水素ラジカルが酸化物と相互作用を起こし、保護コーティングが剥離する場合がある。したがって、ＲＰＳユニット４０２は、第２の前駆体が相互作用を起こさないアルミニウム、又は別の物質等の第１の物質とは異なる第２の物質でできていてよい。これもガス分配アセンブリまで延在していてよく、上方プレート４２０の上面は第１のＲＰＳで使用されるのと同じ物質でできている、又はそれでコーティングされており、上方プレート４２０の下面と、下方プレート４２３の上面は第２のＲＰＳで使用される同じ物質でできている、又はそれでコーティングされている。上記コーティング又は物質の選択により、経時的な機器の劣化を改善することができる。したがって、ガス分配アセンブリのプレートはそれぞれ、一又は複数の物質でできた複数のプレートを含むことができる。

【0045】

作動中に、ＲＰＳユニット４０１、４０２のいずれか、あるいは両方を使用してユニット内部にプラズマを生じさせて、第１の前駆体及び／又は第２の前駆体を少なくとも部分的にイオン化することができる。フッ素含有前駆体と、水素含有前駆体を用いた一例では、水素含有前駆体を第１のＲＰＳユニット４０１を介して流すことができ、フッ素含有ラジカルを第２のＲＰＳユニット４０２を介して流すことができる。上記構成は、ラジカル種の移動距離に基づくものであってよい。例えば、処理領域４３３への経路は、第１のＲＰＳユニット４０１よりも短い場合がある。水素ラジカルは半減期が短いために、フッ素ラジカルよりも速く再結合しうるため、水素含有ラジカルを短い経路を介して流すことができる。加えて、前述したように、ラジカル種を長持ちさせる、継続させる、又は強化するために、チャンバ４００の領域のガス分配アセンブリ４２５の上でプラズマを形成することができる。しかしながら、本発明のその他の構成では、水素含有前駆体を第２のＲＰＳユニット４０２を介して流すことができる。

【0046】

ＲＰＳユニット４０１、４０２は、様々な実施形態において、約１０Ｗ以下〜約１０又は１５ｋＷ以上の電力レベルで作動することができる。発明者は、各ＲＰＳユニットの電力及びプラズマプロファイルを、使用する特定の前駆体に対して調整できる本発明の手法のさらなる利点を有利に確定している。例えば、続けてフッ素含有前駆体、及び水素含有前駆体の例において、ある従来のシステムでは、解離が必要な前駆体が両方、同じＲＰＳユニットを通って流れる必要がある。上述したプラズマキャビティとＲＰＳユニットの潜在的な劣化に加え、前駆体の両方にとって有益なプラズマプロファイルは利用可能ではない場合がある。続けてこの例においては、ＮＦ_３を含むフッ素含有前駆体を、ＲＰＳユニットの比較的低い電力レベルで処理することができる。１００Ｗ、２００Ｗ、４００Ｗ未満〜１０００Ｗ以上の電力レベルでＲＰＳを作動させることによって、前駆体は粒子を完全にイオン化せず、ＮＦ及びＮＦ_２種も含む個々のラジカルを含む低い度合いまで解離することが可能である。さらに、水素含有前駆体を処理するＲＰＳユニットは、完全な解離が所望されうる場合、はるかに高い電力レベルで作動させることができる。したがって、ＲＰＳユニットを最大約１０００Ｗ以上で、また最大約１０ｋＷ以上で作動させることができる。例示の処理システムで適用されるＲＦ周波数は、異なる実施形態において、約５００ｋＨｚ未満の低いＲＦ周波数、約１０ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの高いＲＦ周波数、又は約１ＧＨｚ以上のマイクロ波周波数であってよい。このように、第１のＲＰＳユニット４０１は、第１の前駆体の組成に基づいて選択された第１の電力レベルで作動するように構成することができ、第２のＲＰＳは、第２の前駆体の組成に基づいて選択された第２の電力レベルで作動するように構成することができる。２つのＲＰＳユニット４０１、４０２を、互いに異なる電力レベルで作動するように構成することができる。上記の構成は、その他の変更の中でもとりわけ別々の電源、又は分離した電源を必要としうる。

【0047】

ＲＰＳユニットのうちの一方を作動させ、他方を作動させないことによって、さらなる柔軟性を得ることができる。例えば、フッ素含有前駆体を、前駆体に基づいて低いレベルであってよい電力レベルで作動するように構成された第１のＲＰＳユニット４０１を介して流すことができる。水素含有前駆体を、分子前駆体が処理領域４３３へ流れるようにプラズマが形成されない第２のＲＰＳユニット４０２を介して流すことができる。第１の前駆体と、第２の前駆体がガス分配アセンブリ４２５を別々に出た時に第１の前駆体と第２の前駆体の相互作用が起こる可能性があり、ＲＰＳユニット４０１で少なくとも部分的にラジカル化されている第１の前駆体が第２の前駆体の一部をイオン化する可能性があり、この場合、システムの電力効率が改善されうる。当然ながら、これらの実施例に基づき、多数の態様を、様々な作動特性に基づく本発明の手法の実施形態において反転させる、又は変更することができる。

【0048】

本発明をより理解し認識するために、本発明の実施形態による、特にシリコン選択エッチングであるエッチングプロセスのフロー図である図５を参照する。当然ながら、この手法を同様に堆積プロセスに用いることができる。シリコンは非結晶質、結晶質、又は多結晶（この場合は普通ポリシリコンと呼ばれる）であってよい。第１の工程の前に、構造をパターン付基板に形成することができる。この構造は、シリコン、及び酸化シリコンの別々の露出領域を有することができる。前の堆積及び形成プロセスは、同じチャンバで行われていても、行われていなくてもよい。異なるチャンバで行われた場合、基板は上述したようにシステムへ転送することができる。

【0049】

第１の前駆体、例えば水素含有前駆体を、工程５１０において基板の処理領域とは別に、第１のプラズマ領域の中へ流すことができる。別々のプラズマ領域を本明細書では遠隔プラズマ領域と呼ばれる場合があり、処理チャンバとは違うモジュール、又は処理チャンバ内部の区画部分の中にあってよい。一般的に言えば、水素含有前駆体を第１のプラズマ領域の中へ流してプラズマ内で励起させることができ、水素含有前駆体は、Ｈ_２、ＮＨ_３、炭化水素等から選択された少なくとも一つの前駆体を含むことができる。第２の前駆体、例えば三フッ化窒素、又は別のフッ素含有前駆体の流れを、工程５２０において第２の遠隔プラズマシステムの中へ導入して、プラズマ内で励起させることができる。第１のプラズマシステム、及び第２のプラズマシステムを前述したように任意のやり方で作動させることができ、本発明の実施形態では、水素含有前駆体とフッ素含有前駆体を代替のＲＰＳユニットを介して流すことができる。加えて、遠隔プラズマシステムのうちの一方のみを本発明の実施形態において作動させることができる。三フッ化窒素の流動率を水素の流動率に対して遅くして、簡単に定量化される高い原子流動率Ｈ：Ｆを実現することができる。その他のフッ素供給源を使用して、三フッ化窒素を補強する、又は置換することができる。一般に、フッ素含有前駆体を第２の遠隔プラズマ領域に流すことができ、フッ素含有前駆体は、原子フッ素、二原子フッ素、三フッ化臭素、三フッ化塩素、三フッ化窒素、フッ化水素、フッ素化炭化水素、六フッ化硫黄、二フッ化キセノンからなる群から選択される少なくとも一つの前駆体を含む。

【0050】

第１の前駆体及び第２の前駆体の遠隔プラズマ領域に形成されたプラズマ廃液を次に、工程５３０において基板処理領域の中へ別々に流し、基板処理領域へ組み込むことができる。パターン化基板を選択的にエッチングすることにより、露出した酸化シリコンの少なくとも、又は約７０倍の比率で露出したシリコンを除去することができる。この手法には、シリコンのエッチング選択性を高めるために、フッ素（Ｆ）に対する水素（Ｈ）の高い原子流量比の維持が含まれうる。幾つかの前駆体はフッ素と水素を両方含むことができ、この場合、本明細書に記載される原子流量比を計算する時に、すべての構成物の原子流動率が含まれる。水素の量の優位性により、パターン化基板上の露出面を水素終端しやすくなりうる。本明細書に記載された条件下で、水素終端は、シリコン表面でのみ準安定原子でありうる。三フッ化窒素又はその他のフッ素含有前駆体のフッ素によりシリコン表面の水素が置換され、表面から剥離してシリコンを取り除く揮発性残留物ができる。他の露出した物質に存在する結合エネルギーが強いために、フッ素は他の水素終端面の水素を置換することができない場合がある（及び／又は他の露出した物質を除去する揮発性残留物ができない可能性がある）。

【0051】

一例では、約１５：１以上のガス流量比（Ｈ_２：ＮＦ_３）、又は一般論として、約１０：１以上の原子流量比により、約７０：１以上のエッチング選択性（シリコン：酸化シリコン、又はシリコン：窒化シリコン）が得られることがわかっている。エッチング選択性（シリコン：酸化シリコン、又はシリコン：窒化シリコン）は、本発明の実施形態において、約１００：１以上、約１５０：１以上、約２００：１以上、約２５０：１以上、又は約３００：１以上であってもよい、又はこれらの範囲のうちの任意の範囲の間、又はこれらの範囲のうちの任意の範囲内であってもよい。パターン化基板には、タングステン、窒化チタン、又はその他の金属が露出した領域も存在する場合があり、露出した金属領域と呼ぶことができる。エッチング選択性（シリコン：露出した金属領域）は、本発明の実施形態では、約１００：１以上、約１５０：１以上、約２００：１以上、約２５０：１以上、約５００：１以上、約１０００：１以上、約２０００：１以上、又は約３０００：１以上であってよい。反応性化学種が基板処理領域から取り除かれ、次に基板が処理領域から取り除かれる。

【0052】

本明細書に記載されるように、大流量の水素含有前駆体が存在することにより、シリコン、酸化シリコン及び窒化シリコンが処理のほとんどの過程において水素終端面が確実に維持される。フッ素含有前駆体及び／又は水素含有前駆体はさらに、Ｈｅ、Ｎ_２、Ａｒ等の一又は複数の比較的不活性なガスを含むことができる。不活性ガスを使用して、プラズマの安定性を改善する、及び／又は液状の前駆体を遠隔プラズマ領域まで送ることができる。異なるガスの流動率及び流量比を使用して、エッチング速度及びエッチング選択性を制御することができる。一実施形態では、フッ素含有ガスは、流動率が約１〜３０ｓｃｃｍ（立方センチメートル／分）のＮＦ_３と、流動率が約５００〜５０００ｓｃｃｍのＨ_２と、流動率が約０〜３０００ｓｃｃｍのＨｅと、流動率が約０〜３０００ｓｃｃｍのＡｒを含む。本発明の実施形態では、原子流量比Ｈ：Ｆを高く維持して、酸化シリコン上への固体残留物の形成を減らす、又はなくすことができる。固体残留物の形成により、酸化シリコンの一部が消費されるため、エッチングプロセスのシリコン選択性が低下しうる。原子流量比Ｈ：Ｆは、この手法の実施形態では、約２５（すなわち２５：１）以上、約３０：１以上、又は約４０：１以上であってよい。

【0053】

前駆体を流動的に分離した状態に維持することで、腐食、またＲＰＳシステムとのその他の相互作用を減らす、又はなくすことができる。上述したように、ガス分配アセンブリを含むＲＰＳユニット及び分配構成要素は、送られる前駆体に基づいて選択され、したがってイオン化前駆体と機器との間の反応を防止するように選択された物質でできていてよい。

【0054】

本発明の実施形態では、遠隔プラズマ領域から基板処理領域まで通過する間に、イオンサプレッサーを使用して、プラズマ廃液からのイオンをフィルタリングすることができる。イオンサプレッサーは、プラズマ生成領域から基板まで移動しているイオン的に帯電した種を減らす又はなくすように機能する。荷電されていない中性種及びラジカル種は、イオンサプレッサーの開口部を通過して基板において反応しうる。基板周囲の反応領域からイオン的に荷電した種を完全に除去することが必ずしも望ましい目的でないことに留意されたい。多くの場合、エッチング及び／又は堆積プロセスを行うためには、基板に到達するのにイオン種が必要である。これらの場合、イオンサプレッサーにより、プロセスを支援するレベルで、反応領域のイオン種の濃度を制御しやすくなる。本発明の実施形態では、ガス分配アセンブリの上方プレートはイオンサプレッサーを含むことができる。

【0055】

エッチングプロセスの間の基板の温度は、０℃超であってよい。基板の温度はあるいは、約２０℃以上、及び約３００℃以下であってよい。この基板の温度範囲の上限値において、シリコンのエッチング速度は低下しうる。この基板の温度範囲の下限値において、酸化シリコンと窒化シリコンのエッチングが始まりうるため、選択性が低下しうる。本発明の実施形態では、本明細書に記載されたエッチングの間の基板の温度は、約３０℃以上、及び約２００℃以下、又は約４０℃以上、及び約１５０℃以下であってよい。基板の温度は、本発明の実施形態において、１００℃未満、約８０℃以下、約６５℃以下、又は約５０℃以下であってよい。

【0056】

データはさらに、（所定の水素：フッ素原子比に対して）シリコンのエッチング速度の上昇をプロセス圧の関数として示す。しかしながら、約５０：１のＨ：Ｆの原子流動率に対し、１Ｔｏｒｒを超える圧力の上昇により、選択性が低下し始めうる。これは、２以上のフッ素含有廃液の混合の確率が高いことが原因と考えられる。エッチングプロセスでは次に、酸化シリコン、窒化シリコン、及び他の物質の除去が開始される。基板処理領域内の圧力は、本発明の実施形態において、約１０Ｔｏｒｒ以下、約５Ｔｏｒｒ以下、約３Ｔｏｒｒ以下、約２Ｔｏｒｒ以下、約１Ｔｏｒｒ以下、又は約７５０ｍＴｏｒｒ以下であってよい。本発明の実施形態において、十分なエッチング速度を確保するためには、圧力は約０．０５Ｔｏｒｒ以上、約０．１Ｔｏｒｒ以上、約０．２Ｔｏｒｒ以上、又は約０．４Ｔｏｒｒ以上であってよい。さらなる実施例、プロセスパラメータ、及び作動ステップは、本明細書に記載された供給機構と反しない範囲で、前に組み込まれた特許出願第１３／４３９０７９号明細書に含まれている。

【0057】

上述の説明では、説明の目的のために、本発明の様々な実施形態の理解を促すために、多数の詳細が記載されてきた。しかしながら、特定の実施形態をこれらの詳細の幾つかの詳細なしで、又は更なる詳細と共に実行することができることが当業者には明らかとなるであろう。

【0058】

幾つかの実施形態を開示したが、当然ながら当業者には、本発明の実施形態の主旨から逸脱することなく、様々な変更例、代替構造物、及び同等物を使用することができることが理解されるだろう。加えて、任意の数の周知のプロセス、及び要素は、本発明が不必要に曖昧にならないように記載していない。したがって上記の記載により、本発明の範囲を限定するものと解釈すべきでない。

【0059】

値の範囲が付与されているところでは、文脈上そうでないと明示されていない限り、当然ながら、その範囲の上限値と下限値との間の各介在値は、下限値の最も小さい単位まで具体的に開示されている。記載された範囲の任意の記載値又は記載されていない介在値の間の任意の小さい範囲、そしてその記載範囲のその他任意の記載された又は介在する値も含まれる。これら小さい範囲の上限値及び下限値は、その範囲に個々に含まれ、又はその範囲から除外される場合があり、小さい範囲に限界値のいずれかが含まれる、どちらも含まれない、又は両方が含まれる各範囲もこの手法に含まれ、記載された範囲において任意に具体的に除外された限界値に依存する。記載された範囲に一又は複数の限界値が含まれるところでは、これらの含有限界値のいずれか、又は両方を除外する範囲も含まれる。

【0060】

本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される単数形「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」、及び「その（ｔｈｅ）」は、文脈上別途明示しない限り複数の指示物を含む。したがって、例えば、「開孔」を参照した時は複数の上記開孔を含み、「プレート」を参照した時は、一又は複数のプレート及び当業者に周知のそれらの同等物他への参照を含む。

【0061】

また、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅ（ｓ））」、「備えている（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「含有する（ｃｏｎｔａｉｎ（ｓ））」、「含有している（ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅ（ｓ））」、及び「含んでいる（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」という単語は、本明細書及び特許請求の範囲で使用された場合、記載された特徴、整数、構成要素、又はステップの存在を特定することを意図しているが、一又は複数のその他の特徴、整数、構成要素、ステップ、作動、又はグループの存在、又は追加を除外するものではない。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図4】

【図5】