発明の名称 任意のイットリア被覆層を有するAlONコーティングされた基体
出願人 インテグリス・インコーポレーテッド (識別番号 505307471)
特許公開件数ランキング 300 位(103件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 338 位(76件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6404381
公報発行日 2018年10月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6404381
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