特許第6393958号(P6393958)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6393958圧電性の円柱状の結晶体の極性を判定できるように、又は、結晶体としてのウエハの分極方向に依存する表裏を判定できるようにする装置
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