特許 6394515 めっき処理装置およびフィルム搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6394515

(24)【登録日】2018年9月7日

(45)【発行日】2018年9月26日

(54)【発明の名称】めっき処理装置およびフィルム搬送方法

(51)【国際特許分類】

   C25D 21/12 20060101AFI20180913BHJP

   C25D 7/06 20060101ALI20180913BHJP

   C25D 5/50 20060101ALI20180913BHJP

   B65H 26/04 20060101ALI20180913BHJP

   C25D 5/56 20060101ALI20180913BHJP

【ＦＩ】

   C25D21/12 H

   C25D7/06 E

   C25D5/50

   C25D21/12 E

   B65H26/04

   C25D5/56 Z

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2015-130696(P2015-130696)

(22)【出願日】2015年6月30日

(65)【公開番号】特開2017-14558(P2017-14558A)

(43)【公開日】2017年1月19日

【審査請求日】2017年3月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】特許業務法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】村上 慎一

【審査官】 祢屋 健太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−２５１１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１２９８５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００１／００４００９７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１７−１１５２０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２３３８９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２４５３９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２８３０４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−００１７９３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２５Ｄ ２１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺のシート状フィルムに所定の張力をかけてめっき装置でめっき処理したあと、前記張力より低い低張力で加熱処理を行う低張力加熱装置を具備するめっき処理装置において、
前記めっき装置から前記低張力加熱装置を経由して排出するよう搬送されるシート状フィルムに加えられる張力を制御する張力制御装置を備えており、
該張力制御装置による張力制御は、前記シート状フィルムに加えられる張力を予め設定した上限値と該上限値に至る変化率に基づき実行する
ことを特徴とするめっき処理装置。

【請求項2】

前記張力制御装置が、前記シート状フィルムに搬送力を与える駆動ロールの駆動トルクを制御するトルク制御部で構成されている
ことを特徴とする請求項１記載のめっき処理装置

【請求項3】

前記トルク制御部は以下の制御項目の目標値を受けて駆動ロールを制御する
ａ）搬送開始時の開始時トルク制限値、
ｂ）開始時トルク制限値の継続時間、
ｃ）搬送中の運転時トルク制限値、
ｄ）搬送開始時の開始時トルク制限値から搬送中の運転時トルク制限値まで徐々に制限トルクを変化させるトルク制限値変化率
ことを特徴とする請求項２記載のめっき処理装置。

【請求項4】

前記ｂ）〜ｄ）の制御項目の目標値を運転中に可変に変更する
ことを特徴とする請求項２記載のめっき処理装置。

【請求項5】

請求項３のめっき処理装置を用い、
シート状フィルムを搬送力するに際し、搬送開始時には予め設定した開始時トルク制限値にて予め設定した時間維持し、次に、トルク制限値を予め設定した一定の変化率で変化させて、予め設定した運転時トルク制限値まで上昇させ、以後の搬送中は前記運転時トルク制限値を維持する
ことを特徴とするフィルム搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、めっき処理装置およびフィルム搬送方法に関する。さらに詳しくは、樹脂フィルム上に薄い金属層を形成し、更にめっき層を形成した金属被覆樹脂基板を製造するためのめっき処理装置およびフィルム搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、電子機器の小型化に伴い使用される電子部品も小型化が要求されるようになってきている。そのような電子部品の製造に用いられる配線材料として、ポリイミドフィルム等の有機樹脂フィルム上に薄い金属層を形成し、その金属層上に更に数μｍ〜数十μｍの厚みで銅を電気めっきした２層めっき基板が知られている。

【0003】

電気めっき法により製造された２層めっき基板は、フォトリソグラフィー技術によって表面に微細な配線パターンが形成され、携帯電話やテレビ等の液晶パネルとドライバＩＣとの接続用配線材基板等に用いられている。

【0004】

このような金属被覆樹脂基板を製造するための装置として、硫酸銅めっき液を用いて電気めっき処理を行うめっき処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の装置によれば、ポリイミドフィルム上に薄い金属層を形成した長尺シート状のフィルムの幅方向を上下に向けて配置し、シート状フィルムの上端および下端をクランプで把持するとともに、めっき槽を通過させながらめっきを施すことにより１層のめっき槽で、高速に電気めっきを施すことが可能になっている。

【0005】

特許文献２，３の従来技術は、上記のめっき処理装置において、めっき後に発生する金属の再結晶化に伴う寸法変化を抑制する装置を追加したものである。
具体的には、前記めっき処理装置の出側に、低張力加熱装置を設置し、その低張力加熱装置を構成する熱風加熱部においてシート状フィルムを低張力で搬送するために、熱風加熱部の前後に熱風加熱部への張力影響を遮断する吸着機能付き駆動ロールを使用している。また、熱風加熱部内で低張力を得るために、エアフローターン部においてシート状フィルムに空気を吐出する手段を具備して非接触状態としている。

【0006】

上記特許文献２，３の装置では、めっき装置と低張力加熱装置の間で常時適切な張力を維持することが必要となる。もし、搬送のシート状フィルムに異常な張力がかかるとフィルム切れが生じてしまう。
なお、一般にシートやフィルムの送り工程における張力調整にはダンサーロールが用いられるが、ダンサーロールは設置スペースに余裕がある場所でないと使うことができず、用いるとすれば装置が大型化してしまうという問題が生ずる。

【0007】

また、低張力加熱装置における加熱部手前の張力および加熱部内の張力も適切に維持しなければならない。張力を適切に維持できなければ、金属の再結晶化に伴う寸法変化を抑制できないし、場合によってはフィルム切れを起してしまう。

【0008】

ところで、張力の維持は、公知の自動制御技術によると、目標値を与えておき、実測値を検出して、比例動作（Ｐ動作）・積分動作（Ｉ動作）・微分動作（Ｄ動作）させるＰＩＤ制御を行えば一応の張力制御が行える。
しかるに、ＰＩＤ制御による速度補正が大きいと、シート状フィルムにかかる張力が大きく変動することがある。このような場合、シート状フィルムが切れやすくなる。とくに、シート状フィルムが非常に薄い場合、たとえば厚さ15μm以下などの場合は、ＰＩＤ制御による補正値が大きいときには、フィルム切れの可能性が高くなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２００９−１２０８８９号公報

【特許文献2】特開２０１２−２５１１８３号公報

【特許文献3】特開２０１２−２５１１８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

本発明は上記事情に鑑み、めっき装置と低張力加熱装置との間で、シート状フィルムを損傷することなく搬送できるめっき処理装置を提供することを目的とする。
また、めっき装置と低張力加熱装置との間のフィルムにかかる張力の変化を抑え、安定して搬送できるシート状フィルム搬送方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

第１発明のめっき処理装置は、長尺のシート状フィルムに所定の張力をかけてめっき装置でめっき処理したあと、前記張力より低い低張力で加熱処理を行う低張力加熱装置を具備するめっき処理装置において、前記めっき装置から前記低張力加熱装置を経由して排出するよう搬送されるシート状フィルムに加えられる張力を制御する張力制御装置を備えており、該張力制御装置による張力制御は、前記シート状フィルムに加えられる張力を予め設定した上限値と該上限値に至る変化率に基づき実行することを特徴とする。
第２発明のめっき処理装置は、第１発明において、前記張力制御装置が、前記シート状フィルムに搬送力を与える駆動ロールの駆動トルクを制御するトルク制御部で構成されていることを特徴とする。
第３発明のめっき処理装置は、第２発明において、前記トルク制御部は以下の制御項目の目標値を受けて駆動ロールを制御するａ）搬送開始時の開始時トルク制限値、ｂ）開始時トルク制限値の継続時間、ｃ）搬送中の運転時トルク制限値、ｄ）搬送開始時の開始時トルク制限値から搬送中の運転時トルク制限値まで徐々に制限トルクを変化させるトルク制限値変化率ことを特徴とする。
第４発明のめっき処理装置は、第２発明において、前記ｂ）〜ｄ）の制御項目の目標値を運転中に可変に変更することを特徴とする。
第５発明のフィルム搬送方法は、請求項３のめっき処理装置を用い、シート状フィルムを搬送力するに際し、搬送開始時には予め設定した開始時トルク制限値にて予め設定した時間維持し、次に、トルク制限値を予め設定した一定の変化率で変化させて、予め設定した運転時トルク制限値まで上昇させ、以後の搬送中は前記運転時トルク制限値を維持することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

第１発明によると、シート状フィルムに加えられる張力の上限値を設定しておくことによって過大張力を避けるのでフィルム切れを防止できる。また、張力を上限値に至るまでに変化させるときの変化率も可変に制御することによって、シート状フィルムに加えられる張力変化が過大とならないので、フィルム切れを防止できる。
第２発明によれば、駆動モーターのトルク制御を実施するトルク制御機器を用いるので、設置スペースが小さくても設置できる。
第３発明によれば、シート状フィルムに搬送力を与える駆動ロールのモーターのトルク制限値を、搬送開始時に予め設定した低トルクにて予め設定した時間維持し、次に、トルク制限値を予め設定した一定の変化率で変化させて、予め設定した上限値まで上昇させ、以後の搬送中は上限のトルク制限値を維持することができるので、めっき連続処理装置の運転開始から運転終了に至る全ての期間で、大きな張力変動を抑制できフィルム切れを防止できる。
第４発明によれば、ｂ）開始時トルク制限値の継続時間、ｃ）搬送中の運転時トルク制限値、ｄ）トルク制限値変化率からなる制御項目を運転中にも変更できるので、シート状フィルムの性状や厚さに合わせてフィルム切れを防止することができる。
第５発明によれば、搬送開始から定常搬送状態に至るまでの間、シート状フィルムには急な張力増加が生じないので、めっき連続処理装置の運転開始から運転終了に至る全ての期間で、フィルム切れを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明における張力制御装置のブロック図である。

【図2】図１に示す低張力加熱装置１１とめっき装置２０の間における駆動系の構成説明図である。

【図3】（Ａ）図は駆動モーターのトルク制御の要領を示す制御フロー図、（Ｂ）図はトルク制御のタイムチャートである。

【図4】本発明を適用しトルク制限値を搬送開始から一定時間で変化させたときの、張力・モータートルク・搬送速度の挙動グラフである。

【図5】本発明を適用しないでトルク制限値を搬送開始から一定値としたときの、張力・モータートルク・搬送速度の挙動グラフである。

【図6】本発明に係るめっき処理装置Ａの全体説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
まず、図６に基づき、本発明のめっき処理装置Ａの基本構成を説明する。
めっき処理装置Ａはめっき装置２０と低張力加熱装置１１とからなる。

【0015】

めっき装置２０は、めっき処理前のシート状フィルムを供給するフィルム供給装置１、めっき処理後のシート状フィルムを巻取るフィルム巻取装置２を備えており、これらは装置全体の前面側に設置されている。３は前処理槽、４は化学処理槽、５は後処理槽、９はめっき剥離槽で、これらはめっき処理用の設備である。６はエンドレスベルトの折り返し用プーリー、８はエンドレスベルトであって、これらは上部と下部の一対が設けられ、かつめっき装置を周回するようになっている（下部のエンドレスベルト等は図示省略している）。そして、上下部のエンドレスベルトには、搬送クランプ群８ａがエンドレスベルト８の長手方向に沿って取付けられている。シート状フィルム１０は上下の搬送クランプ群８ａでクランプされエンドレスベルト８の走行によって、前処理槽３、化学処理槽４、後処理槽５を通過してめっき処理される。

【0016】

めっき装置２０における後処理槽５とフィルム巻取装置２との間には、低張力加熱装置１１が設けられている。図６においては、この低張力加熱装置１１にフィルム１０を供給するための搬送姿勢変更ロール１２や張力検出機能付き方向転換ローラ１７、低張加熱装置１１を構成する駆動ロール１３などが示されている。

【0017】

図２に基づき低張力加熱装置１１とめっき装置２０との間の機械的構成を説明する。
低張力加熱装置１１はエアフローターン部１５と、これに巻き掛けたシート状フィルム１０を加熱する熱風加熱ヒータ１６とを有している。また、低張力加熱装置１１にシート状フィルム１０を送り込む入側駆動ロール１３と、加熱処理されたシート状フィルム１０を排出する出側駆動ロール１４とが設けられている。

【0018】

さらに、入側駆動ロール１３の上流側（めっき装置２０側）には方向転換ロール１７，１８が上下段違いに配置されている。また、方向転換ロール１７とめっき処理装置２０との間には、縦向きで送られてきたシート状フィルム１０を水平に向きを換える搬送姿勢変更ロール１２が設けられている。

【0019】

搬送姿勢変更ロール１２で水平に向きを変えられたシート状フィルム１０は、方向転換ロール１７に巻き掛けられたあと、さらに上昇して方向転換ロール１８に巻き掛けられ、再び下って駆動ロール１３へ巻き掛けられる。駆動ロール１３から送り出されるシート状フィルム１０は入側の熱風加熱ヒータ１６、エアフローターン部１５、出側の熱風加熱ヒータ１６を通り、さらに駆動ロール１４で排出される。この間に熱風加熱ヒータ１６の間を通ってシート状フィルム１０が加熱され、その表面のめっき皮膜の再結晶が行われる。
前記方向転換ロール１７には、シート状フィルム１０に作用する張力を検出する張力検出器４１が取付けられている。この張力検出器４１は、ロードセルや歪ゲージなどで構成されている。

【0020】

低張力加熱装置１１の入側にある駆動ロール１３には駆動用サーボモーター４２が取付けられ、出側にある駆動ロール１４には駆動用サーボモーター４３が取付けられている。
両駆動ロール１３，１４は、シート状フィルム１０を吸着した状態で回転して、シート状フィルム１０に与える張力を加減する吸着機能をもつものが用いられる。吸着機能をもたせるには、エアーバキューム機構を例示できる。エアーバキューム機構は、ロール内部の空洞を空気吸引装置に接続し、ロール表面に設けた多数の吸引孔から空気を吸着するもので、この吸引力により駆動ロール１３，１４の表面にシート状フィルム１０を吸着させる。

【0021】

上記のような吸着機能付き駆動ロール１３，１４を用いると、駆動ロール１３，１４の回転にシート状フィルム１０が確実に追随して移動する。このため、駆動ロール１３のトルクを制御することで、めっき装置２０の最終処理槽から低張力加熱装置１１までの間のシート状フィルム１０の張力を制御できる。また、駆動ロール１４のトルクを制御することで、低張力加熱装置１１内を通るシート状フィルム１０の張力を任意に制御することができる。

【0022】

めっき装置２０における後処理槽５などの最終処理槽を搬出されたフィルム状シート１０は、低張力熱処理装置１１の駆動ロール１３に吸着されながら導入され、駆動ロール１４によって排出されていく。そして、この間に２カ所の熱風加熱ヒータ１６により、既述のごとく、めっき表面の再結晶を目指して加熱される。なお、入側の熱加熱ヒータ１６を通過したシート状フィルム１０はエアフローターン部１５で反転されて再び出側の熱加熱ヒータ１６に通されるが、反転されるシート状フィルム１０はエアフローターン部１５ではエアー圧により若干浮いた状態となるので、走行抵抗を大幅に低減できる。このため、フィルム表面の結晶構造を傷つけることがない。

【0023】

めっき装置２０から低張力加熱装置１１までの間を搬送されるシート状フィルム１０には所定の高い張力が加えられる。
この所定の高張力は概ね５０〜６０Ｎとされるが、これらの数値に限定されるものではない。
なお、めっき装置２０内でのシート状フィルム１０の搬送中の保持はクランプによるので加える張力を正確に維持することはできない。また、めっき装置２０から排出される時点でのクランプの解放タイミングのズレなどから、めっき装置２０の出側から低張力加熱装置１１までの間のシート状フィルム１０には張力の変動が生じやすい。
しかし、この張力変動を相殺して所定の高張力に保つことが、めっきを正確に行うためには重要である。

【0024】

また、低張力加熱装置１１を通過するシート状フィルム１０には所定の低い張力が加えられるが、この所定の低張力は、概ね５Ｎとされるが、５Ｎ以下と定まったものでは無く、被めっき対象となるフィルム厚みによって異なる。５Ｎ以下に設定するのはフィルム厚みが１２．５μｍ以下の場合の条件であり、フィルム厚みが２５μｍ等まで厚くなってくると、５Ｎ以上の張力を与えても、問題の無いめっき皮膜の再結晶化が可能である。いずれにしろ、低張力加熱装置１１内ではめっき時の前記高張力（５０〜６０Ｎ）よりは低張力で加熱処理が行われる。

【0025】

以上のように、所定の高張力、たとえば５０〜６０Ｎでめっき装置２０内を通すことにより、シート状フィルム１０に正確な厚みで、かつむら無くめっきが施される。また、所定の低張力、たとえば５Ｎ以下の状態で熱風加熱ヒータ１６に通されてめっき面の再結晶化が行われることで、健全な平滑性を有するフィルム状シート１０が出来上がる。そして、シート状フィルム１０が駆動ロール１４によって外部に導出されて処理が終了する。

【0026】

つぎに、図１に基づき、張力制御装置の詳細を説明する。
同図において、Ｆはシート状フィルム１０の搬送方向を示している。３０Ａはめっき処理装置Ａを含めて制御する全体制御装置であり、これに速度設定器３４と、トルク制限値設定器３６が接続されている。３０Ｂは張力制御装置であり、トルク制御部３１を含んで構成されており、このトルク制御部３１に張力検出器４１、２個のモーター制御部３２，３３および張力設定器３８が接続されている。

【0027】

前記２個のモーター制御部３２，３３は、サーボモーター４２，４３を駆動するための専用制御機器であり、トルク制御部３１からの信号により任意のトルク以下に制限する機能を具備している。前記張力設定器３８は、シート状フィルム１０において、めっき装置２０の出側から低張力加熱装置１１の入側の高張力（たとえば、５０〜６０Ｎ）と、低張力加熱装置１１の入側から出側までの低張力（たとえば、５Ｎ）を設定する。３５、３７はそれぞれ伝送経路であり、全体制御装置３０を経由してトルク制御部３１へ搬送速度、トルク制限値が伝送されるようになっている。

【0028】

前記速度設定器３４は、めっき装置２０および低張力加熱装置１１の速度、加速度、駆動時間を設定する。
前記トルク制限値設定器３６は、駆動ロール１３、１４用の駆動用サーボモーター４２，４３のそれぞれに対し以下の制御項目の目標値を設定する。
ａ）搬送開始時の開始時トルク制限値、
ｂ）開始時トルク制限値の継続時間、
ｃ）搬送中の運転時トルク制限値、
ｄ）搬送開始時の開始時トルク制限値から搬送中の運転時トルク制限値まで徐々に制限トルクを変化させるトルク制限値変化率

【0029】

（張力制御の基本）
張力制御の基本はＰＩＤ制御によって行われる。すなわち、張力設定器３８で設定された張力値を目標として、張力検出器４１で検出された実測張力値、および速度設定器３４で設定された搬送速度に基づき、トルク制御部３１で演算を行い、トルク制御部３１からモーター制御部３２，３３に駆動信号を出力し、駆動用サーボモーター４２，４３を実測値が目標値に近づくよう駆動する。つまり、主としてトルク制御部３１の制御下でＰＩＤ制御を行う。

【0030】

めっき装置２０から低張力加熱装置１１までの張力制御は、駆動ロール１３のトルク制限付きの速度制御で行う。つまり、駆動ロール１３はトルク制限付きの速度制御で駆動し、速度を制御することで、結果として張力を制御する。また、低張力加熱装置１１内の張力制御は、駆動ロール１４のトルク制限付きの速度制御で行う。駆動ロール１４も同様に、駆動ロール１３の速度を基本とし、フィルム状シート１０の張力が目的値になるように、駆動ロール１４の速度を変更する。

【0031】

さらに詳細に説明する。フィルム状シート１０の張力は、「サーボモーターによるトルク制限付きの速度制御」にて制御する。この場合のトルク制限値は、搬送開始時に小さくしておき、搬送開始時の張力超過を防止する。また、搬送開始後、徐々にトルク制限の数値を大きくする（トルクが強くなる）。
搬送開始時に所定のトルクが出せないために、モーターの回転数が下がるが、それを補うよう早く回転するようにモーターに与える速度指示信号を大きくする。つまり、本来１００回転／分の回転をする場合、トルク制限値が大きい（強いトルクで回転できる）ときは、１００回転／分の速度指示信号を与えるが、トルク制限値を小さくした場合、１００回転／分の速度指示信号を与えた時に、７０回転／分でしか回転できないことになり、それを補うために１５０回転／分の速度指示信号を与え、結果として１００回転／分で回転できる状態とする。この状態で、トルク制限値を大きくすると、与えた１５０回転／分に近づくよう速度が上昇し、結果として張力が上昇する。しかし、ゆっくりトルク制限値を大きくすると、張力が上昇することにより、張力を維持するために与えていた１５０回転／分の速度指示信号が、張力を下げるために少しずつ下がることになる。最終的に、１００回転／分の速度指示信号で、１００回転／分の回転速度になるまでトルク制限値が大きくなった段階で、回転速度、張力が目的値に近づいて安定する。

【0032】

（低張力加熱装置１１より上流の張力制御）
まず、めっき装置２０から低張力加熱装置１１の入側までの張力制御を説明する。
この間のシート状フィルム１０張力制御は、駆動ロール１３（サーボモーター４２）のトルクにより、搬送姿勢変更ロール１２の手前（具体的にはシート状フィルム１０を把持する最終クランプ以降）から駆動ロール１３に至る間のシート状フィルム１０に張力が付与される。
通常、付与される張力は５０〜６０Ｎ程度とされる。また、このとき駆動ロール１３用の駆動用サーボモーター４２はトルク制限値設定器３６で設定されたトルク制限値によってトルク値が制限される。その詳細は後述する。

【0033】

（低張力加熱装置より上流における目標値の変動制御）
つぎに、低張力加熱装置１１より上流における張力制御の詳細を説明する。
この場合の張力制御は、トルク制御値である目標値をシート状フィルム１０の強度や厚さ等の性状に合わせて設定し、またこの目標値を場合により可変に制御することが特徴であり、これを図３に基づき説明する。

【0034】

（１）搬送開始時Ｓ１
搬送開始時には予め目標値として設定した開始時トルク制限値により起動し、その開始時トルク制限値は所定の継続時間維持される。
この起動時のトルク制限値は小さく、たとえば１０〜２０Ｎ位に設定される。このように小さいトルク値に設定しておくことにより、起動時のフィルム切れを防止することができ、とくに厚さ15μm未満の薄物フィルムの切れ防止に効果が高い。

【0035】

設定される開始時トルク維持時間（図３（Ｂ）のＳ１からＳ２の間の時間）は、通常５〜２０sec位である。ただし、これに限定されるものではない。トルク制限値が小さいままであると、張力が安定しないので、できるだけ速やかにトルク制限値を大きくしていく。しかし、早すぎるとフィルム切れにつながるので、これらのバランスから維持時間が選択される。なお、この維持時間の間に搬送速度が安定してくる。
このトルク維持時間はシート状フィルム１０の強度や厚さ等の性状に合わせて適宜変更される。なお、この維持時間は運転中でも変更可能である。

【0036】

（２）調整期Ｓ２
所定の調整時間が経過すると開始時トルク制限値から搬送中トルク制限値まで所定の変化率で変化させる。図３（Ｂ）では、この変化率がＳ２からＳ３に至る線分の傾斜で示されている。また、この調整期Ｓ２の継続時間（図３（Ｂ）のＳ２からＳ３までの間の時間）は概ね３０秒位であるが、これに限定されるものではない。
トルク制限値を急に、あるいは矩時間で大きくするとＰＩＤ補正値が大きくなり張力変動も大きくなるので、これを避けるためトルク制限値の上昇は徐々に行わせる。そうすることにより変化中のＰＩＤ補正値を下げることができる。
上記の変化率は任意に設定でき、数種類を設定してもよい。また、運転中に変更することも可能である。

【0037】

このようにして、搬送開始から運転時トルク制限値に達するまで、徐々にトルク制限値を変化させることにより、搬送開始後でも、シート状フィルムを損傷させないよう、設定した張力を大きく超過させることなく、適切な張力を付与しつつ搬送することができる。

【0038】

（３）搬送中Ｓ３
シート状フィルム１０の搬送が定常状態になると、所定のトルク制限値に設定される。この場合の適正値はたとえば５０〜６０Ｎとなる。
この搬送中はトルク目標値として５０〜６０ＮになるようにＰＩＤ制御すればよく、フィルム切れを防止することができる。また、とくに厚さ15μm未満の薄いシート状フィルム１０であっても、適切な張力を付与できフィルム切れを防止できる。この場合のトルク目標値も適宜変更され、この変更は運転中でも可能である。

【0039】

（低張力加熱装置１１内の張力制御）
低張力加熱装置１１内でシート状フィルム１０に作用する張力は、例えば５Ｎの低張力に設定される。この５Ｎ等の低張力設定は、駆動ロール１３の速度を基準とし、シート状フィルム１０の張力が目的値になるように、駆動ロール１４の速度を変更することで行う。
低張力加熱装置１１内では、上流の駆動ロール１３と下流の駆動ロール１４との同期制御は容易に行える。つまり、駆動ロール１３（サーボモーター４２）の回転速度をモーター制御部３２からトルク制御部３１を経由して駆動ロール１４（サーボモーター４３）に入力して、その入力値を監視しながら同じ回転速度で駆動ロール１４を回転させることは、簡単なサーボ制御の適用で可能だからである。

【0040】

しかし、低張力加熱装置１１の上流側を対象とした上記のトルク制限値可変制御を低張力加熱装置１１内を走行するシート状フィルム１０に適用してもよい。この場合、そもそも入側と出側間の張力は５Ｎレベルの低張力に設定されているため、フィルム切れの可能性は低いが、張力を徐々に変化させることでめっき皮膜の結晶構造がより損傷しにくくなる。

【実施例】

【0041】

（実施例１）
実施例として、厚さ12.5μmのポリイミドフィルム製シート状フィルムを、図１に記載の低張力加熱装置１１に仕掛けた。運転張力は50N、開始時張力は15N、搬送速度は2.5m/分、開始時トルク制限値はモーター最大トルクの15%、開始時トルク制限維持時間15秒、運転時トルク制限値は50%、トルク制限の変化率を25%/分 として、搬送を開始した。
張力、モータートルク、搬送速度は図４のような挙動を示した。張力は設定値50Nに対して最大60Nであるが、搬送開始時は50Nを下回る張力を維持し、シート状フィルムへの損傷は見られなかった。

【0042】

（比較例）
また、上記条件からトルク制限値を搬送開始から50%を維持する設定とし、厚さ25μmのポリイミド製シート状フィルムの搬送を開始したところ、張力、モータートルク、搬送速度は図５のような挙動を示した。この場合、搬送開始時の張力は100N近くとなり、厚さ25μmのフィルムでは損傷する可能性が高くなると考えられる。この実験では、搬送開始時にトルク制限をかけ、それを５０％としたが、トルク制限をかけない場合は、さらにフィルム損傷の可能性が高くなると予想される。

【0043】

上記実施例１と比較例とを対比すると、本発明による張力制御がシート状フィルム１０のフィルム切れを含む損傷防止に効果の高いことが分る。

【符号の説明】

【0044】

１ フィルム供給装置
２ フィルム巻取装置
１０ シート状フィルム
１１ 低張力加熱装置
１２ 搬送姿勢変更ロール
１３、１４ 駆動ロール
１５ エアフローターン部
１６ 熱風加熱ヒータ
２０ めっき処理装置
３１ トルク制御部
３２，３３ モーター制御部
３８ 張力設定器
４１ 張力検出器
４２ 駆動用サーボモーター
４３ 駆動用サーボモーター

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】