特許 6401129 印刷装置および印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6401129

(24)【登録日】2018年9月14日

(45)【発行日】2018年10月3日

(54)【発明の名称】印刷装置および印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 31/08 20060101AFI20180920BHJP

   B41M 1/10 20060101ALI20180920BHJP

   B41F 17/14 20060101ALI20180920BHJP

   B41F 3/20 20060101ALI20180920BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20180920BHJP

   B41F 33/00 20060101ALI20180920BHJP

   B41M 5/00 20060101ALI20180920BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20180920BHJP

【ＦＩ】

   B41F31/08

   B41M1/10

   B41F17/14 E

   B41F3/20 D

   H05K3/12 630Z

   B41F33/00 290

   B41M5/00 100

   B41J2/01 101

   B41J2/01 401

   B41J2/01 451

【請求項の数】8

【全頁数】34

(21)【出願番号】特願2015-164044(P2015-164044)

(22)【出願日】2015年8月21日

(65)【公開番号】特開2017-39306(P2017-39306A)

(43)【公開日】2017年2月23日

【審査請求日】2017年8月3日

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）平成２３年度独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構「次世代プリンテッドエレクトロニクス材料・プロセス基盤技術開発／次世代プリンテッドエレクトロニクス材料・プロセス基盤技術開発」委託研究、産業技術力強化法第１９条の適用を受ける特許出願

(73)【特許権者】

【識別番号】306037311

【氏名又は名称】富士フイルム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100080159

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 望稔

(74)【代理人】

【識別番号】100090217

【弁理士】

【氏名又は名称】三和 晴子

(74)【代理人】

【識別番号】100152984

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 秀明

(74)【代理人】

【識別番号】100148080

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 史生

(72)【発明者】

【氏名】児玉 憲一

【審査官】 亀田 宏之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１８８７４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１４１７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０２４２１６７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｆ ３１／０８

Ｂ４１Ｆ ３／２０

Ｂ４１Ｆ １７／１４

Ｂ４１Ｆ ３３／００

Ｂ４１Ｊ ２／０１

Ｂ４１Ｍ １／１０

Ｂ４１Ｍ ５／００

Ｈ０５Ｋ ３／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを吐出した後、前記パターン状に吐出されたインクを基板に転写する印刷装置であって、
前記印刷版の前記版面に前記インクの着滴位置の基準となるマークが形成されており、
前記印刷版が設けられ、回転可能な版胴と、
インクジェット方式にて複数のノズルから前記インクを、前記印刷版の前記版面に前記予め定められたパターン状に吐出する画像記録部と、
前記マークの位置と前記マークに対して、前記画像記録部から吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータを得る読取部と、
前記読取部で得られた前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータに基づき前記画像記録部での前記インクの吐出タイミングを調整する調整部を有し、
前記マークは、前記版胴の回転軸に平行な方向沿って、少なくとも３箇所離間して設けられていることを特徴とする印刷装置。

【請求項2】

前記マークはマーク形成領域に形成されており、前記マークは凸部で構成され、前記マーク形成領域は凹部で構成され、前記凸部が撥インク部であり、前記凹部が親インク部である請求項１に記載の印刷装置。

【請求項3】

前記画像記録部は、前記マークに前記インクを着滴させる請求項１または２に記載の印刷装置。

【請求項4】

前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータは、前記インクの複数の着弾位置の平均位置と前記マークの位置との差のデータである請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷装置。

【請求項5】

版胴に設けられた印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを吐出した後、前記パターン状に吐出されたインクを基板に転写する印刷方法であって、
前記印刷版の前記版面に前記インクの着滴位置の基準となるマークが形成されており、
前記マークの位置と前記マークに対して吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、前記版胴の回転方向における前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータを得る取得工程と、
前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータに基づき前記インクの吐出タイミングを調整する調整工程と、
前記調整工程で調整された吐出タイミングにて、前記印刷版の版面にインクを吐出する吐出工程とを有し、
前記マークは、前記版胴の回転軸に平行な方向沿って、少なくとも３箇所離間して設けられていることを特徴とする印刷方法。

【請求項6】

前記マークはマーク形成領域に形成されており、前記マークは凸部で構成され、前記マーク形成領域は凹部で構成され、前記凸部が撥インク部であり、前記凹部が親インク部である請求項５に記載の印刷方法。

【請求項7】

前記マークに前記インクが着滴される請求項５〜６のいずれか１項に記載の印刷方法。

【請求項8】

前記マークの位置と前記インクの着滴位置の差のデータは、前記インクの複数の着弾位置の平均位置と前記マークの位置との差のデータである請求項５〜７のいずれか１項に記載の印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インクの着滴位置の基準となるマークに対して吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、インクの吐出タイミングを制御することで高精度に印刷版にインキングを行う印刷装置および印刷方法に関し、特に、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、および配線等の作製に利用可能な印刷装置および印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、印刷法を用いて、ガラス基板、樹脂基板等に薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極および金属配線、ならびに電気配線パターン等の微細パターンが形成されている。印刷法により、金属等の導電性粒子を含有した液体によって微細パターンが形成された基板は、電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる。

【0003】

凹版印刷におけるインキングを、インクジェット方式を用いて、必要な量を必要な場所にすることで、ドクタリングを不要にして、ドクタリングに伴う地汚れおよび版耐久性を改善するインキング技術がある。インキング技術の具体的なものとして、例えば、特許文献１のパターン印刷装置がある。特許文献１のパターン印刷装置では、可撓性金属平板状の凹版に薄い樹脂層を設け、その上に撥インクパターンを設けて凹部を形成する。インク供給手段のインクジェットにより凹部に下方からインクを噴射して供給する。インク供給後、インク乾燥手段により凹部内のインクから溶剤を飛ばして粘性を失わないように乾燥する。被印刷体と可撓性金属平板状の凹版とを位置決めし、インク転移手段のプレス・剥離胴を用いてこれを転動しながら可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移する。インク転移後、可撓性金属平板状の凹版を撓ませながら剥離する。

【0004】

上述の電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる微細パターンに、現在、高精細であること、高い位置精度等が要求されている。特許文献２には、基板の実際の伸長を考慮して補正することができる吐出タイミング生成方法が記載されている。特許文献２では、予め規定した設計間隔を互いに持って配置されるように少なくとも２つのアライメントマークを基板に設け、２つのアライメントマークの間隔を、エンコーダを用いて計測して、その計測結果をパルス数とし、設計間隔をパルス数で割り、割り算の結果を実エンコーダ値とし、実エンコーダ値を用いて基板に液滴を吐出するタイミングを制御することがなされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−８１７２６号公報

【特許文献2】特開２００５−２４６１２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述のように特許文献１では、可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移することが記載されているものの、例えば、版の取り付け精度が低い場合、版の取り付けに応じた、インクパターンの修正等がされるものではない。パターン形成の際にエラーが生じてしまうと、印刷精度が低下するという問題点がある。
特許文献２では、予め規定した設計間隔に配置された２つのアライメントマークの間隔をエンコーダを用いて計測して、その計測結果をパルス数とし、設計間隔をパルス数で割り、割り算の結果を実エンコーダ値とし、実エンコーダ値を用いて基板に液滴を吐出するタイミングを制御している。
しかしながら、吐出信号が入力されてから液滴が基板に着滴するまでには、吐出速度５ｍ／ｓ、ノズルと基板との距離１ｍｍで、例えば、０．２ｍｓかかる。このため、エンコーダの位置、吐出タイミング、および着滴位置は一致しない。したがって、送りのわずかな揺らぎが着滴位置のずれをもたらすことになる。特に、基板が平面でなく胴に巻かれた状態では、エンコーダに揺らぎはなくても、偏芯または基板の膜厚むらによって送り量が変わってしまうため、特許文献２では設計位置に高精度でインクを吐出させることができない。

【0007】

本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、印刷精度が高い印刷装置および印刷方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述の目的を達成するために、本発明は、印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを吐出した後、パターン状に吐出されたインクを基板に転写する印刷装置であって、印刷版の版面にインクの着滴位置の基準となるマークが形成されており、印刷版が設けられ、回転可能な版胴と、インクジェット方式にて複数のノズルからインクを、印刷版の版面に予め定められたパターン状に吐出する画像記録部と、マークの位置とマークに対して、画像記録部から吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、マークの位置とインクの着滴位置の差のデータを得る読取部と、読取部で得られたマークの位置とインクの着滴位置の差のデータに基づき画像記録部でのインクの吐出タイミングを調整する調整部を有することを特徴とする印刷装置を提供するものである。

【0009】

マークは、版胴の回転軸に平行な方向沿って、少なくとも３箇所離間して設けられていることが好ましい。
マークはマーク形成領域に形成されており、マークは凸部で構成され、マーク形成領域は凹部で構成され、凸部が撥インク部であり、凹部が親インク部であることが好ましい。
画像記録部は、マークにインクを着滴させることが好ましい。
また、例えば、マークの位置とインクの着滴位置の差のデータは、インクの複数の着弾位置の平均位置とマークの位置との差のデータである。

【0010】

本発明は、版胴に設けられた印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを吐出した後、パターン状に吐出されたインクを基板に転写する印刷方法であって、印刷版の版面にインクの着滴位置の基準となるマークが形成されており、マークの位置とマークに対して吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、版胴の回転方向におけるマークの位置とインクの着滴位置の差のデータを得る取得工程と、マークの位置とインクの着滴位置の差のデータに基づき画像記録部でのインクの吐出タイミングを調整する調整工程と、調整工程で調整された吐出タイミングにて、印刷版の版面にインクを吐出する吐出工程とを有することを特徴とする印刷方法を提供するものである。

【0011】

マークは、版胴の回転軸に平行な方向沿って、少なくとも３箇所離間して設けられていることが好ましい。
マークはマーク形成領域に形成されており、マークは凸部で構成され、マーク形成領域は凹部で構成され、凸部が撥インク部であり、凹部が親インク部であることが好ましい。
マークにインクが着滴されることが好ましい。また、例えば、マークの位置とインクの着滴位置の差のデータは、インクの複数の着弾位置の平均位置とマークの位置との差のデータである。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、印刷精度が高い印刷装置および印刷方法装置構成を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。

【図2】本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。

【図3】（ａ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置を示す平面図であり、（ｂ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置の他の例を示す平面図である。

【図4】本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。

【図5】（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。

【図6】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。

【図7】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。

【図8】本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。

【図9】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第１の例を示す模式図である。

【図10】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第２の例を示す模式図である。

【図11】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第３の例を示す模式図である。

【図12】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第４の例を示す模式図である。

【図13】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第５の例を示す模式図である。

【図14】印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第６の例を示す模式図である。

【図15】本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の一例を示す模式図である。

【図16】（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の具体例の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の具体例の他の例を示す模式図である。

【図17】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。

【図18】（ａ）は、転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。

【図19】（ａ）は、転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。

【図20】（ａ）は、転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。

【図21】本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。

【図22】本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の印刷装置および印刷方法を詳細に説明する。本発明は、以下に説明する印刷装置および印刷方法の実施形態に限定されるものではない。
なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値β１〜数値β２とは、εの範囲は数値β１と数値β２を含む範囲であり、数学記号で示せばβ１≦ε≦β２である。
「平行」、「垂直」および「直交」等の角度は、特に記載がなければ、厳密な角度との差異が５°未満の範囲内であることを意味する。厳密な角度との差異は、４°未満であることが好ましく、３°未満であることがより好ましい。
また、「同一」とは、技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含むものとする。

【0015】

図１は、本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
図１に示すように印刷装置１０は、印刷装置本体１２と、記憶部１４と、調整ユニット１６と、制御部１８とを有する。
印刷装置本体１２は、印刷法により、基板３１に予め定められたパターンを形成するものである。印刷装置本体１２については後に詳細に説明する。

【0016】

記憶部１４は、印刷装置１０で利用される各種の情報が記憶されるものである。記憶部１４には、印刷しようとするパターンのパターンデータが記憶されるが、このパターンデータは、外部から適宜入力される。
また、記憶部１４には、後に詳細に説明するが、インクジェットヘッド４０から吐出するインクの吐出パターンデータおよび吐出タイミングデータ、ならびにインクの吐出パターンデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正パターンデータ、吐出タイミングデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正吐出タイミングデータも記憶される。

【0017】

インクの吐出パターンデータとは、インクジェットヘッド４０を用いてインクを印刷版２５のパターン領域に付与する際の吐出パターンを示すデータのことである。
吐出タイミングデータとは、インクジェットヘッド４０を用いて印刷版２５のパターン領域にインクを付与する際に、印刷版２５のパターン領域に、どのタイミングでインクを吐出するのかを示すデータのことである。

【0018】

記憶部１４には、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報が記憶される。
基準形状の情報とは、例えば、印刷版２５のパターン領域に対して、インクを付与した際の理想的な状態を示す画像データである。また、印刷版２５のパターン領域に対して、複数回にわたり、インクを付与する場合には、各回毎の理想的な状態を示す画像データである。例えば、パターン領域に対してインクジェット方式でインクを吐出し、ドットを形成してパターン領域にインクを付与した場合には、各回毎のインクの吐出により形成されるドットの理想的な配置を示す画像データを上述の基準形状の情報という。

【0019】

記憶部１４には、後に詳細に説明するが、印刷版２５に形成された、マーク９０ａ〜９０ｅの配置位置等の情報が記憶される。
また、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データも基準形状の情報に含まれる。
記憶部１４への基準形状の情報およびパターンデータの入力方法は、特に限定されるものではなく、各種のインターフェースを記憶部１４に設け、記憶媒体、および有線、無線を問わないネットワークを介して入力することができる。

【0020】

調整ユニット１６は、印刷版２５へのインキングを高い精度で行うために、インクの吐出タイミング、画像データの補正等各種の調整をするものである。
調整ユニット１６は、測定部１６ａ、調整部１６ｂ、補正部１６ｃおよび判定部１６ｄを有する。
測定部１６ａは、版胴２４の回転量を検出するものであり、版胴２４に設けられた測定器３７（図２参照）から出力される版胴２４の回転量に応じたパルス信号が入力され、この回転量に応じたパルス信号のパルス数をカウントすることで版胴２４の回転量、インクジェットヘッド４０の移動量、および印刷版２５での位置情報等を得る。測定部１６ａに入力されるパルス信号のことをエンコーダ信号ともいう。
調整部１６ｂは、読取部４７で得られた、後に詳述するマーク９０の位置とドット９２の差のデータに基づき、画像記録部２２のインクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングを調整するものである。調整部１６ｂにて、インクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングの補正吐出タイミングデータが作成される。この補正吐出タイミングデータは記憶部１４に記憶される。

【0021】

また、調整部１６ｂは、後に詳細に説明するアライメントカメラ４２で得られた版胴２４に対する印刷版２５の取り付け情報、またはインクの着滴位置の情報等に基づき、版面２５ａに吐出するインクの吐出パターンデータを補正して補正パターンデータ、または吐出タイミングデータを補正して補正吐出タイミングデータを作成する。
調整部１６ｂによる補正吐出タイミングデータの作成のタイミングは、印刷版２５を交換した際、または印刷版２５を交換しなくても、予め定められた時間毎、例えば、１日１回の頻度でなされる。
また、例えば、印刷装置１０を稼働した際に、判定部１６ｄにおいて印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲外と判定されたときになされる。

【0022】

アライメントカメラ４２で得られた印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５が理想的な配置の印刷版２５ｉに対して角度α傾いて配置された場合、補正部１６ｃは、インクの吐出パターンデータをｃｏｓα倍し、補正パターンデータを作成する。この補正パターンデータは記憶部１４に記憶される。
例えば、補正部１６ｃによる補正パターンデータの作成は、判定部１６ｄにおいて印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲外と判定されたときになされる。
また、補正部１６ｃは、上述の版面観察部２６で得られた、印刷版２５の取り付け位置情報に基づいて、インクジェットヘッド４０を回動させる回動量を算出し、記憶部１４に記憶させる。制御部１８にて、回動量に基づき、インクジェットヘッド４０を回動させてインクを吐出させる。

【0023】

判定部１６ｄは、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報の取得に利用されるものである。判定部１６ｄでは、後述するアライメントカメラ４２で得られたアライメントマークの位置情報を用いて、アライメントマークＡ〜Ｄの位置を特定するものである。これにより、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得することができる。
判定部１６ｄは、印刷版２５の取り付け位置情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。印刷版２５の傾き角度αについては後に説明する。
判定部１６ｄは、後述する印刷装置本体１２の版面観察部２６で得られた、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報と、記憶部１４で記憶された特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報とを比較し、基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。

【0024】

また、判定部１６ｄでは、予め定められた範囲から外れる場合、外れた箇所等の特定もするものである。例えば、パターン領域に対してはみ出してインクが付与された場合には、インクのはみ出した部分を特定する。また、判定部１６ｄでは、インクジェット方式でパターン領域に対してインクを付与する場合には、インクにより形成されるドットの位置のずれ、ドットが抜けた領域等を特定することができる。これにより、後述するように制御部１８で特定された箇所に応じてインクの吐出量等を調整する。

【0025】

制御部１８は、印刷装置本体１２、記憶部１４および調整ユニット１６に接続されており、印刷装置本体１２、記憶部１４および調整ユニット１６の各要素を制御するものである。
また、制御部１８は、調整ユニット１６で得られた各結果に応じて各部を制御する。制御部１８により、例えば、調整ユニット１６で吐出パターンデータの補正パターンデータが作成された場合、その補正パターンデータに基づいてインクをインクジェットヘッド４０から吐出させる。
調整部１６ｂにて、インクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングの補正吐出タイミングデータが作成される。

【0026】

次に、印刷装置本体１２について説明する。
印刷装置本体１２は、印刷を清浄な雰囲気でするためにケーシング２０の内部２０ａに各部が設けられている。ケーシング２０の内部２０ａを予め定められた清浄度となるように、フィルタ（図示せず）および空調設備（図示せず）が設けられている。
印刷装置本体１２は、画像記録部２２と、版胴２４と、版面観察部２６と、ステージ３０と、乾燥部３２と、イオナイザー３３と、クリーニング部３４と、メンテナンス部３６とを有する。
版胴２４の表面２４ａの周囲を囲むようにして、画像記録部２２、版面観察部２６、乾燥部３２、イオナイザー３３およびクリーニング部３４が設けられている。クリーニング部３４は版胴２４の表面２４ａに接して設けられている。

【0027】

ステージ３０上に基板３１が配置されており、ステージ３０が版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置された状態で版胴２４が回転すると印刷版２５と、基板３１の表面３１ａとが接するように配置されている。これにより、基板３１の表面３１ａに印刷版２５の版面２５ａに予め定められたパターン状に付与されたインクが転写される。
なお、印刷された基板３１では、インクの特性に応じて、例えば、熱、光等によりインクが焼成される。熱、光を用いたインクの焼成で利用される公知のものが適宜利用可能である。基板３１に対するインクの焼成は、ケーシング２０の内部２０ａでなされても、外部でなされてもよい。

【0028】

印刷装置１０では、版胴２４に設けた印刷版２５のパターン領域にインクを付与するが、このインクの付与は１回で完了させてもよく、また複数回にわたってインクを付与してもよい。複数回にわたってインクを付与する場合、インクを付与する回数分、版胴２４を回転させる。例えば、４回に分けてインクを付与する場合、版胴２４を４回回転させる。インクを付与することをインキングという。また、複数回のうち、インクを１回行うことを走査するともいう。

【0029】

以下、印刷装置本体１２の各部について説明する。
画像記録部２２は、印刷版２５の版面２５ａにインクを付与するものであり、画像記録部２２により、版面２５ａに予め定められたパターンでインクが付与される。なお、画像記録部２２の画像記録方式は特に限定されるものではなく、例えば、インクジェット方式が用いられる。

【0030】

版胴２４は、回転軸２４ｂを中心にして、一方向、例えば、Ｙ方向に回転可能なものである。Ｙ方向が回転方向である。Ｙ方向のことを送り方向ともいう。また、版胴２４は、印刷版２５を保持した状態で回転させて、予め定められたパターン状に付与された印刷版２５の版面２５ａのインクを基板３１の表面３１ａに転写するためのものである。
回転軸２４ｂには、例えば、版胴２４を回転させるためのモータ（図示せず）がギア（図示せず）等を介して設けられている。また、ギアを介さないダイレクトドライブモータを設けることもできる。モータは制御部１８にて制御される。また、回転軸２４ｂには回転と回転量を検出する測定器３７が設けられている。測定器３７は、測定部１６ａに接続されており、例えば、ロータリーエンコーダで構成される。版胴２４の回転量に応じてロータリーエンコーダで得られたパルス信号が測定部１６ａに入力される。測定部１６ａで、ロータリーエンコーダで得られたパルス信号のパルス数をカウントすることで版胴２４の回転量、インクジェットヘッド４０の移動量、および印刷版２５での位置情報等を得ることができる。これにより、版胴２４の回転量、インクジェットヘッド４０の移動量、および印刷版２５での位置情報等は、測定部１６ａのパルス数で表すことができる。

【0031】

転写される基板３１は、特に限定されるものではないが、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）およびＰＣ（ポリカーボネート）等のフイルム基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、ならびにガラス基板を用いることができる。転写方法としては、ガラス基板等のリジッド基板では、上述のようにステージ３０上に基板３１を固定して版胴２４に密着させることで転写できる。
なお、印刷版２５にフイルムを使った場合には圧胴を用いて、フイルムを圧胴に固定して版胴２４に密着させて転写する構成としてもよい。

【0032】

版面観察部２６は、画像記録部２２よりも版胴２４のＹ方向の下流側に配置されている。版面観察部２６は、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報を取得するものである。また、版面観察部２６は、基板３１にインクが転写された後の印刷版２５の版面２５ａの情報も取得するものである。
版面観察部２６は、インク転写前後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得することができれば、その構成は特に限定されるものではない。印刷版２５は矩形状のものが多いため、ラインセンサとライン状の照明を用いることが好ましい。この場合、版面２５ａの情報として、版面撮像データが得られる。この版面撮像データが、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて上述のように基準形状の情報と比較されて判定される。

【0033】

ラインセンサは、例えば、モノクロＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）センサ、ＣＣＤ（電荷結合素子）センサを用いることができる。なお、ラインセンサは、吐出されたインク液滴の陰影を観察するためカラーセンサーでなくてもよい。また、ラインセンサの前にレンズ、および各種のフィルタ等を設けてもよい。ライン状の照明としては、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）を一直線状に並べたものを用いることができる。
版面観察部２６は、制御部１８に接続されており、版面観察部２６での印刷版２５の版面２５ａの情報の取得のタイミングは制御部１８で制御され、取得された印刷版２５の版面２５ａの情報は記憶部１４に記憶される。

【0034】

インクに絶縁体等の透明インクを用いた場合、肉眼による識別が困難であるが、光源、ラインセンサ前に偏光フィルタを設けること、２箇所以上から照明を行う等により、ラインセンサによるインクの識別性を改善することができる。
また、印刷版２５の版面２５ａの情報の取得は、走査毎に行うことで、着弾位置ずれ、サテライトおよび吐出滴量変化による膜厚むらを検出することが可能となる。例えば、膜厚と光学特性のとの関係を予め測定しておき、記憶部１４に記憶しておくことにより、上述の関係と検出された光学特性とを比較することで膜厚を推定することができる。

【0035】

また、インクに銀ナノインクを用いた場合、銀ナノインクでは、乾燥とともに銀光沢が発現して、色または反射率が変化する。膜厚が薄いと乾燥が早く、厚いと乾燥が遅いため、検出までの予め設定された時間における膜厚と色、膜厚と反射率との関係を、予め計測しておくことで、膜厚を推定できる。
絶縁体等の透明インクの場合には、干渉縞で膜厚を判断することが可能である。膜厚と干渉縞との関係を予め測定しておくことで膜厚を推定できる。半導体等結晶性のあるインクの場合には、偏光フィルタを設けて、色で膜厚を推定することもできる。この場合も、予め膜厚と色との関係を測定しておくことで、膜厚を推定することができる。

【0036】

ステージ３０は、基板３１を載置し、搬送方向Ｖに移動して、基板３１を予め定められた位置に搬送するものである。ステージ３０には搬送機構（図示せず）が設けられている。この搬送機構は、制御部１８に接続されており、制御部１８にて搬送機構が制御されてステージ３０が搬送方向Ｖに移動されて、ステージ３０の位置が変えられる。
ステージ３０は、まず、ケーシング２０の外部から搬送された基板３１が載置される開始位置Ｐｓに待機する。次に、ステージ３０は、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに移動される。次に、印刷後、ステージ３０は印刷済みの基板３１を載せた状態で終了位置Ｐｅに移動され、その後、基板３１はケーシング２０の外部に取り出される。ステージ３０は、終了位置Ｐｅから開始位置Ｐｓに移動されて、基板３１が搬入されるまでの間、待機する。

【0037】

乾燥部３２は、印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥させるものである。インクを乾燥させることができれば、乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ファンによる温風、冷風の吹き付け、赤外線ヒーターによる加熱、高周波の照射、およびマイクロ波照射等が挙げられる。
なお、自然乾燥にて印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥できる場合、乾燥部３２を必ずしも設ける必要がない。

【0038】

イオナイザー３３は、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電するものである。イオナイザー３３により、印刷版２５の版面２５ａの静電気が除去され、印刷版２５の版面２５ａにゴミ、埃等の異物の付着が抑制される。また、印刷版２５の版面２５ａが帯電している場合、インクが曲がることがあるが、このインクの曲がりを防止することができ、インクジェット吐出精度が向上する。
なお、イオナイザー３３には、静電気除電器を用いることができ、例えば、コロナ放電方式、およびイオン生成方式のものを用いることができる。また、イオナイザー３３は、乾燥部３２のＹ方向における下流側に設けたが、画像記録部２２により記録される前に、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電することができれば、イオナイザー３３を設ける位置は特に限定されるものではない。

【0039】

クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去するものである。クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去することができれば、その構成は、特に限定されるものではない。例えば、ローラを版胴２４に押し付け、ローラにインクを転写させて、転写されたインクをふき取る構成である。

【0040】

メンテナンス部３６は、画像記録部２２の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べる。メンテナンス部３６は、予め定められた性能を発揮するようノズルのワイプ等をするところである。メンテナンス部３６は、版胴２４から離れた位置に設けられている。画像記録部２２は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。メンテナンス部３６については後に詳細に説明する。

【0041】

以下、画像記録部２２について詳細に説明する。
図２は、本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
画像記録部２２に、インクジェット方式を用いたものを例にして説明する。
図２に示すように、画像記録部２２は、インクジェットヘッド４０と、アライメントカメラ４２と、レーザ変位計４４と、読取部４７と、回動部４９とを有し、これらはキャリッジ４６に設けられている。このキャリッジ４６はリニアモータ４８により、版胴２４の回転軸２４ｂと平行な方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向へ移動可能である。キャリッジ４６の位置はリニアモータ４８に設けられたリニアスケール（図示せず）の読み取り値から算出することができる。

【0042】

インクジェットヘッド４０にはインクの吐出を制御するための吐出制御部４３が設けられている。吐出制御部４３でインクの吐出波形が調整される。吐出制御部４３は制御部１８に接続されている。吐出制御部４３では、例えば、ユーザーインターフェースを通して、ユーザーが吐出電圧または吐出波形を調整することが可能である。なお、後述するようにインクの温度が調整された状態で吐出される。

【0043】

アライメントカメラ４２、レーザ変位計４４および読取部４７も制御部１８に接続されている。キャリッジ４６にはＺ方向に移動させるための駆動部（図示せず）が設けられており、この駆動部は制御部１８に接続されており、制御部１８によりキャリッジ４６のＺ方向の移動が制御される。ここで、Ｚ方向とは、版胴２４の表面２４ａに垂直な方向である。

【0044】

アライメントカメラ４２は、インクの吐出位置、インクの吐出タイミング、パターンデータの補正をするためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。
アライメントカメラ４２は、アライメントマークＡ〜Ｄを検出することができれば、その構成は特に限定されるものではない。

【0045】

アライメントカメラ４２により、アライメントマークＡ〜Ｄが撮像されて、その撮像データが記憶部１４に記憶され、判定部１６ｄでアライメントマークＡ〜Ｄの位置が特定される。アライメントカメラ４２と判定部１６ｄは、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部として機能する。
アライメントマークＡ、Ｂの位置情報により、Ｙ方向におけるインクの吐出開始位置、Ｘ方向の印刷版の拡縮および印刷版の傾き角度θの情報を得ることができる。アライメントマークＡ、Ｃの位置情報により、Ｘ方向におけるインクの吐出開始位置およびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、例えば、印刷版の台形歪みの情報、すなわち、台形変形の情報を得ることができる。インクの吐出開始位置のことをインキング開始位置という。
印刷版２５は、アライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａが上述のＹ方向に平行であることが理想的である。しかし、印刷版２５を版胴２４に取り付ける際に、印刷版２５が版胴２４に対して、わずかであるが傾いてしまう。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、版胴２４上での印刷版２５の取り付け情報、例えば、版胴２４のＹ方向に対する印刷版２５の傾き等の情報を得ることができる。

【0046】

上述の得られた各種の情報により、インクの吐出開始位置、インクジェットヘッド４０の位置およびインクの吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知補正方法を用いることができる。
また、パターンデータについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知補正方法を用いることができる。
なお、アライメントマークは、少なくとも３つあればよく、Ｘ方向の印刷版の拡縮、印刷版の傾き角度θおよびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークが４つあれば、印刷版２５の台形歪みの情報も得ることができるため、４つあることが好ましい。さらには、アライメントマークＡ〜Ｄの内側にも複数のアライメントマークを設けることにより、非線形の補正を行うことができる。この場合、アライメントマークを用いた補正も公知補正方法を用いることができる。

【0047】

レーザ変位計４４は、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定するものである。インクによる版膨潤または温度等による版胴径＋版厚の変化により、アライメントマークＡとアライメントマークＣとのＹ方向における距離、すなわち、ＡＣ長が変化する。ここで、インクジェットヘッド４０のインクは、測定部１６ａのパルス信号のタイミングで吐出するため版胴径の変化を受けず版の長さの変化に対応するが、基板３１に転写したとき長さが変化してしまう。

【0048】

上述のＡＣ長の変化があっても基板３１上の印刷パターンの長さを一定にする目的で、このレーザ変位計４４により、版胴径＋版厚の変化を測定する。測定した結果に基づいて補正を行う。
補正の具体例としては、版胴２４の回転軸２４ｂから印刷版２５の版面２５ａまでの距離変動を精密に測定して、その結果に基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例以外に、例えば、版胴２４または環境の温度を測定して、予め作成した版胴２４の回転軸２４ｂと印刷版２５の版面２５ａまでの距離と温度との関係のテーブルに基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例により、版膨潤または版胴径の変化があっても精度よく印刷が可能となる。なお、転写するときに、版側と基板側の送り速度に差を設けると転写パターンの送り方向の寸法が変化することが知られている。

【0049】

レーザ変位計４４については、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
また、レーザ変位計４４は、印刷版２５の版面２５ａ迄の距離を測定することで、版胴径＋版厚の変化を測定することができる。これをＹ方向の拡大縮小に利用することができる。例えば、版胴２４の直径または印刷版２５の膜厚が、温度変化により変化するとアライメントマークＡとアライメントマークＣの間の長さが変化する。この長さの変化をパターンデータの補正に利用することができる。

【0050】

読取部４７は、後述する印刷版２５に形成された位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３（図５（ａ）参照）のマーク９０（図９参照）の位置とマーク９０に対して吐出されたインクの複数の着滴位置の位置情報を取得し、Ｙ方向におけるマークの位置とインクの着滴位置の差のデータを得るものである。
読取部４７は、例えば、１００万画素程度以上のＣＭＯＳまたはＣＣＤを備えるカメラ（図示せず）と、カメラに接続された画像処理部（図示せず）を有する。画像処理部は、カメラと一体でも、別体でもよく、例えば、調整部１６ｂに設けられる。
読取部４７では、カメラでマーク９０の画像とドット９２（図９参照）の画像を撮影し、マーク９０像とドット９２（図９参照）の画像データを取得し、画像処理部でマーク９０の位置情報と、着滴位置としてインクで形成されるドット９２の位置情報を、例えば、座標データとして得る。そして、マーク９０の位置情報の座標データとドット９２の位置の座標データとからマーク９０の位置とドット９２の差のデータを得る。マーク９０の位置とドット９２の差のデータは、座標データ、または座標データを版胴２４の測定器３７から出力されるパルス信号に基づくパルス数等の形式で得られる。マーク９０の位置とドット９２の差のデータは調整部１６ｂに出力される。調整部１６ｂでは、座標データまたはパルス数で表現された補正吐出タイミングデータが作成される。

【0051】

読取部４７において画像処理部による画像処理は、マーク９０の輪郭抽出と、ドット９２の輪郭抽出と、マーク９０の中心線ｃｍ（図９参照）とドット９２の中心位置の算出である。
マーク９０の中心線は、例えば、マーク９０の輪郭を矩形とみなしてマーク９０にあう矩形を求め、矩形のＹ方向の辺の二等分線を中心線とする。
ドット９２の中心位置は、例えば、ドット９２の輪郭を円とみなしてドット９２に合う円を求め、その円の中心位置とする。
画像処理については、輪郭抽出、２次元図形の中心位置を特定することができれば、公知のものを適宜利用することができる。
読取部４７を設ける位置は、位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３を読み取ることができれば、特に限定されるものではない。しかし、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の相対位置が振動によってずれても、読取部４７がキャリッジ４６にあることでその影響がなくなるため、読取部４７はインクジェットヘッド４０とともにキャリッジに搭載することが望ましい。

【0052】

上述のようにアライメントカメラ４２、レーザ変位計４４および読取部４７を用いることで、アライメント精度、およびインクの吐出タイミング精度を高くすることができる。印刷装置１０では、後述するように薄膜トランジスタの形成に利用される。薄膜トランジスタでは、１０μｍ程度のずれでも、設計した特性とは異なる特性になってしまう。複数の薄膜トランジスタを形成する場合、１０μｍ程度のずれがあっても特性がばらつくことになり、例えば、電子ペーパーに用いた場合、高い性能が得られないことになるが、このような特性のバラつきを抑制することができる。

【0053】

回動部４９は、インクジェットヘッド４０を版胴２４の表面２４ａに垂直な線を中心として回動させるものである。回動部４９により、印刷版２５の傾きにインクジェットヘッド４０の向きを合わせることができる。

【0054】

インクジェットヘッド４０は、図３（ａ）に示すように、印刷版２５の全幅に対応する長さにわたって、複数のノズル４１が千鳥配置されている。
千鳥配置を適用することで、ノズル４１を高密度に配置させることができる。なお、ノズル４１を配置する列数は、特に限定されるものではなく、一列でも二列でも、それ以上でもよい。また、ノズル４１は、マトリクス状に配置してもよい。
インクジェットヘッド４０の構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図３（ｂ）に示す構成でもよい。図３（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０は、Ｘ方向に、複数のヘッドモジュール４０ａが接続されている。この場合、複数のヘッドモジュール４０ａ一列につなぎ合わせた構成に限定されるものではなく、複数のヘッドモジュール４０ａを千鳥状につなぎ合わせた構成でもよい。
図３（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０では、吐出制御部４３によりヘッドモジュール４０ａ毎に吐出波形を調整することが可能である。また、ヘッドモジュール４０ａ毎に吐出制御部４３を設ければ、吐出制御部４３毎に吐出波形を調整することが可能である。

【0055】

インクジェットヘッド４０のインクを吐出させる方式は、特に限定されるものではなく、圧電素子のたわみ変形、ずり変形、縦振動等を利用して液体を吐出させる圧電方式、ヒーターによって液室内の液体を加熱して、膜沸騰現象を利用して液体を吐出させるサーマル方式、静電気力を利用する静電方式等、各種方式を用いることができる。

【0056】

次に、印刷装置１０のインク供給機構について説明する。
図４は、本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。
図４に示すように、画像記録部２２において、インクジェットヘッド４０は、２つのサブタンク５０、５８が、それぞれ配管５０ｃ、５８ｃを介して接続されている。配管５０ｃには脱気ユニット５１が設けられている。脱気ユニット５１はインクジェットヘッド４０に供給されるインクを脱気するものであり、公知のものを適宜利用することができる。

【0057】

サブタンク５０は、インクジェットヘッド４０に供給するインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５０ａと温度調整ユニット５０ｂとが設けられている。
水位センサ５０ａは、インクの水位を計測することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜利用することができる。
温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整するものである。これにより、インクの温度を調整することができる。インクの温度としては、例えば、１５℃〜３０℃程度であることが好ましい。温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜用いることができる。

【0058】

サブタンク５８は、インクジェットヘッド４０から回収されたインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５８ａと温度調整ユニット５８ｂとが設けられている。
水位センサ５８ａは、水位センサ５０ａと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。温度調整ユニット５８ｂも温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。

【0059】

サブタンク５８のインクをサブタンク５０に移動させる循環部６０がある。循環部６０は、サブタンク５０とサブタンク５８をつなぐ配管６０ｃと、配管６０ｃに設けられてポンプ６０ａとフィルタ６０ｂを有する。ポンプ６０ａは、サブタンク５０およびサブタンク５８のインク量を調整するためのものである。ポンプ６０ａは、サブタンク５０とサブタンク５８との間でインクを移動させることができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のポンプを適宜利用することができる。フィルタ６０ｂはサブタンク５８からサブタンク５０に移動するインクが通過し、このとき、ゴミ等を除去する。

【0060】

サブタンク５０およびサブタンク５８には、それぞれ配管６４ｃが挿入されており、この配管６４ｃにはポンプ６４ａが設けられている。また、配管６４ｃには配管６４ｄを介して圧力センサ６４ｂが接続されている。なお、図示はしないが、配管６４ｃ、６４ｄにはバルブ等が設けられている。これにより、サブタンク５０、５８は窒素ガスが充填される。また、窒素ガスの充填量を変えることで、サブタンク５０とサブタンク５８とで圧力差を生じさせて、容易に循環させることができる。
圧力センサ６４ｂにより、サブタンク５０とサブタンク５８の圧力を測定することができる。圧力センサ６４ｂによるサブタンク５０とサブタンク５８の各圧力の測定結果を用いることで、インクジェットヘッド４０のメニスカス負圧および循環量を制御することができる。

【0061】

サブタンク５０には、インクタンク５２が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。インクタンク５２内にはインク５２ｂが充填されている。
インクタンク５２には温度調整ユニット５２ａが設けられている。温度調整ユニット５２ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、インクタンク５２には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、インクタンク５２内に窒素ガスが充填される。

【0062】

さらには、サブタンク５０には、洗浄液ボトル５４が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。洗浄液ボトル５４内には洗浄液５４ｂが充填されている。
洗浄液ボトル５４には温度調整ユニット５４ａが設けられている。温度調整ユニット５４ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、洗浄液ボトル５４には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、洗浄液ボトル５４内に窒素ガスが充填される。
なお、温度調整ユニット５２ａでインクの温度を調整することができるが、インクの温度は、サブタンク５０のインクの温度＞インクタンク５２のインクの温度であることが好ましい。

【0063】

サブタンク５８は、配管６２ｆを介して廃液タンク５６が接続されている。配管６２ｆにはポンプ６２ａが接続されている。これにより、廃液タンク５６内にサブタンク５８内のインク５２ｂを廃液として移動させることができる。
インク５２ｂとしては、インクジェット用のナノメタルインクを利用することができる。具体的には、ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプを利用することができる。

【0064】

次に、印刷版２５について説明する。
図５（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。
図５（ａ）に示すように、例えば、印刷版２５は、アライメントマークＡ〜Ｄが、それぞれ四隅に設けられており、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ_１１、Ｇ_１２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ_２１、Ｇ_２２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ_３１、Ｇ_３２、吐出確認エリアＴが形成されている。さらに、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ_１１、Ｇ_１２、Ｇ_２１、Ｇ_２２、Ｇ_３１、Ｇ_３２、スピットエリアＧの両側に、それぞれ位置合せエリアＭ_１、Ｍ_３が形成されている。Ｘ方向における印刷エリアＧ_１１、Ｇ_２１、Ｇ_３１と印刷エリアＧ_１２、Ｇ_２２、Ｇ_３２との間に位置合せエリアＭ_２が形成されている。スピットエリアＧは位置合せエリアＭ_２で分断されている。
このようにＸ方向に沿って位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３が３箇所、離間して形成されている。位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３は、それぞれＹ方向に分割された複数の領域を有するものであり、例えば、８の領域を有する。位置合せエリアＭ_１は８の領域Ｍ_１１〜Ｍ_１８を有し、位置合せエリアＭ_２は８の領域Ｍ_２１〜Ｍ_２８を有し、位置合せエリアＭ_３は８の領域Ｍ_３１〜Ｍ_３８を有する。

【0065】

吐出確認エリアＴは、インクジェットヘッド４０により、テストパターン状にインクが吐出される領域である。吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
スピットエリアＧは、インクジェットヘッド４０により、通常の吐出動作で、インクを吐出し、吐出確認に利用される領域である。
印刷エリアＧ_１１〜Ｇ_３１、Ｇ_１２〜Ｇ_３２の前に、吐出確認のための領域、吐出確認エリアＴおよびスピットエリアＧを設けることで、印刷エリアＧ_１１〜Ｇ_３１、Ｇ_１２〜Ｇ_３２へのインクの吐出を確実にすることができる。

【0066】

位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３は、インクの着滴位置を確認して、インクの吐出タイミングを調べるためのものであり、マーク９０が形成されている。各位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３に複数のインクが着滴される。
位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３は、３箇所であるが、これに限定されるものではなく、複数、例えば、３箇所以上であれば、インクの位置検出精度を向上させることができる。
位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３は、Ｘ方向で複数箇所とすることで、異なるノズルでの比較が可能となる。特に、ラインタイプのインクジェットヘッド場合により多くのノズルを選択できるため有効である。また、インクジェットヘッド４０と印刷版２５との傾きも同時に検出することができる。
また、位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３は、それぞれＹ方向を複数領域とすることでＹ方向の非線形な変形にも対応することができる。特に、版胴方式を用いた場合には前述のように様々な要因でＹ方向の非線形な変形があるので、それも含めた補正が可能となる。位置合せエリアＭ_１、Ｍ_２、Ｍ_３については、後に詳細に説明する。

【0067】

図５（ｂ）に示すように、例えば、印刷版２５は、凹部２５ｂが形成されている。この凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されてパターン状のインクが付与される。凹部２５ｂがインク５２ｂに対して親液性である。なお、凹部２５ｂの深さは数μｍ程度である。
印刷版２５としては、樹脂、金属、ガラス等材料は限定されないが、樹脂版を用いると弾性があり、また印圧を下げることができるのでガラス等の脆性材料に印刷することが容易になる。印刷版２５としては、フロロシリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、ネオプレンゴム、ハイバロンゴム、ウレタンゴム等の種種のエラストマが使用できるが、離型性のよいＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等のシリコーンゴム、およびフッ素ゴム等が望ましい。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等を用いることで転写性が向上して、転写後、印刷版２５にインクが残ることが抑制されて、印刷版２５の洗浄なしでも連続印刷が可能となる。これにより、印刷効率を向上させることができる。
なお、印刷版２５は予め定められたパターン状に凹部２５ｂが形成されたものを用いるが、凹部２５ｂは、公知の方法で形成される。例えば、印刷版２５は、一般的な手法で形成され、例えば、フォトリソグラフィー、インプリント、オフセット印刷版およびフレキソ印刷版と同様の手法を用いて形成される。

【0068】

図６は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。
図６に示すように、インクジェットヘッド４０に対して、回転ローラ７０が配置されている。この回転ローラ７０は、回転軸７０ａを有し、回転軸７０ａを中心に回転する。回転ローラ７０には、その周面７０ｂに、インクジェットヘッド４０の洗浄のためのウェブ７２が巻きかけられている。このウェブ７２は、インクジェットヘッド４０のインク５２ｂを取り除くことができれば、特に限定されるものではない。例えば、洗浄部７４により洗浄液７４ａを、インクジェットヘッド４０に直接、塗布または噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除く。また、ウェブ７２に洗浄部７４により洗浄液７４ａを噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除いてもよい。

【0069】

洗浄液には、例えば、インク溶解性のある溶剤またはインク成分のうち固形分が含まれない溶液が用いられる。ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプには、炭化水素系の溶剤を利用することができる。炭化水素系の溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、テトラデカン、シクロドデセンを用いることができる。
ウェブ７２には、例えば、ＫＢセーレン社製、サヴィーナ（登録商標）、東レ社製、トレシー（登録商標）、および帝人社製、ナノフロント（登録商標）、ミクロスター（登録商標）等のワイピングクロスを用いることができる。

【0070】

また、インクジェットヘッド４０を洗浄するものとしては、図６に示すものに限定されるものではない。例えば、ゴムブレード（図示せず）を有する構成とすることもできる。インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向に移動可能であるため、これを利用して、ゴムブレードを固定してインクジェットヘッド４０の長手方向にインクをふき取る。また、インクジェットヘッド４０を固定して、ゴムブレードを走査してワイプしてもよい。このとき、インクジェットヘッド４０の長手方向と直交する短手方向にインクをふき取るとゴムブレードの移動距離を短くできるメリットがあり、これ以外にも、ふき取ったインクが他のノズルに入る可能性が少ないメリットがある。一方、インクジェットヘッド４０の長手方向と平行な方向にインクをふき取るとインクジェットヘッド４０のＸ軸を共有できるメリットがある。そこで装置構成またはコストを考慮した最適の形で設計することがよい。
なお、ゴムブレードまたはインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取るようにしてもよい。インクをふき取る時には、サブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。

【0071】

ウェブ（図示せず）を用いる場合、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｘ方向に移動させながら、ウェブを移動させてワイプする。これによりウェブ面が常にリフレッシュされる。ウェブには、上述のウェブ７２と同じものを用いることができる。
なお、ウェブに洗浄液を事前に含ませて、インクをふき取ること、およびインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取ることのうち、少なくとも一方をしてもよい。インクをふき取る時にはサブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。

【0072】

メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０について、パージ、スピットおよびドリップ等の動作を行わせることもできる。
ここで、パージとは、インクジェットヘッド４０をインク受け７７上に配置し、この状態でサブタンク５０の圧力を正圧にして、ノズル４１からインクを押し出すことである。インク受け７７は、キャップ、ワイプ部と共有することもできる。

【0073】

スピットとは、吐出動作のことである。これにより、ノズル詰まり、吐出曲がりを改善することができる。なお、スピットはパージと同様の場所で実施するが、スピット用のステーションを設けてもよい。この場合、吐出したインクが舞わないように下から吸引を行うことが好ましい。スピット時は、印刷時のインクジェットヘッド４０に吐出波形と比較して駆動電圧を高くするか、または専用波形を用いる。専用波形は、印刷時の吐出波形と比較してインク液滴量が多く、インクの吐出速度が早くなるように設定する。

【0074】

ドリップとは、上述のパージ程、インクを強く押し出す回復動作ではなく、ゆっくりとインクが垂れることで回復させる動作である。これにより、ノズルの詰まり、インクの吐出曲がりを改善することができる。なお、ドリップもパージまたはスピットと同様の場所で実施するが、ドリップの際、サブタンク５０内の圧力を印刷時の圧力よりも正圧側にすることで実施する。しかしながら、サブタンク５０内の圧力は大気圧より正圧であり、かつパージ圧より低いことが好ましい。

【0075】

また、メンテナンス部３６では、ノズル４１の乾燥防止のため、キャップ機構（図示せず）を有してもよい。キャップ機構では、ノズル４１にキャップした後、ノズル４１周辺を窒素ガスで満たすものである。また、洗浄液をウェブ等に浸してキャップの中に配置することでノズル４１の乾燥をより防止することもできる。

【0076】

図７は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。
図７に示すように、メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０から吐出されたインク液滴４５を観察する吐出観察部７６と、インクジェットヘッド４０のノズル４１（図３（ａ）参照）を、ノズル４１が形成された面側から観察するノズル観察部７８とを有する。インク液滴４５を受けるインク受け７７がインクジェットヘッド４０に対向して設けられている。

【0077】

吐出観察部７６は、光源７６ａと撮像部７６ｂを有し、光源７６ａと撮像部７６ｂとが、インク液滴４５を挟んで配置されている。光源７６ａには、ＬＥＤ光源およびストロボ光源を利用することができる。ストロボ光源としては、例えば、菅原製作所のナノパルスライトを用いることができる。
撮像部７６ｂには、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。カメラレンズとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍、ワーキングディスタンスが３０ｍｍ以上のカメラレンズが用いられる。カメラとしては、例えば、１００万画素程度以上のモノクロＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられる。なお、吐出観察部７６では、吐出されたインク液滴４５の影を観察するためカラーである必要性はない。

【0078】

ノズル観察部７８は、撮像部７８ａにレンズ７８ｂの一方の端が接続され、このレンズ７８ｂの他方の端に光源７８ｃが設けられている。
撮像部７８ａには、例えば、１００万画素程度以上のＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられ、カラー、およびモノクロのいずれも用いることができる。
レンズ７８ｂとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍のカメラレンズが用いられる。カメラレンズには、インクが付着する可能性があるため、カメラレンズには取り替え、またはクリーニングが容易な保護フィルタを設けることが望ましい。
撮像部７８ａとレンズ７８ｂとは一体でも別体でもよい。一体の場合、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。
光源７８ｃには、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）光源を利用することができ、同軸照明またはリング照明等を用いることができる。

【0079】

吐出観察部７６およびノズル観察部７８は、いずれも制御部１８に接続されており、光源７６ａ、７８ｃと撮像部７６ｂ、７８ａの動作は制御部１８で制御され、撮像部７６ｂ、７８ａで得られた撮像データは制御部１８により、記憶部１４に記憶される。制御部１８でインクジェットヘッド４０でのインクの吐出状態が、例えば、インクジェットヘッド４０の吐出特性の設計値と比較されて、その比較結果が、記憶部１４に記憶される。

【0080】

本発明の印刷装置１０では、例えば、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極を作製することができる。
図８は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
図８に示す薄膜トランジスタ８０（以下、ＴＦＴ８０という）は、ゲート電極８２と、ゲート絶縁層（図示せず）と、ソース電極８６ａと、ドレイン電極８６ｂと、半導体層（図示せず）と、保護層（図示せず）とを有する。
ＴＦＴ８０においては、ゲート電極８２を覆うように、ゲート絶縁層（図示せず）が形成されている。このゲート絶縁層上にチャネル領域８４として予め設定された隙間をあけて、ソース電極８６ａとドレイン電極８６ｂとが形成されている。チャネル領域８４上に活性層として機能する半導体層（図示せず）が形成されている。半導体層、ソース電極８６ａおよびドレイン電極８６ｂを覆う保護層（図示せず）が形成されている。なお、チャネル領域８４のチャネル長は数μｍ〜数十μｍオーダである。薄膜トランジスタのドレイン電流は、チャネル長の影響を受け、チャネル長のばらつきは、薄膜トンランジスタの特性のばらつきに結びつく。

【0081】

次に、印刷装置１０におけるインクの吐出タイミングの調整について説明する。
デジタルインキング方式では、印刷版２５に対して正確にインキングすることが重要である。
インクの吐出タイミングを制御しているロータリーエンコーダ等の計測機器の分解能に限界があり、デジタル誤差が発生し、累積誤差として長寸法精度が低下する。例えば、１２００ｄｐｉ（dots per inch）の解像度でインキングする場合、２１．１６６・・・μｍ間隔でインキングする必要がある。エンコーダ１パルスの距離を１μｍとすると、２１パルス、すなわち、２１μｍでインクを１回吐出するか、２２パルス、すなわち、２２μｍでインクを１回吐出するかの何れかとなる。このため１回のインクの吐出での誤差は小さいが、大きな面積にインキングすることを考えるとこの誤差は累積される。例えば、１２００ｄｐｉで２５４ｍｍをインキングした場合には、ドット数は１２，０００となる。実際のインキング距離は２１パルスで１回吐出とすると２１μｍ（２１パルス）×１２０００＝２５２ｍｍとなり、２ｍｍずれが生じる。２ｍｍのずれは、ポスター、チラシ等のグラフィック分野においては大きな問題とならないこともあるが、プリンテッドエレクトロニクス分野では、１〜１０μｍレベルでの位置あわせ、幅１〜１０μｍレベルの配線パターンが必要とされており、２ｍｍのズレは桁外れに大きい。デジタルインキング方式では印刷版２５とインク位置が大きくずれることになる。

【0082】

理想系における解決方法は、例えば、上述の特許文献２に開示されているように、２ヵ所のアライメントマーク位置を把握して、累積誤差がエンコーダの分解能を超えた段階で補正のパルスで調整することである。
しかしながら、吐出信号が入力されてからインクが印刷版２５に着滴するまでには、例えば、吐出速度５ｍ／ｓ、ノズルと印刷版２５との距離が１ｍｍで、０．２ｍｓかかる。このため、ロータリーエンコーダでの読み取り位置、吐出タイミング、および着滴位置は一致しない。したがって、版の送りのわずかな揺らぎが着滴位置をずらすことになる。特に、基板が平面でなく、版胴に巻かれた状態では、ロータリーエンコーダに揺らぎはなくても、版胴２４の偏芯または印刷版２５の膜厚むらによって送り量が変わってしまう。さらに、版胴２４の真円度、版胴２４の送りの速度むら、印刷版２５を版胴２４に巻きつけたときの版変形、温湿度による版胴２４もしくは印刷版２５の歪、または印刷版２５がインク溶媒を吸収することによる膨潤による印刷版２５の変形によってもロータリーエンコーダでの読み取り位置、吐出タイミング、および着滴位置は一致しない。また、振動によって印刷版２５とインクジェットヘッド４０の位置関係がずれることもある。

【0083】

図９は、印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第１の例を示す模式図である。以下の説明では、位置合せエリアＭ_１〜Ｍ_３において、位置合せエリアＭ_１を例にして説明するが、位置合せエリアＭ_２、Ｍ_３でも同じである。
図９に示すように位置合せエリアＭ_１には、インクの着滴位置の基準となるマーク９０がＹ方向に沿って、複数等間隔で形成されている。マーク９０は、インクの着滴位置の基準となるものであり、例えば、長辺がＹ方向に垂直に配置された長方形状である。マーク９０が形成された領域がマーク形成領域２７ａである。マーク形成領域２７ａに並んでインクが着滴されるインク着滴領域２７ｂがある。インク着滴領域２７ｂには、例えば、Ｘ方向に並んで３つ、インクが着滴されてドット９２が形成される。

【0084】

マーク９０は、例えば、Ｙ方向に２０μｍピッチで形成されている。ロータリーエンコーダは１パルス、１μｍとする。この場合、設計値としては、２０パルスでインクを１回吐出する。すなわち、２０μｍピッチでインクを吐出し、３００ｍｍ長で１５０００画素となる。このとき、パルス数は３００，０００である。
図９では、一番上のマーク９０とドット９２のＹ方向の差Δ１が−３５パルスであり、一番下のマーク９０とドット９２のＹ方向の差Δ２が−１００パルスである。
なお、Ｙ方向の差Δ１、Δ２の値のマイナスは、図９において、ドット９２がマーク９０に対してＹ方向の反対側にあることを意味する。すなわち、ドット９２がマーク９０よりも上側にあることである。

【0085】

上述の１２００ｄｐｉでインキングする長さ３００ｍｍをインキングする場合、２０パルスでインクを１回吐出すると３００ｍｍには足りず、２１パルスでインクを１回吐出すると３１５０００パルスとなり、３００ｍｍを超えてしまう。この場合、調整部１６ｂで、２０パルスと２１パルスを混在させてインキングする長さに対して誤差が最も小さくなるインクの吐出タイミングを求めて、インクの吐出タイミングを調整する。インクの吐出タイミングを調整する方法としては、インキングする長さ３００ｍｍにおいて誤差が最も小さくなるようにインクの吐出を間引く方法を用いることができる。この場合、公知方法を適宜利用することでき、例えば、特開２００５−２４６１２３号公報の方法を用いることができる。
これ以外にも、使用するインクの吐出間隔を予め設定しておき、この吐出間隔を組合せでインキングする長さに対して誤差が最も小さくなる組合せを算出し、この組合せを利用することもできる。その他、１２００ｄｐｉ等のインキングの分解能と、ロータリーエンコーダ等の測定器３７の分解能とによるデジタル誤差を解消できる方法を適宜利用することができる。

【0086】

ここで、マーク９０は、特に限定されるものではないが、例えば、光学的に読み取り可能なもので構成される。例えば、マーク９０は、印刷版２５の印刷パターンの形成と同時に、同じく凹版の構成で形成される。マーク９０が凹版であれば、マーク９０が凹部になり、マーク形成領域２７ａが凸部になる。
印刷版２５は、上述のように、一般的な手法で形成される。また、上述の特開２００５−８１７２６号公報に記載の手法を用いることで、マーク９０を凹凸で構成することに加えてインクに対して親液性と撥液性を有するものを形成することもできる。

【0087】

Ｙ方向の差とは、Ｙ方向におけるマークの位置とインクの着滴位置の差のことである。上述のようにマークの位置とインクの着滴位置の差のデータは、読取部４７で以下のようにして取得される。
まず、マーク９０を撮影し、マーク９０の位置情報を取得する。具体的には、マーク９０の位置を読み取り、Ｙ方向の中心線ｃｍを求め、この中心線ｃｍを基準とする。
ドット９２の位置がインクの着滴位置を表すものである。３つのドット９２を撮影し、３つのドット９２の位置情報を取得し、３つのインクの着滴位置の位置情報を取得する。３つのドット９２のＹ方向における中心位置の平均値ｃｄを基準とする。マーク９０のＹ方向の中心線ｃｍと、ドット９２のＹ方向における中心位置の平均値ｃｄとの差を求める。この差を表すデータを得る。
なお、マーク９０の中心線とドット９２の中心位置の求め方は、上述の通りであるため、その詳細な説明は省略する。

【0088】

印刷装置１０におけるマークは、上述の図９に示すもの限定されるものではない。また、インクをマーク９０に隣接して吐出したが、マーク９０内にインクを吐出してもよい。ここで、図１０は、印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第２の例を示す模式図である。
図１０では、位置合せエリアＭ_１に、設計された吐出間隔Ｐ１に対してＹ方向に配置位置を変えたマーク９０ａ〜９０ｅがＹ方向に沿って、予め定められた配置間隔で形成されている。マーク９０ａ〜９０ｅの配置位置はインクの吐出間隔Ｐ１の整数倍ではない。符号Ｅｐは設計値として設定される吐出位置である。マーク９０ａ〜９０ｅはインクの着滴位置の基準となるものである。
マーク９０ａ〜９０ｅに対して、インクジェットヘッド４０からインクを吐出し、ドット９２を得る。マーク９０ａ〜９０ｅの配置位置とドット９２の位置との差のデータを上述のように求める。図１０の例では、マーク９０ｃ内にドット９２があり、マーク９０ｃの位置がインクの最良吐出タイミングである。このときのマーク９０ｃの位置とドット９２の位置との差のデータをパルス数の形式で算出する。そして、上述の最良吐出タイミングを基にして、上述のようにインクの吐出タイミングを調整する。このように、マークの配置位置をＹ方向に少しずらした位置に配置することでマークの位置とインクの着滴位置との位置関係を容易に算出できる。
なお、マーク９０ａ〜９０ｅはＹ方向に沿って形成したが、これに限定されるものではなく、Ｘ方向に並べて形成してもよい。

【0089】

また、図１１に示すように、マーク９４ａ〜９４ｅをＹ方向に対して垂直ではなく斜めに形成してもよい。マーク９４ａ〜９４ｅはインクの着滴位置の基準となるものである。
ここで、図１１は印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第３の例を示す模式図である。
図１１では、位置合せエリアＭ_１に、Ｙ方向に対する角度を変えたマーク９４ａ〜９４ｅがＹ方向に沿って形成されている。マーク９４ａ〜９４ｅのＸ方向の中心位置はインクの吐出間隔Ｐ１の整数倍になっている。符号Ｅｐは設計値として設定される吐出位置である。

【0090】

マーク９４ａ〜９４ｅに対してインクを吐出し、ドット９２を得る。マーク９４ａ〜９４ｅの配置位置とドット９２の位置の差のデータを上述のように求める。図１１の例では、マーク９４ｅの位置に対してドット９２の位置の差が小さく、すなわち、Ｙ方向の差が小さく、マーク９４ｅの位置がインクの最良吐出タイミングである。このときのマーク９４ｅの位置とドット９２の位置との差のデータをパルス数の形式で算出する。そして、上述の最良吐出タイミングを基にして、上述のようにインクの吐出タイミングを調整する。このように、マークをＹ方向に対して傾けて配置することで、マークとインクの着滴位置との位置関係を容易に算出できる。
なお、マーク９４ａ〜９４ｅはＹ方向に沿って形成したが、これに限定されるものではなく、Ｘ方向に並べて形成してもよい。

【0091】

ここで、図１２は、印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第４の例を示す模式図である。図１２では、左から右のマークに進むにつれて時間が経過していることを示す。
図１２では、位置合せエリアＭ_１に、設計された吐出間隔Ｐ１に対してＹ方向に配置位置を変えたマーク９６ａ〜９６ｅがＹ方向に沿って形成されている。マーク９６ａ〜９６ｅの配置位置はマーク９０ａ〜９０ｅと同じくインクの吐出間隔Ｐ１の整数倍ではない。符号Ｅｐは設計値として設定される吐出位置である。また、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９７は、インクに対して撥液性の撥インク部であり、インクを弾く。例えば、マーク９６ａ〜９６ｅは凹部であり、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９７は凸部である。
なお、マーク９６ａ〜９６ｅはインクの着滴位置の基準となるものである。マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９７はマーク形成領域２７ａに相当する。
この場合、インクをマーク９６ａ〜９６ｅに吐出すると、例えば、マーク９０ａ、９０ｂ、９０ｄ、９０ｅのように、ずれてドット９２が形成されても、部分９７がインクを弾くため、時間が経過すると、ドット９２はマーク９０ａ、９０ｂ、９０ｄ、９０ｅ内に収まる。このため、タイミングがあっているマーク９０ｃとの違いがなくなり、正確なマークの位置とドットの位置との差のデータを得ることができない。このように、部分９７を、インクを弾くものとすることで、マークから多少ずれてインクを着滴してもマークにインクが移動してしまう。このことから、マーク９６ａ〜９６ｅ外の部分９７はインクを弾かないことが好ましい。

【0092】

なお、インクに対して撥液性、インクに対して親液性とは、以下に示すようにして評価することができる。
撥液性が予想される領域と親液性が予想される領域とに液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性を有する撥インク部、液滴量が増加した領域が親液性を有する親インク部である。
なお、版作成の工程で撥液性と親液性が付与される。この場合、撥液性と親液性の評価は、撥液性の撥インク部、親液性の親インク部の境界に液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性、液滴量が増加した領域が親液性である。
版の凹凸の境界と撥液性の撥インク部と親液性の親インク部の境界が一致している場合には、その凹凸から境界を見分けることができる。版の凹凸が小さく境界を見分けることが困難な場合には、境界付近に液滴を複数着滴させることで境界での液滴量の変化を評価することができる。また、版の凹凸の境界を示すアライメントマークを予め設けることで境界を知ることもできる。

【0093】

ここで、図１３は、印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第５の例を示す模式図である。
図１３は、図１２に比して、マーク９６ａ〜９６ｅとそれ以外の部分２７ｃがインクに対して同じ撥液性である点が異なり、それ以外の構成は図１２に示す各構成物と同じである。このため、図１３は図１２と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。この場合、例えば、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分２７ｃが凸部である。マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分２７ｃは、マーク形成領域２７ａに相当する。
図１３に示すように、マーク９６ａ〜９６ｅとマーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分２７ｃとを、同じ撥液性とし、撥インク部としてインクを弾くようにする。これにより、マーク９０ａ、９０ｂ、９０ｄ、９０ｅのように、ずれてドット９２が形成された場合、時間が経過してもドット９２は、ずれた状態となる。マーク９０ｃはタイミングがあっており、時間が経過してもドット９２はマーク９０ｃに収まった状態にある。これにより、正確なマークの位置とドットの位置との差のデータを得ることができ、インクの吐出タイミングを高い精度で調整することができる。

【0094】

ここで、図１４は、印刷版に形成されたインクの着滴位置の基準となるマークの第６の例を示す模式図である。
図１４は、図１２に比して、マーク９６ａ〜９６ｅがインクに対して撥液性の撥インク部であり、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９９がインクに対して親液性の親インク部である点が異なり、それ以外の構成は図１２に示す各構成物と同じである。このため、図１３は図１２と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。この場合、マーク９６ａ〜９６ｅが凸部であり、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９９が凹部である。なお、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９９はマーク形成領域２７ａに相当する。
図１４に示すように、マーク９６ａ〜９６ｅがインクを弾き、マーク９６ａ〜９６ｅ以外の部分９９がインクを弾かないようにする。これにより、マーク９０ａ、９０ｂ、９０ｄ、９０ｅのように、ずれてドット９２が形成された場合、時間が経過するとドット９２は部分９９に移動する。マーク９０ｃはタイミングがあっており、時間が経過してもドット９２はマーク９０ｃに収まった状態にある。インクの着滴位置がマーク９０ｃに一致したときのみ、インクが安定してマーク９０ｃに載りドット９２が形成される。これにより、より高い精度でマークの位置とドットの位置との差のデータを得ることができ、インクの吐出タイミングをより高い精度で調整することができる。

【0095】

次に、印刷装置１０における印刷版２５の傾き補正について説明する。
図１５は本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の一例を示す模式図である。
なお、図１５では、理想的な配置の印刷版２５ｉを想像線で示す。理想的な配置とは、版胴２４のＹ方向と印刷版２５のアライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａが上述のＹ方向に平行であることをいう。図１５は、印刷版２５が理想的な配置の印刷版２５ｉに対して角度α傾いて配置された状態が示されている。

【0096】

印刷版２５を版胴２４に取り付けたときに傾きが生じてしまう。印刷版２５が角度α回転して取り付けられた場合、Ｙ方向の送り量とパターンのＹ方向長さが一致しなくなる。
この場合、まず、印刷版２５の傾きを算出する。アライメントマークＡとアライメントマークＣの２つの位置を特定することにより、印刷版２５の傾き、すなわち、角度αを算出することができる。より望ましくは前述と同様にマーク９０とインクの着滴位置との比較で行う。これにより、インクジェット吐出の誤差も含めた印刷版２５の傾きの補正が可能となる。
例えば、図１５に示すように、印刷版２５の傾き検出のためのマーク１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃは、印刷版２５の辺に平行に伸びる直線とする。マーク１４０ａ〜１４０ｃは、それぞれ１本の直線であってもよく、複数の領域に分断されたものであってもよい。
また、マーク１４０ａ〜１４０ｃは、全て同じであることに限定されず、それぞれ角度が異なっていてもよい。角度が異なるマーク１４０ａ〜１４０ｃを設けることで、例えば、１つのマーク全域にインクが着滴していれば、そのマークの角度が印刷版２５の傾き角度であることがわかる。

【0097】

マーク１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃに合うようにインクジェットヘッド４０でインクを着滴させて、印刷版２５の傾きを算出する。インク着滴位置をより正確にするため、上述のようにマーク１４０ａ〜１４０ｃを撥インク部とし、マーク１４０ａ〜１４０ｃ以外の部分を親インク部とする。これにより、マーク１４０ａ〜１４０ｃに着滴しなかったインクが、マーク１４０ａ〜１４０ｃでドットを形成することを排除することができる。
印刷版２５の傾きが角度αであれば、Ｙ方向の長さがＬのものに対して、Ｙ方向の送り量はＬ・ｃｏｓθとなる。エンコーダ信号の出力間隔もｃｏｓαずれる。これらを考慮したインクの吐出タイミングを算出すればよい。
このときは、Ｙ方向の長さは印刷版２５とインクジェットヘッド４０が一致するがＸ方向にズレが生じてしまう。これに対しては、インクジェットヘッド４０を印刷版２５の傾きと同じだけ傾けることとインクジェットヘッド４０と印刷版２５を相対的にＸ方向に移動させることで対応することができる。
マーク１４０ａ〜１４０ｃのインクの着滴は、読取部４７で撮影され、画像処理等がなされる。エンコーダ信号の出力間隔の調整は１６ｃでなされる。

【0098】

また、読取部４７をＸ方向に走査した場合、インクジェットヘッド４０の両側にあるノズルのインクの吐出タイミングがずれるため、Ｙ方向でインクの着弾位置がずれてしまい、印刷版２５にパターンを正確にインキングすることができない。このため、インクジェットヘッド４０の両側にあるノズルのインクの吐出タイミングは調整部１６ｂで調整される。また、インクジェットヘッド４０を印刷版２５の傾きの角度αに合わせて回動させる。これにより、Ｙ方向でインクの着弾位置のずれを抑制することができる。すなわち、印刷版２５の傾きを補正することができる。

【0099】

上述以外にも、インクジェット吐出する画像パターンを拡大縮小回転させることでも同様のことができる。例えば、印刷版２５が角度α傾いている場合、形成するパターン８９のパターンデータを補正部１６ｃにてｃｏｓα倍して補正する。インクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する。この補正パターンデータを用いて、パターンを形成する。
なお、複数のマーク１４０ａ〜１４０ｃを用意しておき、印刷版２５の傾きに対応したマークを選択することで、読取部４７での読取長さのずれを抑制することができる。

【0100】

印刷版２５の傾きの補正について、より具体的には、例えば、図１６（ａ）に示すように、印刷版２５が傾いており、回転方向Ｙに平行な配線パターン８９ａが印刷開始位置８９ｓと印刷終了位置８９ｅとでＸ方向に４０μｍずれているような場合、この配線パターン８９ａを１つのノズル４１ｂによるインキングで作製するためには、配線パターン８９ａの４０μｍのずれに合わせてノズル４１ｂの位置を、例えば、Ｘ方向と平行なＤｈ方向に移動させる必要がある。すなわち、インクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させる必要がある。なお、図１６（ａ）において、符号Ｈｙは、インクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させないときのノズル４１ｂの移動方向を示す。移動方向ＨｙはＹ方向の平行な方向である。符号Ｈｍはインクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させたときのノズル４１ｂの移動方向を示す。移動方向ＨｍはＸ方向と平行な方向である。

【0101】

また、例えば、図１６（ｂ）に示すように、印刷版２５が傾いているとき、ノズル４１が千鳥配置されているインクジェットヘッド４０を用いた場合、インクジェットヘッド４０を傾けると、ノズル４１の間隔ｔ１、ｔ２が、ｔ１＜ｔ２となり、ノズル４１間隔が不均一になる。このため、傾いた印刷版２５に対して、常に一定の場所にインクジェットヘッド４０が配置されるように、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｄｈ方向に移動させる必要がある。具体的には、インクジェットヘッド４０の位置が固定された場合、印刷版２５が傾いていると、印刷版開始位置２５ｓと印刷版終了位置２５ｅとでは距離Ｄｗずれる。このため、印刷版２５のＹ方向への移動量に応じてインクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させることで印刷版２５に対して、常に一定の場所にインクジェットヘッド４０を配置させることができる。

【0102】

以上のように印刷版２５の傾き補正の方法を用いて印刷版２５の傾きを補正することで、印刷版２５が傾いて取り付けられても、インクの打滴位置のずれを抑制し、パターンの大きさおよび位置等を変えることなく、高い精度で印刷版２５にパターンを形成することができる。これにより、印刷版２５の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させることができる。
なお、印刷版２５の傾きについては、上述のように、許容範囲を設定しておき、許容範囲内であれば、印刷版２５の傾き補正をしないようにしてもよい。

【0103】

次に、印刷装置１０で形成される配線パターンについて説明する。
ここで、図１７（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。図１８（ａ）は、転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図１９（ａ）は、転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図２０（ａ）は、転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。

【0104】

印刷装置１０で形成される配線パターンにおいては、図１７（ａ）に示すように、印刷版２５の凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されて、中央に凹部１１０があるインク形状となっている。この状態で、図１７（ｂ）に示すように、印刷版２５を基板３１に押し付け、図１７（ｃ）に示すようにインクを基板３１の表面３１ａに転写すると、凹部１２２のある配線パターン１２０が形成される。
なお、印刷版２５でのインクの形状、および配線パターン１２０の形状は、例えば、コンフォーカル顕微鏡（ＯＰＴＥＬＩＣＳ Ｈ１２００、レーザーテック社製）、および微細形状測定機サーフコーダ（ＥＴ４０００−Ｌ、小坂研究所製）を用いて測定することができる。

【0105】

上述のように形成された配線パターン１２０（図１７（ｃ）参照）は、印刷版２５上での転写前のインク形状がそのまま基板３１の表面３１ａに転写されることがわかった。例えば、インク形状が、印刷版２５で、図１７（ａ）に示すように中央に凹部１１０がある場合、いわゆるコーヒーステイン形状をしていた場合、基板３１上でも、図１７（ｃ）に示す配線パターン１２０のように中央に凹部１２２がある形状、いわゆるコーヒーステイン形状であった。
版胴２４から基板３１に転写されて配線パターン１２０が形成されるため、配線パターン１２０は、印刷版２５での形状を反転した形状になるとも考えられるが実際はそのようにはならなかった。基板３１への転写のメカニズムは明確にはなっていないが、印刷版２５にＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いているため転写時の印圧によってＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）が変形して、基板とインクと印刷版（ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン））が密着しているためと考えられる。
このことは、転写前の印刷版上のインク形状をコントロールすることで配線パターンの断面形状を自由にコントロールすることができることを示唆している。
インクの揮発状態を変えることでコーヒーステインをコントロールすることが知られており、配線パターンの仕様に応じた形状をインク設計で可能なことを示している。また、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）は溶剤を吸収することが知られており、この吸収量を制御することでも同様の効果を得ることができる。

【0106】

例えば、図１８（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１２が平らな場合、図１８（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面が平らな配線パターン１２４が形成される。
また、例えば、図１９（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１４が凸な場合、図１９（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１２８が凸な配線パターン１２６が形成される。
また、例えば、図２０（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１６が凹な場合、図２０（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１３２が凹な配線パターン１３０が形成される。
なお、表面１１６が凹なインク５２ｂでは、上述の図２０（ａ）、（ｂ）に示しているが、図２０（ｃ）に示す基板３１の表面３１ａ側に凹部１３６がある配線パターン１３４は形成されない。

【0107】

印刷装置１０では、版面観察部２６および判定部１６ｄを設け、版面観察部２６にて、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａを撮像して版面撮像データを得て、調整ユニット１６の判定部１６ｄにてインクの付与が適正であるか否かを判定することできる。調整ユニット１６の判定部１６ｄでの判定結果に応じて、次回以降のインクの付与方法、版面の修復等を行うことで、直接的な印刷結果ではないが、実際の基板による印刷結果相当の検査が可能となり、検査の信頼性が向上し、印刷精度を向上させることができる。しかも、印刷確認のために基板３１を無駄にすることもない。さらには、検査ロール等の複雑な構成の必要がないため、装置コストも低減することができる。
また、ドクタリングが不要であり、ドクタリングに伴う印刷版２５の版面２５ａの地汚れを防止し、かつ印刷版２５の耐久性も改善することができる。

【0108】

次に、本実施形態の印刷方法について印刷装置１０を用いて説明する。
図２１は、本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。
上述のように、版胴２４を複数回回転させて、各回転毎に、インクをパターン領域内に付与する。図２１において、距離は版胴２４の回転量を示したものであり、距離が０は、印刷版２５の初期位置を示す。
また、図２１において、符号１００は、インクの吐出するタイミングを示し、符号１０２はインクを乾燥する区間を示し、符号１０４は基板３１に転写する区間を示す。また、符号１０６は、複数回印刷する場合、印刷版２５の印刷の開始位置を示す。

【0109】

印刷装置１０では、印刷しようとするパターンのパターンデータに基づいて、特定のパターンが基板３１に印刷される。アライメントカメラ４２でアライメントマークＡ〜Ｄの位置情報を取得し、印刷版２５の取り付け位置情報を取得し、印刷版２５の傾きを求める。が印刷版２５の傾きが許容範囲内である場合、傾き補正をすることなくパターンを印刷する。この場合、読取部４７で位置合せエリアＭ_１〜Ｍ_３のマーク９０の位置情報と、インクの着滴位置情報、すなわち、ドット９２の位置情報が取得され、マーク９０の位置とドット９２の位置の差のデータが算出されており、この差のデータに基づくインクジェットヘッド４０からのインクの吐出タイミングが調整されている。この状態で、予め定められた吐出波形でインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。
一方、印刷版２５の傾きが許容範囲から外れる場合、傾き補正をしてパターンを印刷する。このように印刷版２５の傾き補正をすることで、印刷版２５の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させることができる。

【0110】

図２１に示す例では、版胴２４を４回回転させ、各回転毎にインクを打滴する。インクの打滴毎に、版面観察部２６にて印刷版２５の版面２５ａの情報を取得し、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて判定し、その判定結果に基づいて、制御部１８でインクの吐出量、吐出密度が調整されて、次のインクの打滴を実施する。この場合、印刷版２５の凹部での不足がある場合には不足部分の周辺のインクの打滴量を多くし、形成されるドットを大きくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも多くして、打滴密度を高くする。
逆に、印刷版２５の凹部で、先のインクの打滴の際に大きなドットとなってしまった場合、インクの打滴量を少なくし、形成されるドットを小さくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも少なくして、打滴密度を下げる。
また、インクジェットヘッド４０が冗長ノズルを有する場合には、冗長ノズルを用いることもできる。

【0111】

例えば、２４００ｄｐｉのパターンデータの場合、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉのパターンの４回走査、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉのパターンの４回走査で、パターン領域へのインクの付与（インキング）を完了することができる。
また、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合、１ノズルの隣接画素間距離（最小値）も２１．２μｍで吐出周波数の要求は低いものの、ノズル数がＸ方向で６００ｄｐｉと比べて２倍必要となる。Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は２１．２μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響が懸念される。
一方、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉの場合、ノズル数は上述のＸ方向１２００ｄｐｉと比較して１／２となり、Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は４２．３μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響は減るものの、Ｙ方向の隣接画素間距離（最小値）が１０．６μｍとなり、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合と比較して２倍の高周波吐出が必要となる。

【0112】

次に、本実施形態の印刷装置１０の印刷方法についてより具体的に説明する。
図２２は、本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
最初に、インクをインクタンクに供給する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、まず、インクタンクからサブタンクへインクを送液する。そして、サブタンクからインクジェットヘッド４０にインクを供給する。
なお、インクの供給に際しては、洗浄液からインクに置換する。洗浄液を窒素ガスでインクジェットヘッド４０から出した後、インクを供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、インクの供給は洗浄液から置換することが好ましい。

【0113】

洗浄液をインクジェットヘッド４０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じてインクジェットヘッド４０の交換を行う。
洗浄液からインクに置換に際しては、例えば、サブタンク５０の洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンク５０にインクを入れ、インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流す。次に、サブタンク５０のインクを下限まで減らす。インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流し、サブタンク５０のインクを下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液をインクに置換する。

【0114】

次に、アライメントを実施する（ステップＳ１２）。
この場合、インクジェットヘッド４０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜Ｃをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。
次に、Ｘ方向の絶対距離を求める。この場合、例えば、アライメントマークＡ、Ｂがアライメントカメラ４２の視野のＸ方向で同じ位置になったときのキャリッジ４６位置（リニアスケール読み取り値）から算出する。
次に、Ｙ方向の絶対距離を求める。この場合、アライメントマークＡ、Ｃのアライメントマークがアライメントカメラ４２の視野のＹ方向で同じ位置になったときの測定部１６ａから出力される版胴２４の回転位置情報から算出する。なお、Ｙ方向は距離ではなく角度でのアライメント調整になる。

【0115】

次に、インクジェットヘッド４０と印刷版２５との相対的な傾きを求める。この場合、傾き角度θを求める。アライメントマークＡ，ＢのＸ方向位置だけでなく、Ｙ方向についてもずれを計測する。アライメントカメラ４２の視野のＹ方向も同じになったときの測定部１６ａから出力される版胴２４の回転位置情報からＹ方向のずれを算出して、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから傾き角度θを算出する。あるいは、カメラの視野内でのＹ方向のずれから傾き角度θを算出することもできる。
また、アライメントマークＡ〜Ｃの位置情報から、印刷版２５の版胴２４に対する取り付け位置情報を得る。すなわち、どのように印刷版２５が版胴２４に取り付けられているかの情報を得る。そして、印刷版２５の傾き角度αを求める。例えば、角度αは、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから算出することができる。

【0116】

上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θと、記憶部１４に記憶された印刷するパターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、傾き角度θに基づくパターンデータの回転処理を行い、パターンデータを補正する。補正されたパターンデータに必要に応じて印刷版２５の傾き補正を行う。

【0117】

次に、インクの吐出タイミングを確認する（ステップＳ１４）。
ステップＳ１４では、位置合せエリアＭ_１〜Ｍ_３のマーク９０に対して、インクジェットヘッド４０からインクを吐出し、ドット９２を得る。次に、読取部４７でマーク９０の位置情報とマーク９０に対して吐出されたインクの複数のドット９２の位置情報、すなわち、インクの着滴位置の位置情報を取得する。そして、版胴２４の回転方向におけるマーク９０の位置とドット９２の位置の差を求め、マーク９０の位置とドット９２の位置の差のデータを得る。なお、吐出タイミングを確認するステップＳ１４が取得工程に相当する。

【0118】

次に、調整部１６ｂで版胴２４の回転方向におけるマーク９０の位置とドット９２の位置の差のデータに基づき、インクの吐出タイミングを調整する（ステップＳ１６）。
ステップＳ１６では、調整部１６ｂで、上述のインキングする長さに対して誤差が最も小さくなるインクの吐出タイミングを求めて、インクの吐出タイミングが調整された補正吐出タイミングデータが作成される。吐出タイミングの調整には、例えば、特開２００５−２４６１２３号公報の手法を用いることができる。なお、吐出タイミングを調整するステップＳ１６が調整工程に相当する。

【0119】

次に、インクジェットヘッド４０の吐出確認を行う（ステップＳ１８）。
この場合、テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。
テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上のインクをアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。
印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこにインクを打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこにインクを打滴してもよい。
吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。

【0120】

なお、吐出確認の結果が予め定められた範囲から外れていた場合、メンテナンス部３６にて回復動作を行うか、または、吐出制御部４３での吐出波形の最適化を行う。
吐出確認と合わせて、印刷版２５へ打滴したインクの着弾位置の情報を、アライメントカメラ４２を用いて取得する。調整ユニット１６において、着弾位置のずれを判定し、Ｘ方向、Ｙ方向、傾き角度θについて予め定められた範囲から外れている場合には、補正パターンデータの拡大縮小、回転等を再度調整する。

【0121】

次に、印刷版へのインキングを行う（ステップＳ２０）。
パターンデータまたは補正パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、調整されたインクの吐出タイミングで、インクジェットヘッド４０から予め定められた吐出波形でインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。例えば、版胴２４を４回回転させて、すなわち、４回走査してパターン領域にインクを付与する。この場合、走査１回毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。
スピットのタイミングは、印刷エリアにパターン形成した後であっても、印刷版１枚毎あってもよい。また、印刷版１００枚毎のようにある印刷枚数毎に、パージ、ワイプおよびスピットをメンテナンス部３６で実施し、さらに吐出確認を行うようにしてもよい。なお、印刷版へのインキングを行うステップＳ２０が吐出工程に相当する。

【0122】

次に、インキングされた印刷版２５を基板３１に転写する（ステップＳ２２）。
まず、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。
次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから印刷版２５を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された印刷版２５をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。

【0123】

本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の印刷装置および印刷方法について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0124】

１０ 印刷装置
１２ 印刷装置本体
１４ 記憶部
１６ 調整ユニット
１６ａ 測定部
１８ 制御部
２０ ケーシング
２２ 画像記録部
２４ 版胴
２５ 印刷版
２６ 版面観察部
３０ ステージ
３１ 基板
３２ 乾燥部
３４ クリーニング部
３６ メンテナンス部
３７ 測定器
４０ インクジェットヘッド
４２ アライメントカメラ
４３ 吐出制御部
４４ レーザ変位計
４６ キャリッジ
４７ 読取部
４８ リニアモータ
４９ 回動部
５０、５８ サブタンク
７６ 吐出観察部
７８ ノズル観察部
９０ マーク
９２ ドット
Ａ〜Ｄ アライメントマーク
Ｇ スピットエリア
Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３ 位置合せエリア
Ｔ 吐出確認エリア
Ｇ_１１、Ｇ_１２、Ｇ_２１、Ｇ_２２、Ｇ_３１、Ｇ_３２ 印刷エリア
９４ａ，９４ｂ、９４ｃ、９４ｄ、９４ｅ、 マーク
９６ａ，９６ｂ、９６ｃ、９６ｄ、９６ｅ、１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ マーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】