特許6396670成膜装置ならびに排気装置および排気方法

発明の名称　成膜装置ならびに排気装置および排気方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（572件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（758件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6396670

公報発行日　2018年9月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6396670

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