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特許6394054光学系、光学装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6394054

(24)【登録日】2018年9月7日

(45)【発行日】2018年9月26日

(54)【発明の名称】光学系、光学装置

(51)【国際特許分類】

G02B 13/00 20060101AFI20180913BHJP

G03B 5/00 20060101ALI20180913BHJP

G02B 1/111 20150101ALI20180913BHJP

【ＦＩ】

G02B13/00

G03B5/00 J

G02B1/111

【請求項の数】29

【全頁数】72

(21)【出願番号】特願2014-99623(P2014-99623)

(22)【出願日】2014年5月13日

(65)【公開番号】特開2015-215558(P2015-215558A)

(43)【公開日】2015年12月3日

【審査請求日】2017年3月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】110002435

【氏名又は名称】特許業務法人井上国際特許商標事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100077919

【弁理士】

【氏名又は名称】井上義雄

(74)【代理人】

【識別番号】100153899

【弁理士】

【氏名又は名称】相原健一

(74)【代理人】

【識別番号】100172638

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤隆治

(74)【代理人】

【識別番号】100159363

【弁理士】

【氏名又は名称】井上淳子

(72)【発明者】

【氏名】田中一政

(72)【発明者】

【氏名】武俊典

(72)【発明者】

【氏名】三輪哲史

【審査官】吉川陽吾

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２−１５９７４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２−１５９７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２−００２９９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２−１８９６７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９−０３７２５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３−２１８０８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３−０３３１７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ９／００−１７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有し、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系。
１．７０＜｜ｆＲ／ｆＦ｜＜５．００
−３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
ｆＦ：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群から前記第３ａレンズ群までの合成焦点距離
ｆＲ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離

【請求項2】

物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系。
−１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
−３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離

【請求項3】

以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の光学系。
−１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率

【請求項4】

前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学系。
１．４０＜ｆ１ａ／ｆ１ｂ＜２．０５
ただし、
ｆ１ａ：前記第１ａレンズ群の焦点距離
ｆ１ｂ：前記第１ｂレンズ群の焦点距離

【請求項5】

前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項6】

前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項7】

前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項8】

前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。

【請求項9】

前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。

【請求項10】

前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。

【請求項11】

前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。

【請求項12】

前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。

【請求項13】

前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項14】

前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。

【請求項15】

前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。

【請求項16】

前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。

【請求項17】

前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、
前記第３ｂレンズ群が前記シフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項18】

前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、
前記第３ａレンズ群が正レンズと負レンズとから構成されていることを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項19】

前記シフトレンズ群が、物体側から順に、正レンズと負レンズとの接合レンズと、負レンズとから構成されていることを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項20】

前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、
前記第３ａレンズ群の物体側又は像側に開口絞りを有することを特徴とする請求項１から請求項１９のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項21】

前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、
前記第３ｂレンズ群が前記シフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載の光学系。
−０．４５＜ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＜０．４０
ただし、
ｆ３ａ：前記第３ａレンズ群の焦点距離
ｆ３ｂｃ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｃレンズ群の合成焦点距離

【請求項22】

前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
前記第１ａレンズ群が最も像側に負レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項２１のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項23】

前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
前記第１ａレンズ群が、物体側から順に、保護ガラスと、正レンズと、正レンズと、負レンズとから構成されていることを特徴とする請求項１から請求項２２のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項24】

前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと正レンズとの接合レンズで構成されていることを特徴とする請求項１から請求項２３のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項25】

前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
前記第１ａレンズ群が以下の条件式を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項２４のいずれか一項に記載の光学系。
９０＜νｄｐ
ただし、
νｄｐ：前記第１ａレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数

【請求項26】

前記第２レンズ群が複数の負レンズを有し、
前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された負レンズが以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から請求項２５のいずれか一項に記載の光学系。
ｎｄｎ＜１．６５
ただし、
ｎｄｎ：前記第２レンズ群中の前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された前記負レンズの硝材のｄ線に対する屈折率

【請求項27】

前記第２レンズ群が、物体側から順に、像側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと負レンズとの接合レンズとから構成されていることを特徴とする請求項１から請求項２６のいずれか一項に記載の光学系。

【請求項28】

以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から請求項２７のいずれか一項に記載の光学系。
０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

【請求項29】

請求項１から請求項２８のいずれか一項に記載の光学系を有することを特徴とする光学装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学系、光学装置、光学系の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、写真用カメラや電子スチルカメラ等には、画角が小さくＦナンバーが比較的小さい光学系として、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、開口絞りと、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有するインナーフォーカス式の光学系が多く用いられている（例えば、特許文献１を参照。）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増している。そのため、光学系のレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、斯かる要求に応えるべく多層膜の設計技術や成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２を参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−８１０６４号公報

【特許文献2】特開２０００−３５６７０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述のような従来の光学系は、小型化と高性能化が十分に図られていないという問題があった。
また、上述のような従来の光学系は、高性能化が十分に図られていないという問題があった。また、手ぶれ等に起因する像ぶれを補正するために、所定のレンズを光軸と直交する方向の成分を含むように移動、即ちレンズシフトする構成とすれば、レンズシフト時に光学性能が劣化してしまうという問題があった。また、それと同時に従来の光学系におけるレンズ面では、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。

【0005】

そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、小型で、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することを目的とする。
また、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有し、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系を提供する。
１．７０＜｜ｆＲ／ｆＦ｜＜５．００
−３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
ｆＦ：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群から前記第３ａレンズ群までの合成焦点距離
ｆＲ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
また本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系を提供する。
−１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
−３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離

【0007】

また本発明は、
前記光学系を有することを特徴とする光学装置を提供する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、小型で、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することができる。
また、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図2】図２（ａ）、及び図２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図3】図３は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図4】図４は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図5】図５（ａ）、及び図５（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図6】図６は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図7】図７は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図8】図８（ａ）、及び図８（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図9】図９は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図10】図１０は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図11】図１１（ａ）、及び図１１（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図12】図１２は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図13】図１３は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図14】図１４（ａ）、及び図１４（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図15】図１５は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図16】図１６は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図17】図１７（ａ）、及び図１７（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図18】図１８は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図19】図１９は、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図20】図２０（ａ）、及び図２０（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図21】図２１は、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図22】図２２は、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図23】図２３（ａ）、及び図２３（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図24】図２４は、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図25】図２５は、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。

【図26】図２６（ａ）、及び図２６（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。

【図27】図２７は、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。

【図28】図２８は、本願第１又は第２発明の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。

【図29】図２９は、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。

【図30】図３０は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系に入射した光線が第１番目の反射面と第２番目の反射面で反射して像面にゴーストやフレアを形成する様子の一例を示す図である。

【図31】図３１は、本願第１及び第２発明の反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。

【図32】図３２は、本願第１及び第２発明の反射防止膜の分光特性を示すグラフである。

【図33】図３３は、本願第１及び第２発明の変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。

【図34】図３４は、本願第１及び第２発明の変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。

【図35】図３５は、従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。

【図36】図３６は、従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。

【図37】図３７は、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本願第１発明の光学系、光学装置及び光学系の製造方法について説明する。
本願第１発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有し、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、前記第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、以下の条件式（１−１）を満足することを特徴とする。
（１−１）１．７０＜｜ｆＲ／ｆＦ｜＜５．００
ただし、
ｆＲ：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群から前記第３ａレンズ群までの合成焦点距離ｆＦ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離

【0015】

上記のように本願第１発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有し、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動する。この構成により、本願第１発明の光学系は小型軽量化と優れた結像性能を達成することができる。

【0016】

また、上記のように本願第１発明の光学系は、前記第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動、即ちレンズシフトする。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができる。

【0017】

条件式（１−１）は、第１レンズ群から第３ａレンズ群までの合成焦点距離と、第３ｂレンズ群と第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離との比の適切な範囲を規定するものである。なお、第３ｂレンズ群よりも像側にレンズが存在しない場合には、「ｆＦ：第３ｂレンズ群の焦点距離」として条件式（１−１）の対応値を計算するものとする。本願第１発明の光学系は、条件式（１−１）を満足することにより、小型化を図りながら、球面収差とコマ収差を良好に補正でき、優れた結像性能を得ることができる。

【0018】

本願第１発明の光学系の条件式（１−１）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群から第３ａレンズ群までの合成屈折力が相対的に小さくなる。これにより、第１レンズ群から第３ａレンズ群で発生する球面収差とコマ収差が補正不足になるため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の上限値を４．７５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の上限値を４．２５とすることがより好ましい。

【0019】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−１）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群から第３ａレンズ群までの合成屈折力が相対的に大きくなる。これにより、第１レンズ群から第３ａレンズ群でコマ収差が多大に発生してしまいため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の下限値を１．７１とすることがより好ましい。
以上の構成により、小型で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系を実現することができる。

【0020】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいることを特徴とする。この構成により、本願第１発明の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。

【0021】

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

【0022】

また、本願第１発明の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

【0023】

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0024】

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0025】

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0026】

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0027】

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0028】

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0029】

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0030】

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0031】

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0032】

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0033】

なお、本願第１発明の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。

【0034】

また、本願第１発明の光学系は、以下の条件式（１−２）を満足することが望ましい。
（１−２） −１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率

【0035】

条件式（１−２）は、シフトレンズ群の光軸と直交する方向への移動量に対する像の光軸と直交する方向への移動量である、所謂ブレ係数の適切な範囲を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−２）を満足することにより、球面収差、コマ収差及び像面湾曲を良好に補正でき、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0036】

本願第１発明の光学系の条件式（１−２）の対応値が上限値を上回ると、シフトレンズ群の移動量に対する像の移動量が相対的に小さくなる。これにより、球面収差とコマ収差が補正不足になってしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の上限値を−０．９５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の上限値を−１．００とすることがより好ましい。

【0037】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−２）の対応値が下限値を下回ると、シフトレンズ群の移動量に対する像の移動量が大きくなり過ぎる。これにより、コマ収差と像面湾曲が悪化してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の下限値を−１．５５とすることがより好ましい。

【0038】

また、本願第１発明の光学系は、前記第３ａレンズ群が正レンズと負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第３ａレンズ群において球面収差とコマ収差を良好に補正でき、本願第１発明の光学系のさらなる高性能化を図ることができる。特に、前記第３ａレンズ群が正の屈折力を有する構成とすることがより望ましい。

【0039】

また、本願第１発明の光学系は、前記第３ｂレンズ群が、物体側から順に、正レンズと負レンズとの接合レンズと、負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第３ｂレンズ群において球面収差を良好に補正することができ、第３レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、レンズシフト時の光学性能の劣化をより良好に抑えることができる。

【0040】

また、本願第１発明の光学系は、前記第３ａレンズ群の物体側又は像側に開口絞りを有することが望ましい。この構成により、本願第１発明の光学系の屈折力配置を、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群、負の屈折力を有する第２レンズ群、開口絞り、正の屈折力を有する第３レンズ群という対称型に近付けて、像面湾曲と歪曲収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系はさらなる高性能化を図ることができる。

【0041】

また、本願第１発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、前記第３ａレンズ群と、前記第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、以下の条件式（１−３）を満足することが望ましい。
（１−３） −０．４５＜ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＜０．４０
ただし、
ｆ３ａ：前記第３ａレンズ群の焦点距離
ｆ３ｂｃ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｃレンズ群の合成焦点距離

【0042】

条件式（１−３）は、第３ａレンズ群の焦点距離と、第３ｂレンズ群と第３ｃレンズ群の合成焦点距離との比の適切な範囲を規定するものである。本願の光学系は、条件式（１−３）を満足することにより、球面収差とコマ収差、及びレンズシフト時のコマ収差の変動を良好に補正できる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0043】

本願第１発明の光学系の条件式（１−３）の対応値が上限値を上回ると、第３ａレンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第３ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差が補正不足になってしまう。また、第３ｂレンズ群と第３ｃレンズ群の屈折力が相対的に大きくなる。このため、レンズシフト時にコマ収差の変動を抑えることができなくなり、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の上限値を０．３５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の上限値を０．３０とすることがより好ましい。

【0044】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−３）の対応値が下限値を下回ると、第３ａレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第３ａレンズ群単体で球面収差とコマ収差が多大に発生してしまう。また、第３ｂレンズ群と第３ｃレンズ群の屈折力が相対的に小さくなる。このため、レンズシフト時にコマ収差が補正不足になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の下限値を−０．４０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の下限値を−０．３５とすることがより好ましい。

【0045】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が最も像側に負レンズを有することが望ましい。この構成により、第１レンズ群単体で球面収差が発生することを抑え、第１レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0046】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、以下の条件式（１−４）を満足することが望ましい。
（１−４）１．４０＜ｆ１ａ／ｆ１ｂ＜２．０５
ただし、
ｆ１ａ：前記第１ａレンズ群の焦点距離
ｆ１ｂ：前記第１ｂレンズ群の焦点距離

【0047】

条件式（１−４）は、第１ａレンズ群と第１ｂレンズ群の焦点距離比の適切な範囲を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−４）を満足することにより、第１ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0048】

本願第１発明の光学系の条件式（１−４）の対応値が上限値を上回ると、第１ａレンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第１ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差が補正不足になってしまう。また、第１ｂレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、合焦時に球面収差の変動を抑えることができなくなるため、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の上限値を２．００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の上限値を１．９５とすることがより好ましい。

【0049】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−４）の対応値が下限値を下回ると、第１ａレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１ａレンズ群単体で球面収差とコマ収差が多大に発生してしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の下限値を１．４５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の下限値を１．５０とすることがより好ましい。

【0050】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が、物体側から順に、保護ガラスと、正レンズと、正レンズと、負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第１ａレンズ群において球面収差を良好に補正することができる。これにより、本願の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0051】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと正レンズとの接合レンズで構成されていることが望ましい。この構成により、第１ｂレンズ群において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0052】

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が以下の条件式（１−５）を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することが望ましい。
（１−５）９０＜νｄｐ
ただし、
νｄｐ：前記第１ａレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

【0053】

条件式（１−５）は、第１ａレンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−５）を満足することにより、第１レンズ群単体で軸上色収差と倍率色収差が発生することを抑えることができる。

【0054】

本願第１発明の光学系の条件式（１−５）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群単体で軸上色収差と倍率色収差が多大に発生し、本願第１発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0055】

また、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が複数の負レンズを有し、前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された負レンズが以下の条件式（１−６）を満足することが望ましい。
（１−６）ｎｄｎ＜１．６５
ただし、
ｎｄｎ：前記第２レンズ群中の前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率

【0056】

条件式（１−６）は、第２レンズ群中の複数の負レンズのうちで最も像側に配置された負レンズの硝材の屈折率を規定するものである。本願の光学系は、条件式（１−６）を満足することにより、第２レンズ群単体で倍率色収差が発生することを抑えることができる。

【0057】

本願第１発明の光学系の条件式（１−６）の対応値が上限値を上回ると、第２レンズ群単体で倍率色収差が多大に発生し、本願第１発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0058】

また、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が複数の負レンズを有し、前記複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された負レンズが以下の条件式（１−７）を満足することが望ましい。
（１−７）４９．７＜νｄｎ
ただし、
νｄｎ：前記第２レンズ群中の前記複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

【0059】

条件式（１−７）は、第２レンズ群中の複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された負レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−７）を満足することにより、第２レンズ群単体で軸上色収差が発生することを抑えることができる。

【0060】

本願第１発明の光学系の条件式（１−７）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群単体で軸上色収差が多大に発生し、本願第１発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0061】

また、本願第１発明の光学系は、以下の条件式（１−８）を満足することが望ましい。
（１−８） −３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離

【0062】

条件式（１−８）は、第１レンズ群と第２レンズ群の焦点距離比の適切な範囲を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−８）を満足することにより、合焦時にコマ収差の変動を抑え、また第１レンズ群単体で球面収差が発生することを抑えることができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図ることができる。

【0063】

本願第１発明の光学系の条件式（１−８）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群の屈折力が相対的に小さくなる。このため、第１レンズ群がテレ比、即ち本願第１発明の光学系の全長を焦点距離で割った値を小さくすることに寄与できなくなり、本願第１発明の光学系の全長が大きくなってしまう。また、第２レンズ群の屈折力が相対的に大きくなるため、合焦時にコマ収差の変動を抑えることができなくなり、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−８）の上限値を−２．１５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−８）の上限値を−２．３０とすることがより好ましい。

【0064】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−８）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１レンズ群単体で球面収差が多大に発生してしまう。また、第２レンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、合焦時の第２レンズ群の移動量が多大になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−８）の下限値を−２．８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−８）の下限値を−２．７０とすることがより好ましい。

【0065】

また、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が、物体側から順に、像側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと負レンズとの接合レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第２レンズ群においてコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0066】

また、本願第１発明の光学系は、以下の条件式（１−９）を満足することが望ましい。
（１−９）０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

【0067】

条件式（１−９）は、本願第１発明の光学系の焦点距離と第１レンズ群と第２レンズ群の合成焦点距離との比の適切な範囲を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−９）を満足することにより、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生するコマ収差と倍率色収差を良好に補正することができる。これにより、本願第１発明の光学系は、さらなる高性能化を図ることができる。

【0068】

本願第１発明の光学系の条件式（１−９）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群と第２レンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１レンズ群及び第２レンズ群でコマ収差が多大に発生してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−９）の上限値を０．５５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−９）の上限値を０．５３とすることがより好ましい。

【0069】

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−９）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群と第２レンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生する倍率色収差が補正不足になるため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−９）の下限値を０．２０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−９）の下限値を０．３０とすることがより好ましい。

【0070】

また、本願第１発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、前記第３ａレンズ群と、前記第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成されていることが望ましい。この構成により、第３ａレンズ群で球面収差とコマ収差を補正することができ、第３ｃレンズ群で球面収差を補正することができる。したがって、第３レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。また、第３ｂレンズ群の少なくとも一部をシフトレンズ群としたことで、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0071】

本願第１発明の光学装置は、上述した構成の光学系を有することを特徴とする。これにより、小型で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学装置を実現することができる。

【0072】

本願第１発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有するようにし、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにし、前記第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようにし、前記光学系が以下の条件式（１−１）を満足するようにすることを特徴とする。これにより、小型で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。
（１−１）１．７０＜｜ｆＲ／ｆＦ｜＜５．００
ただし、
ｆＲ：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群から前記第３ａレンズ群までの合成焦点距離ｆＦ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離

【0073】

次に、本願第２発明の光学系、光学装置及び光学系の製造方法について説明する。
本願第２発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、以下の条件式（２−１）を満足することを特徴とする。
（２−１） −１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率

【0074】

上記のように本願第２発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動する。この構成により、本願第２発明の光学系は小型軽量化と優れた結像性能を達成することができる。

【0075】

また、上記のように本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動する。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができる。

【0076】

条件式（２−１）は、シフトレンズ群の光軸と直交する方向への移動量に対する像の光軸と直交する方向への移動量である、所謂ブレ係数の適切な範囲を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−１）を満足することにより、球面収差、コマ収差及び像面湾曲を良好に補正でき、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0077】

本願第２発明の光学系の条件式（２−１）の対応値が上限値を上回ると、シフトレンズ群の移動量に対する像の移動量が相対的に小さくなる。これにより、球面収差とコマ収差が補正不足になってしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の上限値を−０．９５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の上限値を−１．００とすることがより好ましい。

【0078】

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−１）の対応値が下限値を下回ると、シフトレンズ群の移動量に対する像の移動量が大きくなり過ぎる。これにより、コマ収差と像面湾曲が悪化してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の下限値を−１．５５とすることがより好ましい。
以上の構成により、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系を実現することができる。

【0079】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいることを特徴とする。この構成により、本願第２発明の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。

【0080】

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

【0081】

また、本願第２発明の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

【0082】

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0083】

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0084】

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0085】

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0086】

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0087】

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0088】

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0089】

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0090】

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0091】

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0092】

なお、本願第２発明の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。

【0093】

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ｂレンズ群が前記シフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、第３ａレンズ群で球面収差とコマ収差を補正することができ、第３ｃレンズ群で球面収差を補正することができる。したがって、第３レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。また、第３ｂレンズ群をシフトレンズ群としたことで、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0094】

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ａレンズ群が正レンズと負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第３ａレンズ群において球面収差とコマ収差を良好に補正でき、本願第２発明の光学系のさらなる高性能化を図ることができる。特に、前記第３ａレンズ群が正の屈折力を有する構成とすることがより望ましい。

【0095】

また、本願第２発明の光学系は、前記シフトレンズ群が、物体側から順に、正レンズと負レンズとの接合レンズと、負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、シフトレンズ群において球面収差を良好に補正することができ、第３レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、レンズシフト時の光学性能の劣化をより良好に抑えることができる。

【0096】

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ａレンズ群の物体側又は像側に開口絞りを有することが望ましい。この構成により、本願第２発明の光学系の屈折力配置を、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群、負の屈折力を有する第２レンズ群、開口絞り、正の屈折力を有する第３レンズ群という対称型に近付けて、像面湾曲と歪曲収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系はさらなる高性能化を図ることができる。

【0097】

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群と、第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ｂレンズ群が前記シフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、以下の条件式（２−２）を満足することが望ましい。
（２−２） −０．４５＜ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＜０．４０
ただし、
ｆ３ａ：前記第３ａレンズ群の焦点距離
ｆ３ｂｃ：無限遠物体合焦時の前記第３ｂレンズ群と前記第３ｃレンズ群の合成焦点距離

【0098】

条件式（２−２）は、第３ａレンズ群の焦点距離と、シフトレンズ群である第３ｂレンズ群と第３ｃレンズ群の合成焦点距離との比の適切な範囲を規定するものである。本願の光学系は、条件式（２−２）を満足することにより、球面収差とコマ収差、及びレンズシフト時のコマ収差の変動を良好に補正できる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0099】

本願第２発明の光学系の条件式（２−２）の対応値が上限値を上回ると、第３ａレンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第３ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差が補正不足になってしまう。また、シフトレンズ群と第３ｃレンズ群の屈折力が相対的に大きくなる。このため、レンズシフト時にコマ収差の変動を抑えることができなくなり、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の上限値を０．３５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の上限値を０．３０とすることがより好ましい。

【0100】

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−２）の対応値が下限値を下回ると、第３ａレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第３ａレンズ群単体で球面収差とコマ収差が多大に発生してしまう。また、シフトレンズ群と第３ｃレンズ群の屈折力が相対的に小さくなる。このため、レンズシフト時にコマ収差が補正不足になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の下限値を−０．４０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の下限値を−０．３５とすることがより好ましい。

【0101】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が最も像側に負レンズを有することが望ましい。この構成により、第１レンズ群単体で球面収差が発生することを抑え、第１レンズ群全体において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0102】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、以下の条件式（２−３）を満足することが望ましい。
（２−３）１．４０＜ｆ１ａ／ｆ１ｂ＜２．０５
ただし、
ｆ１ａ：前記第１ａレンズ群の焦点距離
ｆ１ｂ：前記第１ｂレンズ群の焦点距離

【0103】

条件式（２−３）は、第１ａレンズ群と第１ｂレンズ群の焦点距離比の適切な範囲を規定するものである。本願の光学系は、条件式（２−３）を満足することにより、第１ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0104】

本願第２発明の光学系の条件式（２−３）の対応値が上限値を上回ると、第１ａレンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第１ａレンズ群単体で発生する球面収差とコマ収差が補正不足になってしまう。また、第１ｂレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、合焦時に球面収差の変動を抑えることができなくなるため、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の上限値を２．００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の上限値を１．９５とすることがより好ましい。

【0105】

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−３）の対応値が下限値を下回ると、第１ａレンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１ａレンズ群単体で球面収差とコマ収差が多大に発生してしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の下限値を１．４５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の下限値を１．５０とすることがより好ましい。

【0106】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が、物体側から順に、保護ガラスと、正レンズと、正レンズと、負レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第１ａレンズ群において球面収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0107】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと正レンズとの接合レンズで構成されていることが望ましい。この構成により、第１ｂレンズ群において球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0108】

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ａレンズ群が以下の条件式（２−４）を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することが望ましい。
（２−４）９０＜νｄｐ
ただし、
νｄｐ：前記第１ａレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

【0109】

条件式（２−４）は、第１ａレンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願の光学系は、条件式（２−４）を満足することにより、第１レンズ群単体で軸上色収差と倍率色収差が発生することを抑えることができる。

【0110】

本願第２発明の光学系の条件式（２−４）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群単体で軸上色収差と倍率色収差が多大に発生し、本願第２発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0111】

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が複数の負レンズを有し、前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された負レンズが以下の条件式（２−５）を満足することが望ましい。
（２−５）ｎｄｎ＜１．６５
ただし、
ｎｄｎ：前記第２レンズ群中の前記複数の負レンズのうちで最も像側に配置された前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率

【0112】

条件式（２−５）は、第２レンズ群中の複数の負レンズのうちで最も像側に配置された負レンズの硝材の屈折率を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−５）を満足することにより、第２レンズ群単体で倍率色収差が発生することを抑えることができる。

【0113】

本願第２発明の光学系の条件式（２−５）の対応値が上限値を上回ると、第２レンズ群単体で倍率色収差が多大に発生し、本願第２発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0114】

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が複数の負レンズを有し、前記複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された負レンズが以下の条件式（２−６）を満足することが望ましい。
（２−６）４９．７＜νｄｎ
ただし、
νｄｎ：前記第２レンズ群中の前記複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

【0115】

条件式（２−６）は、第２レンズ群中の複数の負レンズのうちで最も物体側に配置された負レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−６）を満足することにより、第２レンズ群単体で軸上色収差が発生することを抑えることができる。

【0116】

本願第２発明の光学系の条件式（２−６）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群単体で軸上色収差が多大に発生し、本願第２発明の光学系の光学性能が悪化してしまうため好ましくない。

【0117】

また、本願第２発明の光学系は、以下の条件式（２−７）を満足することが望ましい。
（２−７） −３．００＜ｆ１／ｆ２＜−２．００
ただし、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離

【0118】

条件式（２−７）は、第１レンズ群と第２レンズ群の焦点距離比の適切な範囲を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−７）を満足することにより、合焦時にコマ収差の変動を抑え、また第１レンズ群単体で球面収差が発生することを抑えることができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図ることができる。

【0119】

本願第２発明の光学系の条件式（２−７）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群の屈折力が相対的に小さくなる。このため、第１レンズ群がテレ比、即ち本願第２発明の光学系の全長を焦点距離で割った値を小さくすることに寄与できなくなり、本願第２発明の光学系の全長が大きくなってしまう。また、第２レンズ群の屈折力が相対的に大きくなるため、合焦時にコマ収差の変動を抑えることができなくなり、高い光学性能を得ることができなくなってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の上限値を−２．１５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の上限値を−２．３０とすることがより好ましい。

【0120】

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−７）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１レンズ群単体で球面収差が多大に発生してしまう。また、第２レンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、合焦時の第２レンズ群の移動量が多大になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の下限値を−２．８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の下限値を−２．７０とすることがより好ましい。

【0121】

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が、物体側から順に、像側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと負レンズとの接合レンズとから構成されていることが望ましい。この構成により、第２レンズ群においてコマ収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図りながら、合焦時の光学性能の劣化を抑えることができる。

【0122】

また、本願第２発明の光学系は、以下の条件式（２−８）を満足することが望ましい。
（２−８）０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

【0123】

条件式（２−８）は、本願第２発明の光学系の焦点距離と第１レンズ群と第２レンズ群の合成焦点距離との比の適切な範囲を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−８）を満足することにより、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生するコマ収差と倍率色収差を良好に補正することができる。これにより、本願第２発明の光学系は、さらなる高性能化を図ることができる。

【0124】

本願第２発明の光学系の条件式（２−８）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群と第２レンズ群の屈折力が相対的に大きくなり、第１レンズ群及び第２レンズ群でコマ収差が多大に発生してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の上限値を０．５５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の上限値を０．５３とすることがより好ましい。

【0125】

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−８）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群と第２レンズ群の屈折力が相対的に小さくなり、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生する倍率色収差が補正不足になるため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の下限値を０．２０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の下限値を０．３０とすることがより好ましい。

【0126】

本願第２発明の光学装置は、上述した構成の光学系を有することを特徴とする。これにより、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学装置を実現することができる。

【0127】

本願第２発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにし、前記第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようにし、前記光学系が以下の条件式（２−１）を満足するようにすることを特徴とする。これにより、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系を製造することができる。
（２−１） −１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
ただし、
βｓ：前記シフトレンズ群の横倍率
βｒ：前記シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率

【0128】

以下、本願第１及び第２発明の数値実施例に係る光学系を添付図面に基づいて説明する。
（第１及び第２発明の第１実施例）
図１は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0129】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

【0130】

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

【0131】

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

【0132】

本実施例に係る光学系は、第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４）と、第３レンズ群Ｇ３の両凸形状の正レンズＬ３６の物体側レンズ面（面番号２７）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0133】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群（防振レンズ群）として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
なお、像面Ｉ上には、ＣＣＤやＣＭＯＳ等で構成された不図示の撮像素子が配置される。これは後述する各実施例においても同様である。

【0134】

以下の表１に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
表１において、ｆは焦点距離、Ｂｆはバックフォーカス（フィルタＦＬと像面Ｉとの光軸上の距離）を示す。
[面データ]において、面番号は物体側から数えた光学面の順番、ｒは曲率半径、ｄは面間隔（第n面（nは整数）と第n+1面との間隔）、ｎｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率、νｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数をそれぞれ示している。また、物面は物体面、可変は可変の面間隔、絞りＳは開口絞りＳ、像面は像面Ｉをそれぞれ示している。なお、曲率半径ｒ＝∞は平面を示している。また、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000の記載は省略している。

【0135】

［各種データ］において、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角（単位は「°」）、Ｙは像高、ＴＬは本実施例に係る光学系の全長（第１面から像面Ｉまでの光軸上の距離）、dnは第n面と第n+1面との可変の間隔をそれぞれ示す。なお、βは撮影倍率、ｄ0は物体から第１面までの距離を示す。
［レンズ群データ］には、各レンズ群の始面と焦点距離を示す。
［条件式対応値］には、第１及び第２発明の本実施例に係る光学系の各条件式の対応値を示す。

【0136】

ここで、表１に掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径ｒ及びその他の長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われる。しかしながら光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるため、これに限られるものではない。
なお、以上に述べた表１の符号は、後述する各実施例の表においても同様に用いるものとする。

【0137】

（表１）第１及び第２発明の第１実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 208.5821 17.50 1.43385 95.25
4 -1176.6338 45.00
5 180.4147 18.00 1.43385 95.25
6 -380.1711 3.00
7 -348.9527 6.00 1.61266 44.46
8 384.9936 90.00
9 67.5463 4.00 1.79500 45.31
10 46.6351 15.00 1.49782 82.57
11 1089.9704 可変

12 -1616.0869 2.50 1.77250 49.62
13 118.0496 3.35
14 -285.3999 3.50 1.84666 23.80
15 -87.3702 2.40 1.51823 58.82
16 63.6357 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 84.6009 8.00 1.48749 70.31
19 -63.3175 0.60
20 -66.2548 1.90 1.84666 23.80
21 -116.1778 5.00
22 433.7902 3.50 1.84666 23.80
23 -123.0826 1.90 1.59319 67.90
24 51.3275 3.60
25 -293.4310 1.90 1.75500 52.34
26 110.9976 4.00
27 130.2260 3.50 1.77250 49.62
28 -326.0207 0.10
29 67.6197 4.50 1.64000 60.20
30 -391.1361 1.90 1.84666 23.80
31 276.0025 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 396.95
Ｂｆ 71.551

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.003 -0.173
ｄ0 ∞ 2201.931
ｄ11 19.530 34.930
ｄ16 36.219 20.820
Ｂｆ 71.551 71.575

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 179.9884
2 12 -67.9431
3 18 163.6612

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 322.0136
ｆＲ＝ -760.8459
ｆ＝ 392.0028
ｆ１＝ 179.9884
ｆ１ａ＝ 355.6752
ｆ１ｂ＝ 194.3600
ｆ２＝ -67.9431
ｆ１２＝ 1030.4247
ｆ３ａ＝ 125.9727
ｆ３ｂｃ＝ -760.8459
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51823
νｄｎ＝ 58.82
βｓ＝ -4.8884
βｒ＝ -0.2490
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.3628
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4664
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1656
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8300
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.51823
（１−７） νｄｎ＝ 58.82
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.6491
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.3804

（第２発明）
ｆ＝ 392.0028
ｆ１＝ 179.9884
ｆ１ａ＝ 355.6752
ｆ１ｂ＝ 194.3600
ｆ２＝ -67.9431
ｆ１２＝ 1030.4247
ｆ３ａ＝ 125.9727
ｆ３ｂｃ＝ -760.8459
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51823
νｄｎ＝ 58.82
βｓ＝ -4.8884
βｒ＝ -0.2490
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4664
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1656
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8300
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.51823
（２−６） νｄｎ＝ 58.82
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.6491
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.3804

【0138】

図２（ａ）、及び図２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図３は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図３におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．４０ｍｍである。

【0139】

各収差図において、ＦＮＯはＦナンバー、Ｙは像高をそれぞれ示す。ｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）、ｇはｇ線（波長４３５．８ｎｍ）における収差をそれぞれ示す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示す。コマ収差図は、各像高Ｙにおけるコマ収差を示す。なお、後述する各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用いる。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0140】

ここで、本実施例に係る光学系においてゴーストやフレアが発生する原因について説明する。
図３０は、本実施例に係る光学系に入射した光線が第１番目の反射面と第２番目の反射面で反射して像面Ｉにゴーストやフレアを形成する様子の一例を示す図である。
図３０において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系に入射すると、光線ＢＭの一部は第３レンズ群Ｇ３における両凸形状の正レンズＬ３６の物体側レンズ面（面番号２７、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第１番目の反射面）で反射され、さらに第３レンズ群Ｇ３における両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第２番目の反射面）で再度反射され、最終的に像面Ｉに到達してゴーストやフレアを発生させてしまう。なお、前記第１番目の反射面は像面側から見て凹形状のレンズ面、前記第２番目の反射面は像面側から見て凹形状のレンズ面である。
そこで本実施例に係る光学系は、斯かるレンズ面に広い波長範囲で広い入射角の光線に対応した反射防止膜を形成することで、反射光の発生を抑え、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

【0141】

（第１及び第２発明の第２実施例）
図４は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0142】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

【0143】

【0144】

【0145】

本実施例に係る光学系は、第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0146】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表２に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0147】

（表２）第１及び第２発明の第２実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 205.7091 17.50 1.43385 95.25
4 -1134.8251 45.00
5 173.6014 18.00 1.43385 95.25
6 -417.4854 3.07
7 -374.6983 6.00 1.61266 44.46
8 347.6771 90.00
9 66.1559 4.00 1.79500 45.31
10 45.7808 15.00 1.49782 82.57
11 874.9561 可変

12 -2545.8867 2.50 1.77250 49.62
13 114.9779 3.35
14 -271.4306 3.50 1.84666 23.80
15 -87.3926 2.40 1.51823 58.82
16 63.5469 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 87.7161 7.60 1.48749 70.31
19 -64.5076 1.20
20 -66.7841 1.90 1.84666 23.80
21 -116.0392 5.00
22 325.4187 3.50 1.84666 23.80
23 -134.7294 1.90 1.59319 67.90
24 52.9625 3.60
25 -331.8219 1.90 1.75500 52.34
26 98.9972 4.00
27 117.6253 3.50 1.77250 49.62
28 -402.3365 0.10
29 67.6197 4.50 1.64000 60.20
30 -391.1361 1.90 1.84666 23.80
31 264.8450 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 391.99
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.29
Ｙ 21.63
ＴＬ 397.00
Ｂｆ 71.300

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 391.991 -0.174
ｄ0 ∞ 2203.000
ｄ11 18.344 33.670
ｄ16 37.438 22.112
Ｂｆ 71.300 71.300

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 179.8867
2 12 -67.1696
3 18 160.1914

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 331.5552
ｆＲ＝ -976.6517
ｆ＝ 391.9914
ｆ１＝ 179.8867
ｆ１ａ＝ 354.4332
ｆ１ｂ＝ 193.1145
ｆ２＝ -67.1696
ｆ１２＝ 1088.5976
ｆ３ａ＝ 129.0469
ｆ３ｂｃ＝ -976.6517
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51823
νｄｎ＝ 58.82
βｓ＝ -4.6800
βｒ＝ -0.2526
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.9457
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4349
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1321
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8354
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.51823
（１−７） νｄｎ＝ 58.82
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.6781
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.3601

（第２発明）
ｆ＝ 391.9914
ｆ１＝ 179.8867
ｆ１ａ＝ 354.4332
ｆ１ｂ＝ 193.1145
ｆ２＝ -67.1696
ｆ１２＝ 1088.5976
ｆ３ａ＝ 129.0469
ｆ３ｂｃ＝ -976.6517
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51823
νｄｎ＝ 58.82
βｓ＝ -4.6800
βｒ＝ -0.2526
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4349
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1321
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8354
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.51823
（２−６） νｄｎ＝ 58.82
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.6781
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.3601

【0148】

図５（ａ）、及び図５（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図６は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図６におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．４０ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0149】

（第１及び第２発明の第３実施例）
図７は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0150】

【0151】

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

【0152】

【0153】

本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１５の像面側レンズ面（面番号１１）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0154】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表３に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0155】

（表３）第１及び第２発明の第３実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 207.0795 17.50 1.43384 95.26
4 -1127.5309 44.90
5 175.9698 18.00 1.43384 95.26
6 -397.2708 3.07
7 -360.2396 6.00 1.61266 44.46
8 353.1837 90.00
9 66.4844 4.00 1.79500 45.32
10 45.9182 15.00 1.49782 82.54
11 1114.1067 可変

12 2992.5492 2.50 1.75500 52.34
13 118.0399 3.35
14 -241.6942 3.50 1.84668 23.83
15 -86.4136 2.40 1.53996 59.52
16 64.2643 可変

17(絞りＳ) ∞ 1.50

18 90.0336 7.60 1.48749 70.43
19 -63.8039 1.20
20 -65.9768 1.90 1.84668 23.83
21 -114.8763 5.00
22 300.3587 3.50 1.84668 23.83
23 -128.0558 1.90 1.59319 67.94
24 53.9004 3.10
25 -347.5421 1.90 1.75500 52.33
26 94.5337 4.19
27 118.3533 3.50 1.77250 49.68
28 -384.3825 0.10
29 67.4622 4.50 1.64000 60.14
30 -340.4206 1.90 1.84668 23.83
31 246.6417 6.50

32 ∞ 1.50 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.89
２ω 6.28
Ｙ 21.63
ＴＬ 396.91
Ｂｆ 74.220

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2203.010
ｄ11 18.503 33.773
ｄ16 38.179 22.909
Ｂｆ 74.220 73.906

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 179.1160
2 12 -67.4099
3 18 162.8784

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 332.9301
ｆＲ＝ -963.3744
ｆ＝ 392.0000
ｆ１＝ 179.1160
ｆ１ａ＝ 358.2095
ｆ１ｂ＝ 190.5264
ｆ２＝ -67.4099
ｆ１２＝ 1061.9447
ｆ３ａ＝ 131.3711
ｆ３ｂｃ＝ -963.3744
νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
ｎｄｎ＝ 1.53996
νｄｎ＝ 59.52
βｓ＝ -4.9878
βｒ＝ -0.2361
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.8936
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4135
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1364
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8801
（１−５） νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.53996
（１−７） νｄｎ＝ 59.52
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.6571
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.3691

（第２発明）
ｆ＝ 392.0000
ｆ１＝ 179.1160
ｆ１ａ＝ 358.2095
ｆ１ｂ＝ 190.5264
ｆ２＝ -67.4099
ｆ１２＝ 1061.9447
ｆ３ａ＝ 131.3711
ｆ３ｂｃ＝ -963.3744
νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
ｎｄｎ＝ 1.53996
νｄｎ＝ 59.52
βｓ＝ -4.9878
βｒ＝ -0.2361
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4135
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1364
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8801
（２−４） νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.53996
（２−６） νｄｎ＝ 59.52
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.6571
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.3691

【0156】

図８（ａ）、及び図８（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図９は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．４３ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0157】

（第１及び第２発明の第４実施例）
図１０は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0158】

【0159】

【0160】

【0161】

本実施例に係る光学系は、第２レンズ群Ｇ２の負メニスカスレンズＬ２１の像面側レンズ面（面番号１３）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0162】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表４に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0163】

（表４）第１及び第２発明の第４実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 210.9074 17.50 1.43384 95.26
4 -1135.2477 44.90
5 173.4175 18.00 1.43384 95.26
6 -413.8140 3.07
7 -375.4223 6.00 1.61266 44.46
8 358.4435 90.00
9 66.9574 4.00 1.79500 45.32
10 46.1708 15.00 1.49782 82.54
11 1030.2823 可変

12 10236.2589 2.50 1.77250 49.68
13 110.7581 3.35
14 -289.4383 3.50 1.84668 23.83
15 -96.1712 2.40 1.51680 63.88
16 65.0724 可変

17(絞りＳ) ∞ 1.50

18 86.8540 7.60 1.48749 70.43
19 -62.9408 1.20
20 -65.5511 1.90 1.84668 23.83
21 -118.4244 5.00
22 300.3217 3.50 1.84668 23.83
23 -128.4546 1.90 1.59319 67.94
24 53.9974 3.10
25 -348.7023 1.90 1.75500 52.33
26 93.3844 4.19
27 119.2828 3.50 1.77250 49.68
28 -375.3153 0.10
29 68.1234 4.50 1.64000 60.14
30 -426.6037 1.90 1.84668 23.83
31 243.3294 6.50

32 ∞ 1.50 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.89
２ω 6.28
Ｙ 21.63
ＴＬ 396.91
Ｂｆ 74.220

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.174
ｄ0 ∞ 2203.010
ｄ11 18.503 33.773
ｄ16 38.179 22.909
Ｂｆ 74.220 74.374

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 179.5793
2 12 -68.1638
3 18 164.8495

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 330.4625
ｆＲ＝ -882.8393
ｆ＝ 392.0002
ｆ１＝ 179.5793
ｆ１ａ＝ 354.4299
ｆ１ｂ＝ 193.6583
ｆ２＝ -68.1638
ｆ１２＝ 1047.8286
ｆ３ａ＝ 131.2421
ｆ３ｂｃ＝ -882.8393
νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51680
νｄｎ＝ 63.88
βｓ＝ -5.0707
βｒ＝ -0.2339
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.6715
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4202
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1487
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8302
（１−５） νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.51680
（１−７） νｄｎ＝ 63.88
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.6345
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.3741

（第２発明）
ｆ＝ 392.0002
ｆ１＝ 179.5793
ｆ１ａ＝ 354.4299
ｆ１ｂ＝ 193.6583
ｆ２＝ -68.1638
ｆ１２＝ 1047.8286
ｆ３ａ＝ 131.2421
ｆ３ｂｃ＝ -882.8393
νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51680
νｄｎ＝ 63.88
βｓ＝ -5.0707
βｒ＝ -0.2339
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4202
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1487
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.8302
（２−４） νｄｐ＝ 95.26(L11), 95.26(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.51680
（２−６） νｄｎ＝ 63.88
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.6345
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.3741

【0164】

図１１（ａ）、及び図１１（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図１２は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図１２におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．４３ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0165】

（第１及び第２発明の第５実施例）
図１３は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0166】

【0167】

【0168】

【0169】

本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１２の像面側レンズ面（面番号６）と、第１レンズ群Ｇ１の両凹形状の負レンズＬ１３の物体側レンズ面（面番号７）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0170】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表５に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0171】

（表５）第１及び第２発明の第５実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 237.4785 15.50 1.43385 95.25
4 -1507.8850 45.00
5 198.3323 19.00 1.43385 95.25
6 -342.1796 3.00
7 -327.8324 6.00 1.61266 44.46
8 772.9939 93.00
9 70.7391 5.40 1.79952 42.09
10 47.9832 16.00 1.49782 82.57
11 1681.9346 可変

12 -2709.1390 3.00 1.77250 49.62
13 136.3998 3.50
14 -487.1729 4.00 1.84666 23.80
15 -108.0510 2.50 1.51742 52.20
16 59.4298 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 228.1074 5.25 1.59319 67.90
19 -85.4981 0.60
20 -124.4314 1.90 2.00069 25.46
21 -295.5719 3.85
22 294.4912 3.30 1.84666 23.80
23 -171.7558 1.90 1.59319 67.90
24 54.4393 4.05
25 -281.8305 1.90 1.69680 55.52
26 152.6451 2.94
27 104.2002 3.00 1.77250 49.62
28 -1538.2155 0.10
29 71.9218 4.80 1.57957 53.74
30 -155.3605 1.90 1.84666 23.80
31 1092.5548 11.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 391.99
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 399.38
Ｂｆ 70.081

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 391.990 -0.172
ｄ0 ∞ 2203.007
ｄ11 16.500 31.900
ｄ16 40.401 25.001
Ｂｆ 70.081 70.033

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 177.7760
2 12 -73.1720
3 18 187.9179

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 393.5513
ｆＲ＝ 1215.0131
ｆ＝ 391.9899
ｆ１＝ 177.7760
ｆ１ａ＝ 340.8186
ｆ１ｂ＝ 201.6693
ｆ２＝ -73.1720
ｆ１２＝ 774.8291
ｆ３ａ＝ 204.7509
ｆ３ｂｃ＝ 1215.0131
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51742
νｄｎ＝ 52.20
βｓ＝ -5.2108
βｒ＝ -0.1912
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 3.0873
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.1872
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ 0.1685
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.6900
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.51742
（１−７） νｄｎ＝ 52.20
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.4296
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.5059

（第２発明）
ｆ＝ 391.9899
ｆ１＝ 177.7760
ｆ１ａ＝ 340.8186
ｆ１ｂ＝ 201.6693
ｆ２＝ -73.1720
ｆ１２＝ 774.8291
ｆ３ａ＝ 204.7509
ｆ３ｂｃ＝ 1215.0131
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.51742
νｄｎ＝ 52.20
βｓ＝ -5.2108
βｒ＝ -0.1912
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.1872
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ 0.1685
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.6900
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.51742
（２−６） νｄｎ＝ 52.20
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.4296
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.5059

【0172】

図１４（ａ）、及び図１４（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図１５は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図１５におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．６８ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0173】

（第１及び第２発明の第６実施例）
図１６は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0174】

【0175】

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

【0176】

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

【0177】

本実施例に係る光学系は、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の物体側レンズ面（面番号１４）に、後述する反射防止膜が形成されている。

【0178】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表６に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0179】

（表６）第１及び第２発明の第６実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.50
3 217.9147 15.50 1.43385 95.25
4 -2272.2650 45.00
5 191.4672 18.50 1.43385 95.25
6 -388.7337 3.24
7 -366.9736 6.00 1.61266 44.46
8 692.0557 90.02
9 65.4296 5.20 1.80610 40.97
10 45.0727 15.00 1.49782 82.57
11 760.0090 可変

12 2386.5723 2.50 1.81600 46.59
13 64.7944 6.50
14 -159.3202 4.50 1.80809 22.74
15 -67.3666 2.00 1.61772 49.81
16 -4529.1486 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 128.3829 8.00 1.59319 67.90
19 -58.5025 0.60
20 -58.7397 1.90 1.79504 28.69
21 -122.7539 5.79
22 -216.6393 3.30 1.84666 23.80
23 -61.9303 1.90 1.59319 67.90
24 59.0225 3.00
25 728.9238 1.90 1.81600 46.59
26 93.0674 4.00
27 141.2086 3.00 1.77250 49.62
28 -1505.6719 0.15
29 69.4894 4.80 1.74320 49.26
30 -136.7089 1.90 1.84666 23.80
31 672.4408 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 400.00
Ｂｆ 71.300

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2200.000
ｄ11 17.463 31.763
ｄ16 37.536 23.236
Ｂｆ 71.300 71.260

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 172.5113
2 12 -69.4949
3 18 175.8293

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 315.0175
ｆＲ＝ -754.0300
ｆ＝ 391.9996
ｆ１＝ 172.5113
ｆ１ａ＝ 329.5860
ｆ１ｂ＝ 194.9749
ｆ２＝ -69.4949
ｆ１２＝ 859.4613
ｆ３ａ＝ 130.1736
ｆ３ｂｃ＝ -754.0300
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.61772
νｄｎ＝ 49.81
βｓ＝ -4.6014
βｒ＝ -0.2704
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.3936
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5148
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1726
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.6904
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.61772
（１−７） νｄｎ＝ 49.81
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.4824
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.4561

（第２発明）
ｆ＝ 391.9996
ｆ１＝ 172.5113
ｆ１ａ＝ 329.5860
ｆ１ｂ＝ 194.9749
ｆ２＝ -69.4949
ｆ１２＝ 859.4613
ｆ３ａ＝ 130.1736
ｆ３ｂｃ＝ -754.0300
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.61772
νｄｎ＝ 49.81
βｓ＝ -4.6014
βｒ＝ -0.2704
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5148
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1726
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.6904
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.61772
（２−６） νｄｎ＝ 49.81
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.4824
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.4561

【0180】

図１７（ａ）、及び図１７（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図１８は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図１８におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．３５ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0181】

（第１及び第２発明の第７実施例）
図１９は、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0182】

【0183】

【0184】

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

【0185】

【0186】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表７に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0187】

（表７）第１及び第２発明の第７実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 205.8380 17.50 1.43385 95.25
4 -3344.1817 45.00
5 195.7037 18.50 1.43385 95.25
6 -339.8777 3.00
7 -326.8303 6.00 1.61266 44.46
8 717.5240 90.00
9 66.8199 5.00 1.79952 42.09
10 45.8756 14.00 1.49782 82.57
11 533.8513 可変

12 -1418.6433 2.50 1.80100 34.92
13 69.1598 5.00
14 -669.4067 4.50 1.84666 23.80
15 -70.8153 2.00 1.69680 55.52
16 269.4654 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 111.8330 8.00 1.59319 67.90
19 -67.7933 0.60
20 -69.4674 1.90 1.79504 28.69
21 -144.5287 7.60
22 -307.1811 3.30 1.84666 23.80
23 -70.7922 1.90 1.59319 67.90
24 58.1065 3.00
25 2403.0294 1.90 1.75500 52.34
26 93.8065 4.00
27 118.1336 3.00 1.77250 49.62
28 -440.5940 0.10
29 66.8592 4.80 1.77250 49.62
30 -269.8337 1.90 1.84666 23.80
31 146.9087 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.93
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 400.89
Ｂｆ 71.811

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 391.998 -0.174
ｄ0 ∞ 2203.000
ｄ11 17.408 32.808
ｄ16 37.666 22.266
Ｂｆ 71.811 71.696

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 179.2995
2 12 -71.1930
3 18 172.8661

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 309.4988
ｆＲ＝ -531.9883
ｆ＝ 391.9977
ｆ１＝ 179.2995
ｆ１ａ＝ 329.8985
ｆ１ｂ＝ 210.3126
ｆ２＝ -71.1930
ｆ１２＝ 993.1645
ｆ３ａ＝ 123.9352
ｆ３ｂｃ＝ -531.9883
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69680
νｄｎ＝ 55.52
βｓ＝ -5.1022
βｒ＝ -0.2482
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 1.7189
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5148
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.2330
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5686
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.69680
（１−７） νｄｎ＝ 55.52
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.5185
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.3947

（第２発明）
ｆ＝ 391.9977
ｆ１＝ 179.2995
ｆ１ａ＝ 329.8985
ｆ１ｂ＝ 210.3126
ｆ２＝ -71.1930
ｆ１２＝ 993.1645
ｆ３ａ＝ 123.9352
ｆ３ｂｃ＝ -531.9883
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69680
νｄｎ＝ 55.52
βｓ＝ -5.1022
βｒ＝ -0.2482
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5148
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.2330
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5686
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.69680
（２−６） νｄｎ＝ 55.52
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.5185
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.3947

【0188】

図２０（ａ）、及び図２０（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図２１は、本願第１及び第２発明の第７実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図２１におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．３５ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0189】

（第１及び第２発明の第８実施例）
図２２は、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0190】

【0191】

【0192】

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

【0193】

【0194】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表８に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0195】

（表８）第１及び第２発明の第８実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.50
3 232.9803 15.50 1.43385 95.25
4 -1439.6122 45.00
5 181.4353 18.50 1.43385 95.25
6 -403.8411 3.27
7 -381.3927 6.00 1.61266 44.46
8 616.0014 91.44
9 68.9182 5.40 1.80610 40.97
10 47.0662 15.50 1.49782 82.57
11 783.4341 可変

12 -1054.8550 2.50 1.80100 34.92
13 73.2883 5.00
14 -1414.1001 4.50 1.84666 23.80
15 -76.6008 2.00 1.69100 54.93
16 209.5153 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 158.0460 8.00 1.59319 67.90
19 -62.8829 0.60
20 -64.4824 1.90 1.79504 28.69
21 -131.7441 7.60
22 -544.1422 3.30 1.84666 23.80
23 -78.4731 1.90 1.59319 67.90
24 60.2986 4.15
25 -1406.4760 1.90 1.75500 52.34
26 91.4315 4.00
27 97.5172 3.00 1.77250 49.62
28 -457.9700 0.50
29 73.3485 4.80 1.74400 44.81
30 -160.3113 1.90 1.84666 23.80
31 190.4630 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.28
Ｙ 21.63
ＴＬ 400.00
Ｂｆ 71.30

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2200.000
ｄ11 15.740 31.040
ｄ16 35.300 20.000
Ｂｆ 71.300 71.300

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 177.9658
2 12 -72.7082
3 18 181.1444

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 332.3433
ｆＲ＝ -1237.2508
ｆ＝ 392.0000
ｆ１＝ 177.9658
ｆ１ａ＝ 326.9111
ｆ１ｂ＝ 208.4317
ｆ２＝ -72.7082
ｆ１２＝ 870.7966
ｆ３ａ＝ 145.4495
ｆ３ｂｃ＝ -1237.2508
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69100
νｄｎ＝ 54.93
βｓ＝ -3.8225
βｒ＝ -0.3086
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 3.7228
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4881
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1176
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5684
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.69100
（１−７） νｄｎ＝ 54.93
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.4477
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.4502

（第２発明）
ｆ＝ 392.0000
ｆ１＝ 177.9658
ｆ１ａ＝ 326.9111
ｆ１ｂ＝ 208.4317
ｆ２＝ -72.7082
ｆ１２＝ 870.7966
ｆ３ａ＝ 145.4495
ｆ３ｂｃ＝ -1237.2508
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69100
νｄｎ＝ 54.93
βｓ＝ -3.8225
βｒ＝ -0.3086
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.4881
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1176
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5684
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.69100
（２−６） νｄｎ＝ 54.93
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.4477
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.4502

【0196】

図２３（ａ）、及び図２３（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図２４は、本願第１及び第２発明の第８実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図２４におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．３５ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0197】

（第１及び第２発明の第９実施例）
図２５は、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

【0198】

【0199】

【0200】

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３８との接合レンズとからなる。

【0201】

【0202】

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。なお、合焦時、開口絞りＳの位置は像面Ｉに対して固定である。また、本実施例に係る光学系の近距離物体合焦時の撮影距離は２．６ｍである。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂをシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むようにシフトさせることにより防振を行う。
以下の表９に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

【0203】

（表９）第１及び第２発明の第９実施例
[面データ]
面番号ｒｄｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.50
3 223.9540 15.50 1.43385 95.25
4 -5879.6456 45.00
5 188.6739 18.50 1.43385 95.25
6 -344.9762 3.24
7 -334.2849 6.00 1.61266 44.46
8 1087.7540 90.02
9 66.7379 5.20 1.80610 40.97
10 45.7359 15.00 1.49782 82.57
11 678.5295 可変

12 -1447.2643 2.50 1.80100 34.92
13 63.6827 5.00
14 -302.0700 4.50 1.84666 23.80
15 -62.4763 2.00 1.69100 54.93
16 764.0825 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 125.7848 8.00 1.59319 67.90
19 -59.6174 0.60
20 -60.3570 1.90 1.79504 28.69
21 -122.9210 5.79
22 -208.0839 3.30 1.84666 23.80
23 -61.6159 1.90 1.59319 67.90
24 57.2685 3.00
25 880.2836 1.90 1.81600 46.59
26 100.1330 4.00
27 123.7087 3.00 1.77250 49.62
28 1021.0401 0.15
29 75.9029 4.80 1.74320 49.26
30 -107.4055 1.90 1.84666 23.80
31 -5070.3090 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 400.00
Ｂｆ 71.300

無限遠物体合焦時近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2200.000
ｄ11 17.726 32.026
ｄ16 38.772 24.472
Ｂｆ 71.300 71.381

［レンズ群データ］
群始面ｆ
1 1 172.5113
2 12 -69.4949
3 18 175.8293

［条件式対応値］
（第１発明）
ｆＦ＝ 308.6113
ｆＲ＝ -645.0699
ｆ＝ 391.9996
ｆ１＝ 172.5113
ｆ１ａ＝ 318.0791
ｆ１ｂ＝ 203.8595
ｆ２＝ -69.4949
ｆ１２＝ 859.4613
ｆ３ａ＝ 126.0854
ｆ３ｂｃ＝ -645.0699
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69100
νｄｎ＝ 54.93
βｓ＝ -5.1901
βｒ＝ -0.2447
（１−１）｜ｆＲ／ｆＦ｜＝ 2.0902
（１−２） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5150
（１−３）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1955
（１−４）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5603
（１−５） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（１−６）ｎｄｎ＝ 1.69100
（１−７） νｄｎ＝ 54.93
（１−８）ｆ１／ｆ２＝ -2.4824
（１−９）ｆ／ｆ１２＝ 0.4561

（第２発明）
ｆ＝ 391.9996
ｆ１＝ 172.5113
ｆ１ａ＝ 318.0791
ｆ１ｂ＝ 203.8595
ｆ２＝ -69.4949
ｆ１２＝ 859.4613
ｆ３ａ＝ 126.0854
ｆ３ｂｃ＝ -645.0699
νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
ｎｄｎ＝ 1.69100
νｄｎ＝ 54.93
βｓ＝ -5.1901
βｒ＝ -0.2447
（２−１） βｒ×（１−βｓ）＝ -1.5150
（２−２）ｆ３ａ／ｆ３ｂｃ＝ -0.1955
（２−３）ｆ１ａ／ｆ１ｂ＝ 1.5603
（２−４） νｄｐ＝ 95.25(L11), 95.25(L12)
（２−５）ｎｄｎ＝ 1.69100
（２−６） νｄｎ＝ 54.93
（２−７）ｆ１／ｆ２＝ -2.4824
（２−８）ｆ／ｆ１２＝ 0.4561

【0204】

図２６（ａ）、及び図２６（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
また、図２７は、本願第１及び第２発明の第９実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時にレンズシフトした際のコマ収差図である。なお、図２７におけるシフトレンズ群の光軸と直交する方向へのシフト量は１．３５ｍｍである。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらにレンズシフト時にも優れた結像性能を有していることがわかる。

【0205】

ここで、本願第１及び第２発明の実施形態に係る光学系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図３１は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。

【0206】

そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。

【0207】

このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ａ）に示す。

【0208】

（ａ）２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ

【0209】

この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。

【0210】

このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図３２に示す分光特性を用いて説明する。

【0211】

本願第１及び第２発明の実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表１０に示す条件で形成されている。ここで表１０は、基準波長をλとし、基板（光学部材）の屈折率が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表１０では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。

【0212】

（表１０）
物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚
媒質空気 1
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85

【0213】

図３２は、表１０において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。

【0214】

図３２から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表１０において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図３２に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。

【0215】

次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表１０と同様、以下の表１１で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。

【0216】

（表１１）
物質屈折率光学膜厚光学膜厚
媒質空気 1
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52

【0217】

図３３は、表１１において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図３３から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表１１において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図３３に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。

【0218】

図３４は、図３３に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図３３、図３４には表１１に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。

【0219】

また比較のため、図３５に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図３６は、表１１と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表１２で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図３６は、図３５に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。

【0220】

（表１２）
物質屈折率光学膜厚
媒質空気 1
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52

【0221】

図３２〜図３４で示される本願第１及び第２発明の実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図３５および図３６で示される従来例の分光特性と比較すると、本実施形態に係る反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。

【0222】

次に、本願第１及び第２発明の第１実施例から第９実施例に、上記表１０および表１１に示す反射防止膜を適用した例について説明する。

【0223】

本願第１及び第２発明の第１実施例の光学系において、
第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の屈折率は、
表１に示すように、
ｎｄ＝１．５９３１９であり、
第３レンズ群Ｇ３の両凸形状の正レンズＬ３６の屈折率は、
ｎｄ＝１．７７２５０であるため、
両凹形状の負レンズＬ３４における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用い、
両凸形状の正レンズＬ３６における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0224】

本願第１及び第２発明の第２実施例の光学系において、
第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の屈折率は、
表２に示すように、
ｎｄ＝１．５９３１９であるため、
両凹形状の負レンズＬ３４における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0225】

本願第１及び第２発明の第３実施例の光学系において、
第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１５の屈折率は、
表３に示すように、
ｎｄ＝１．４９７８２であるため、
正メニスカスレンズＬ１５における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜１０１（表１０参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0226】

本願第１及び第２発明の第４実施例の光学系において、
第２レンズ群Ｇ２の負メニスカスレンズＬ２１の屈折率は、
表４に示すように、
ｎｄ＝１．７７２５０であるため、
負メニスカスレンズＬ２１における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0227】

本願第１及び第２発明の第５実施例の光学系において、
第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１２の屈折率は、
表５に示すように、
ｎｄ＝１．４３３８５であり、
第１レンズ群Ｇ１の両凹形状の負レンズＬ１３の屈折率は、
ｎｄ＝１．６１２６６であるため、
両凸形状の正レンズＬ１２における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜１０１（表１０参照）を用い、
両凹形状の負レンズＬ１３における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0228】

本願第１及び第２発明の第６実施例の光学系において、
第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、
表６に示すように、
ｎｄ＝１．８０８０９であるため、
正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に
基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0229】

本願第１及び第２発明の第７実施例の光学系において、
第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の屈折率は、
表７に示すように、
ｎｄ＝１．５９３１９であり、
第３レンズ群Ｇ３の両凸形状の正レンズＬ３６の屈折率は、
ｎｄ＝１．７７２５０であるため、
両凹形状の負レンズＬ３４における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用い、
両凸形状の正レンズＬ３６における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0230】

本願第１及び第２発明の第８実施例の光学系において、
第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１２の屈折率は、
表８に示すように、
ｎｄ＝１．４３３８５であり、
第１レンズ群Ｇ１の両凹形状の負レンズＬ１３の屈折率は、
ｎｄ＝１．６１２６６であるため、
両凸形状の正レンズＬ１２における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜１０１（表１０参照）を用い、
両凹形状の負レンズＬ１３における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0231】

本願第１及び第２発明の第９実施例の光学系において、
第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、
表９に示すように、
ｎｄ＝１．８４６６６であるため、
正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に
基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表１１参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

【0232】

上記第１発明の各実施例によれば、小型軽量で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系を実現することができる。特に、上記第１発明の各実施例に係る光学系は、４〜９度の画角を有し、レンズシフト時の光学性能の劣化を抑えることもできる。
また、上記第２発明の各実施例によれば、４〜９度の画角を有し、小型軽量で、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系を実現することができる。
なお、上記各実施例は本願発明の一具体例を示しているものであり、本願発明はこれらに限定されるものではない。以下の内容は、本願の光学系の光学性能を損なわない範囲で適宜採用することが可能である。

【0233】

本願の光学系の数値実施例として３群構成のものを示したが、本願はこれに限られず、その他の群構成（例えば、４群や５群等）の光学系を構成することもできる。具体的には、本願の光学系の最も物体側や最も像側にレンズ又はレンズ群を追加した構成でも構わない。なお、上記各実施例に係る光学系は、第１レンズ群中の最も物体側に保護フィルタガラスを備えているが、これを備えない構成としてもよい。

【0234】

また、本願の光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦を行うために、レンズ群の一部、１つのレンズ群全体、或いは複数のレンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させる構成としてもよい。特に、第２レンズ群の少なくとも一部を合焦レンズ群とすることが好ましい。斯かる合焦レンズ群は、オートフォーカスに適用することも可能であり、オートフォーカス用のモータ、例えば超音波モータ等による駆動にも適している。

【0235】

また、本願の光学系において、いずれかのレンズ群全体又はその一部を、防振レンズ群として光軸に対して垂直な方向の成分を含むように移動させ、又は光軸を含む面内方向へ回転移動（揺動）させることにより、防振を行う構成とすることもできる。特に、本願の光学系では第３レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とすることが好ましい。

【0236】

また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面は、球面又は平面としてもよく、或いは非球面としてもよい。レンズ面が球面又は平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、レンズ加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防ぐことができるため好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないため好ましい。レンズ面が非球面の場合、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に成型したガラスモールド非球面、又はガラス表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれでもよい。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしてもよい。

【0237】

また、本願の光学系において開口絞りは第３レンズ群の物体側の近傍に配置されることが好ましく、開口絞りとして部材を設けずにレンズ枠でその役割を代用する構成としてもよい。

【0238】

また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面に、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。これにより、フレアやゴーストを軽減し、高コントラストの高い光学性能を達成することができる。

【0239】

次に、本願第１又は第２発明の光学系を備えたカメラを図２８に基づいて説明する。
図２８は、本願第１及又は第２発明の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。
本カメラ１は、撮影レンズ２として上記第１実施例に係る光学系を備えたレンズ交換式のデジタル一眼レフカメラである。
本カメラ１において、被写体である不図示の物体からの光は、撮影レンズ２で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして焦点板４に結像されたこの光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へ導かれる。これにより撮影者は、被写体像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。

【0240】

また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、不図示の被写体からの光は撮像素子７へ到達する。これにより被写体からの光は、当該撮像素子７によって撮像されて、被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による被写体の撮影を行うことができる。

【0241】

ここで、本カメラ１に撮影レンズ２として搭載した上記第１実施例に係る光学系は、上述のように小型で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有している。即ち本カメラ１は、小型化と高性能化を実現することができる。なお、上記第２〜第９実施例に係る光学系を撮影レンズ２として搭載したカメラを構成しても、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。また、クイックリターンミラー３を有しない構成のカメラに上記各実施例に係る光学系を搭載した場合でも、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。

【0242】

次に、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を図２９に基づいて説明する。
図２９は、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。
図２９に示す本願第１発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１〜Ｓ５を含むものである。

【0243】

ステップＳ１：第１〜第３レンズ群を準備し、第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、各レンズ群を鏡筒内に物体側から順に配置する。

【0244】

ステップＳ２：第３レンズ群が、物体側から順に、第３ａレンズ群と、第３ｂレンズ群とを有するようにする。

【0245】

ステップＳ３：公知の移動機構を設けることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにする。

【0246】

ステップＳ４：公知の移動機構を設けることにより、第３ｂレンズ群がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようにする。

【0247】

ステップＳ５：光学系が以下の条件式（１−１）を満足するようにする。
（１−１）１．７０＜｜ｆＲ／ｆＦ｜＜５．００
ただし、
ｆＲ：無限遠物体合焦時の第１レンズ群から第３ａレンズ群までの合成焦点距離
ｆＦ：無限遠物体合焦時の第３ｂレンズ群と第３ｂレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの合成焦点距離

【0248】

斯かる本願第１発明の光学系の製造方法によれば、小型で、諸収差を良好に補正し優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。

【0249】

最後に、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を図３７に基づいて説明する。
図３７は、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。
図３７に示す本願第２発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１〜Ｓ４を含むものである。

【0250】

【0251】

ステップＳ２：公知の移動機構を設けることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにする。

【0252】

ステップＳ３：公知の移動機構を設けることにより、第３レンズ群の一部がシフトレンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようする。

【0253】

ステップＳ４：光学系が以下の条件式（２−１）を満足するようにする。
（２−１） −１．６０＜βｒ×（１−βｓ）＜−０．８５
ただし、
βｓ：シフトレンズ群の横倍率
βｒ：シフトレンズ群よりも像側に位置する全てのレンズの横倍率

【0254】

斯かる本願第２発明の光学系の製造方法によれば、諸収差を良好に補正し、かつレンズシフト時の光学性能の劣化を抑えた光学系を製造することができる。

【符号の説明】

【0255】

Ｇ１第１レンズ群
Ｇ１ａ第１ａレンズ群
Ｇ１ｂ第１ｂレンズ群
Ｇ２第２レンズ群
Ｇ３第３レンズ群
Ｇ３ａ第３ａレンズ群
Ｇ３ｂ第３ｂレンズ群
Ｇ３ｃ第３ｃレンズ群
ＦＬＧ保護フィルタガラス
Ｓ開口絞り
Ｉ像面
１０１反射防止膜
１０１ａ第１層
１０１ｂ第２層
１０１ｃ第３層
１０１ｄ第４層
１０１ｅ第５層
１０１ｆ第６層
１０１ｇ第７層
１０２光学部材

【図1】