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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6408936
(24)【登録日】2018年9月28日
(45)【発行日】2018年10月17日
(54)【発明の名称】めっき装置
(51)【国際特許分類】
C25D 21/00 20060101AFI20181004BHJP
C25D 17/10 20060101ALI20181004BHJP
C25D 7/12 20060101ALI20181004BHJP
【ＦＩ】
C25D21/00 J
C25D17/10 A
C25D7/12
【請求項の数】6
【全頁数】15
(21)【出願番号】特願2015-43306(P2015-43306)
(22)【出願日】2015年3月5日
(65)【公開番号】特開2016-160521(P2016-160521A)
(43)【公開日】2016年9月5日
【審査請求日】2017年11月7日
(73)【特許権者】
【識別番号】000000239
【氏名又は名称】株式会社荏原製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100091498
【弁理士】
【氏名又は名称】渡邉 勇
(74)【代理人】
【識別番号】100118500
【弁理士】
【氏名又は名称】廣澤 哲也
(72)【発明者】
【氏名】木村 誠章
(72)【発明者】
【氏名】矢作 光敏
【審査官】
萩原 周治
(56)【参考文献】
【文献】
特開２０１４−１８５３７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】
実開昭５４−１１６５１９（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開２０１４−２３７８６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−１５５７２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−１５５７２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１３−１２２０９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
米国特許出願公開第２０１４／０３６０８６５（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｃ２５Ｄ ５／００−７／１２
Ｃ２５Ｄ １７／００−２１／２２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
めっき槽と、
基板を保持するための基板ホルダと、
アノードを保持したアノードホルダと、
前記基板ホルダに保持された基板上の電位分布を調整する調整板と、
前記基板ホルダと前記アノードホルダと前記調整板を前記めっき槽内で位置決めするためのフレームを有し、
前記フレームは、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部を支持する支持台と、
前記支持台に固定された箱体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部と前記支持台との相対位置を固定する上側位置決め構造体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の下部と前記箱体との相対位置を固定する下側位置決め構造体とを備えていることを特徴とするめっき装置。
基板を保持するための基板ホルダと、
アノードを保持したアノードホルダと、
前記基板ホルダに保持された基板上の電位分布を調整する調整板と、
前記基板ホルダと前記アノードホルダと前記調整板を前記めっき槽内で位置決めするためのフレームを有し、
前記フレームは、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部を支持する支持台と、
前記支持台に固定された箱体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部と前記支持台との相対位置を固定する上側位置決め構造体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の下部と前記箱体との相対位置を固定する下側位置決め構造体とを備えていることを特徴とするめっき装置。
【請求項2】
前記上側位置決め構造体は前記支持台に設けられ、前記下側位置決め構造体は前記箱体に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項3】
前記上側位置決め構造体は、前記基板ホルダに形成された位置決め孔に挿入される位置決め突起を少なくとも含むことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項4】
前記支持台は金属から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項5】
前記箱体は、前記支持台に支持されている前記アノードホルダおよび前記調整板を囲む形状を有していることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項6】
前記箱体は電場を遮ることができる材料から構成されていることを特徴とする請求項５に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェハ等の基板をめっきするめっき装置に関し、特にアノード、電場調整板、および基板を一直線上に整列させることができるめっき装置に関する。
【背景技術】
【0002】
電解めっきは、ウェハ等の基板とアノードとの間に電圧を印加して基板の表面に金属膜を形成する技術である。電解めっきを行う電解めっき装置について図１７を参照して説明する。図１７に示すように、めっき装置は、めっき液を内部に保持するめっき槽１０１と、めっき槽１０１内に配置されたアノード１０２と、アノード１０２を保持するアノードホルダ１０３と、基板Ｗを保持する基板ホルダ１０４とを備えている。アノード１０２および基板Ｗは、めっき液中で互いに対向するように配置される。
【0003】
めっき装置は、基板Ｗ上の電位分布を調整する調整板（レギュレーションプレート）１０６をさらに備えている。調整板１０６は、基板Ｗとアノード１０２との間に配置されており、アノード１０２から基板Ｗへ流れる電流の通過を許容する開口１０６ａを有している。
【0004】
アノード１０２はアノードホルダ１０３を介して電源１０７の正極に接続され、基板Ｗは基板ホルダ１０４を介して電源１０７の負極に接続される。アノード１０２と基板Ｗとの間に電圧を印加すると、電流はアノード１０２から調整板１０６の開口１０６ａを通って基板Ｗに流れ、基板Ｗの表面に金属膜が形成される。
【0005】
金属膜の膜厚を均一にするためには、アノード１０２、基板Ｗ、および調整板１０６を互いに平行に、かつアノード１０２、基板Ｗ、および調整板１０６の開口１０６ａのそれぞれの中心が一直線上に並ぶようにアノードホルダ１０３、基板ホルダ１０４、および調整板１０６を設置することが重要である。そこで、めっき槽１０１の上方には、アノードホルダ１０３、基板ホルダ１０４、および調整板１０６の上部を保持する位置決め保持部材１０８が設けられている。
【0006】
しかしながら、位置決め保持部材１０８はアノードホルダ１０３、基板ホルダ１０４、および調整板１０６の重量により変形することがある。その結果、アノード１０２、基板Ｗ、および調整板１０６が傾き、さらにはアノード１０２、基板Ｗ、および調整板１０６の開口１０６ａの中心が一直線上に整列しないことがある。近年では基板Ｗ上に形成される金属膜の膜厚の均一性の向上が求められており、アノード１０２、基板Ｗ、および調整板１０６のより正確な位置決めが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２００９−１５５７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、アノード、基板、および調整板を互いに平行に、かつアノード、基板、および調整板の開口のそれぞれの中心が一直線上に並ぶように配置することができるめっき装置を提供することを目的する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一態様は、めっき槽と、基板を保持するための基板ホルダと、アノードを保持したアノードホルダと、前記基板ホルダに保持された基板上の電位分布を調整する調整板と、前記基板ホルダと前記アノードホルダと前記調整板を前記めっき槽内で位置決めするためのフレームを有し、前記フレームは、前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部を支持する支持台と、前記支持台に固定された箱体と、前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部と前記支持台との相対位置を固定する上側位置決め構造体と、前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の下部と前記箱体との相対位置を固定する下側位置決め構造体とを備えていることを特徴とするめっき装置である。
【0010】
本発明の好ましい態様は、前記上側位置決め構造体は前記支持台に設けられ、前記下側位置決め構造体は前記箱体に設けられていることを特徴とする。本発明の好ましい態様は、前記上側位置決め構造体は、前記基板ホルダに形成された位置決め孔に挿入される位置決め突起を少なくとも含むことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記支持台は金属から構成されていることを特徴とする。
【0011】
本発明の好ましい態様は、前記箱体は、前記支持台に支持されている前記アノードホルダおよび前記調整板を囲む形状を有していることを特徴とする。本発明の好ましい態様は、前記箱体は電場を遮ることができる材料から構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、支持台は箱体によって補強され、さらにアノードホルダ、基板ホルダ、および調整板の位置および角度は位置決め構造体によって固定される。したがって、フレームにセットされたアノードホルダ、基板ホルダ、および調整板は互いに平行となり、かつアノード、基板、および調整板の開口の中心が一直線上に並ぶ。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】めっき装置の一実施形態を示す側断面図である。
【図2】めっき装置のフレームの側面図である。
【図3】フレームの側断面図である。
【図4】フレームの平面図である。
【図7】アノードホルダ、調整板、および基板ホルダが、フレームの所定位置に設置された状態を示す側断面図である。
【図8】アノードホルダ、調整板、および基板ホルダが、フレームの所定位置に設置された状態を示す平面図である。
【図13】図１３（ａ）は、図８に示す第１の位置決めブロックおよび調整板のハンガ部の平面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）に示す第１の位置決めブロックおよび調整板のハンガ部を矢印Ｇで示す方向から見た図であり、図１３（ｃ）は図１３（ａ）に示す第１の位置決めブロックおよび調整板のハンガ部を矢印Ｈで示す方向から見た図である。
【図14】図１４（ａ）は、図８に示す第２の位置決めブロックおよび調整板のハンガ部の平面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）に示す第２の位置決めブロックおよび調整板のハンガ部を矢印Ｉで示す方向から見た図である。
【図15】図１５（ａ）および図１５（ｂ）は、調整板のハンガ部の下面と支持台の上面との間にスペーサが配置され、さらに調整板のハンガ部の端面と第１の位置決めブロックとの間にスペーサが配置された状態を示す図である。
【図16】調整板のハンガ部の下面と支持台の上面との間にスペーサが配置された状態を示す図である。
【図17】一般的なめっき装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、実施形態について図面を参照して説明する。図１は、めっき装置の一実施形態を示す側断面図である。めっき装置は、アノード１と、アノード１を保持するアノードホルダ２と、ウェハなどの基板Ｗを保持する基板ホルダ３と、基板Ｗ上の電位分布を調整する調整板４と、アノードホルダ２、基板ホルダ３、および調整板４を支持するフレーム６と、めっき液を内部に保持するめっき槽５０と、基板Ｗおよびアノード１との間に電圧を印加する電源５１とを備えている。アノード１と基板Ｗとはめっき槽５０内で互いに対向するように配置されている。
【0015】
調整板４は、アノードホルダ２と基板ホルダ３との間に配置される。調整板４は筒状部５を有しており、筒状部５にはアノード１から基板Ｗへ流れる電流の通過を許容する円形または鉛直方向に長い楕円形状の開口４ａが形成されている。調整板４は、筒状部５の先端が基板Ｗを向くようにアノード１と基板Ｗとの間に配置されている。
【0016】
フレーム６は、アノードホルダ２、調整板４、および基板ホルダ３を支持してこれらの位置および角度を固定するためのベース構造体（支持構造体）である。より具体的には、アノード１を保持したアノードホルダ２、基板Ｗを保持した基板ホルダ３、および調整板４がフレーム６上に設置されたときに、アノード１、基板Ｗ、および調整板４が互いに平行に配置され、かつアノード１、基板Ｗ、および調整板４の開口４ａのそれぞれの中心が一直線上に並ぶ。
【0017】
フレーム６はめっき槽５０内に配置されている。アノードホルダ２および調整板４は、めっき液がめっき槽５０内に供給される前にフレーム６にセットされる。基板Ｗを保持した基板ホルダ３は、めっき液がめっき槽５０内に供給された後に、すなわち基板Ｗをめっきする直前にフレーム６にセットされる。
【0018】
基板Ｗのめっきは次のようにして行われる。アノード１、基板Ｗ、および調整板４がめっき液に浸漬された状態で、電源５１によりアノード１と基板Ｗとの間に電圧が印加される。電流はアノード１から調整板４の開口４ａを通って基板Ｗに流れ、基板Ｗの表面に金属が堆積される。アノード１と基板Ｗとの間に形成される電場は、調整板４によって制限される。
【0019】
次に、フレーム６について図２乃至図１６を参照して説明する。図２はフレーム６の側面図であり、図３はフレーム６の側断面図である。図４はフレーム６の平面図である。図５は図２の矢印Ａで示す方向から見た図、図６は図２の矢印Ｂで示す方向から見た図である。フレーム６は、アノードホルダ２、基板ホルダ３、および調整板４の上部が置かれる２つの支持台１０，１０を備えている。これら支持台１０，１０は互いに平行にかつ水平に延びている。支持台１０，１０の両端部はブリッジ１１Ａ，１１Ｂによって互いに連結されている。
【0020】
支持台１０，１０およびブリッジ１１Ａ，１１Ｂはチタン（Ｔｉ）などの金属から構成されており、支持台１０，１０およびブリッジ１１Ａ，１１Ｂは堅固な構成を有している。したがって、アノード１を保持したアノードホルダ２、基板Ｗを保持した基板ホルダ３、および調整板４が支持台１０，１０上に置かれたときに、支持台１０，１０は実質的に撓まない。
【0021】
フレーム６は、アノードホルダ２および調整板４を囲む形状の箱体７を有している。この箱体７は、電場の漏れを防止するための囲い壁であり、電場を遮ることができる材料から構成されている。箱体７の上端は支持台１０，１０に固定されている。箱体７は、アノードホルダ２の背面側に位置する端壁７ａと、アノードホルダ２および調整板４の側方に位置する側壁７ｂ，７ｂと、アノードホルダ２および調整板４の下方に位置する底壁７ｃと、端壁７ａと平行に配置された遮蔽壁８とを備えている。
【0022】
側壁７ｂ，７ｂは支持台１０，１０の長手方向に延びており、側壁７ｂ，７ｂの上端は支持台１０，１０にそれぞれ固定されている。端壁７ａ、側壁７ｂ，７ｂ、および遮蔽壁８は、支持台１０，１０から下方に、すなわち鉛直方向に延びている。底壁７ｃは、支持台１０，１０と平行に、すなわち水平方向に延びている。端壁７ａおよび遮蔽壁８は、互いに対向して配置されている。端壁７ａの両側部および遮蔽壁８の両側部は、側壁７ｂ，７ｂに接続されている。端壁７ａ、側壁７ｂ，７ｂ、および遮蔽壁８の下端は底壁７ｃに接続されている。底壁７ｃは遮蔽壁８からさらに外側に延びている。遮蔽壁８は、調整板４の筒状部５の外径よりもやや大きい直径の円形または鉛直方向に長い楕円形状の開口８ａを有している。
【0023】
箱体７はポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）やポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などの硬質の樹脂から構成されている。このように構成された箱体７は機械的強度が高く、変形しにくい構造体である。箱体７は支持台１０，１０に固定されているので、箱体７は支持台１０,１０を補強する役割を果たしている。
【0024】
支持台１０，１０の上面には、アノードホルダ２の水平方向の位置を固定するためのアノードホルダ位置決め突起１２，１２（以下、単に位置決め突起１２，１２という）がそれぞれ設けられている。同様に、調整板４の水平方向の位置を固定するための第１の位置決めブロック２２および第２の位置決めブロック２３が支持台１０，１０の上面にそれぞれ設けられており、さらに基板ホルダ３の水平方向の位置を固定するための基板ホルダ位置決め突起１３，１３（以下、単に位置決め突起１３，１３という）が支持台１０，１０の上面にそれぞれ設けられている。位置決め突起１２，１２および位置決め突起１３，１３としては、先端が細くなった位置決めピンを使用することができる。
【0025】
箱体７の底壁７ｃには、アノードホルダ２の水平面に対する角度を固定するためのアノードホルダストッパ４２，４２が設けられている。同様に、調整板４の水平面に対する角度を固定するための調整板ストッパ４４が底壁７ｃに設けられており、基板ホルダ３の水平面に対する角度を固定するための基板ホルダストッパ４３，４３が底壁７ｃに設けられている。
【0026】
図７は、アノードホルダ２、調整板４、および基板ホルダ３が、フレーム６の所定位置に設置された状態を示す側断面図であり、図８は、アノードホルダ２、調整板４、および基板ホルダ３が、フレーム６の所定位置に設置された状態を示す平面図である。図９は図８のＣ−Ｃ線断面図であり、図１０は図８のＤ−Ｄ線断面図であり、図１１は図８のＥ−Ｅ線断面図であり、図１２は図８のＦ−Ｆ線断面図である。
【0027】
アノードホルダ２は、外側にかつ水平に延びるハンガ部２ａ，２ａをその上部に有しており、このハンガ部２ａ，２ａが支持台１０，１０にそれぞれ置かれる。ハンガ部２ａ，２ａには、位置決め突起１２，１２にそれぞれ対応する位置に位置決め孔１７，１８が形成されている。アノードホルダ２のハンガ部２ａ，２ａは、位置決め突起１２，１２が位置決め孔１７，１８にそれぞれ挿入されるように支持台１０，１０に置かれる。
【0028】
位置決め孔１７は、位置決め突起１２が隙間なく嵌め込まれる形状を有している。これに対し、位置決め孔１８は長孔であり、位置決め突起１２，１２を結んだ直線（想像線）の方向に伸長した形状を有している。位置決め突起１２，１２が位置決め孔１７，１８に挿入されると、アノードホルダ２の上部と支持台１０，１０との相対位置が固定される。位置決め孔１８が長孔である理由は、位置決め突起１２，１２に保持されたときのアノードホルダ２の内部に応力が発生することを防止して、アノードホルダ２の変形を防止するためである。
【0029】
位置決め突起１２，１２が位置決め孔１７，１８に挿入されると同時に、アノードホルダ２の下部（より具体的には下端）はアノードホルダストッパ４２，４２に保持される。アノードホルダストッパ４２，４２は互いに平行に配置された突起部であり、箱体７の底壁７ｃに設けられている。
【0030】
アノードホルダストッパ４２，４２間の距離はアノードホルダ２の下部（下端）の厚さと実質的に同じである。したがって、アノードホルダ２の下部がアノードホルダストッパ４２，４２間の隙間に挿入されると、アノードホルダ２の下部と箱体７との相対位置が固定される。このようにアノードホルダ２の上部の位置が固定された状態で、アノードホルダ２の下部の位置が固定されるので、アノードホルダ２の水平面に対する角度が固定される。すなわち、アノードホルダ２は鉛直姿勢に保持される。
【0031】
基板ホルダ３は、外側にかつ水平に延びるハンガ部３ａ，３ａをその上部に有しており、このハンガ部３ａ，３ａが支持台１０，１０にそれぞれ置かれる。ハンガ部３ａ，３ａには、位置決め突起１３，１３にそれぞれ対応する位置に位置決め孔１５，１６が形成されている。基板ホルダ３のハンガ部３ａ，３ａは、位置決め突起１３，１３が位置決め孔１５，１６にそれぞれ挿入されるように支持台１０，１０に置かれる。
【0032】
位置決め孔１５は、位置決め突起１３が隙間なく嵌め込まれる形状を有している。これに対し、位置決め孔１６は長孔であり、位置決め突起１３，１３を結んだ直線（想像線）の方向に伸長した形状を有している。位置決め突起１３，１３が位置決め孔１５，１６に挿入されると、基板ホルダ３の上部と支持台１０，１０との相対位置が固定される。位置決め孔１６が長孔である理由は、位置決め突起１３，１３に保持されたときの基板ホルダ３の内部に応力が発生することを防止して、基板ホルダ３の変形を防止するためである。
【0033】
位置決め突起１３，１３が位置決め孔１５，１６に挿入されると同時に、基板ホルダ３の下部（より具体的には下端）は基板ホルダストッパ４３，４３に保持される。基板ホルダストッパ４３，４３は互いに平行に配置された突起部であり、箱体７の底壁７ｃに設けられている。
【0034】
基板ホルダストッパ４３，４３間の距離は基板ホルダ３の下部（下端）の厚さと実質的に同じである。したがって、基板ホルダ３の下部が基板ホルダストッパ４３，４３間の隙間に挿入されると、基板ホルダ３の下部と箱体７との相対位置が固定される。このように基板ホルダ３の上部の位置が固定された状態で、基板ホルダ３の下部の位置が固定されるので、基板ホルダ３の水平面に対する角度が固定される。すなわち、基板ホルダ３は鉛直姿勢に保持される。
【0035】
調整板４は、外側にかつ水平に延びるハンガ部４ｂ，４ｂをその上部に有しており、このハンガ部４ｂ，４ｂが支持台１０，１０にそれぞれ置かれる。より具体的には、ハンガ部４ｂ，４ｂが第１の位置決めブロック２２および第２の位置決めブロック２３にそれぞれ接触するように、調整板４のハンガ部４ｂ，４ｂが支持台１０，１０に置かれる。
【0036】
第１の位置決めブロック２２は、その上方から見たときにＬ字型形状を有している。より具体的には、第１の位置決めブロック２２は、調整板４のハンガ部４ｂの正面に沿って延びる第１ストッパブロック２２ａと、調整板４のハンガ部４ｂの端面に沿って延びる第２ストッパブロック２２ｂとを有したＬ字ブロックである。第１ストッパブロック２２ａと第２ストッパブロック２２ｂは垂直に接続されている。
【0037】
図１３（ａ）は、図８に示す第１の位置決めブロック２２および調整板４のハンガ部４ｂの平面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）に示す第１の位置決めブロック２２および調整板４のハンガ部４ｂを矢印Ｇで示す方向から見た図であり、図１３（ｃ）は図１３（ａ）に示す第１の位置決めブロック２２および調整板４のハンガ部４ｂを矢印Ｈで示す方向から見た図である。
【0038】
調整板４のハンガ部４ｂは、ねじ３０によって第１ストッパブロック２２ａに固定されている。このねじ３０は、雄ねじ部３０ａおよびねじ頭部３０ｂを有している。調整板４のハンガ部４ｂには、雄ねじ部３０ａが挿入される雌ねじ（図示せず）が形成されている。第１ストッパブロック２２ａは、鉛直方向に延びる切り欠き２４を有しており、ねじ３０の雄ねじ部３０ａは切り欠き２４を通じて上記雌ねじ部に螺合される。切り欠き２４の幅は、雄ねじ部３０ａの直径よりも大きく、ねじ頭部３０ｂよりも小さい。
【0039】
調整板４のハンガ部４ｂは、さらに、ねじ３１によって第２ストッパブロック２２ｂに固定されている。このねじ３１は、雄ねじ部３１ａおよびねじ頭部３１ｂを有している。調整板４のハンガ部４ｂには、雄ねじ部３１ａが挿入される雌ねじ（図示せず）が形成されている。第２ストッパブロック２２ｂは、鉛直方向に延びる切り欠き２５を有しており、ねじ３１の雄ねじ部３１ａは切り欠き２５を通じて上記雌ねじ部に螺合される。切り欠き２５の幅は、雄ねじ部３１ａの直径よりも僅かに大きく、ねじ頭部３１ｂよりも小さい。
【0040】
図１４（ａ）は、図８に示す第２の位置決めブロック２３および調整板４のハンガ部４ｂの平面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）に示す第２の位置決めブロック２３および調整板４のハンガ部４ｂを矢印Ｉで示す方向から見た図である。第２の位置決めブロック２３は、板状のブロックであり、調整板４のハンガ部４ｂの正面に沿って延びている。第２の位置決めブロック２３は、第１の位置決めブロック２２の第１ストッパブロック２２ａと一直線上に並んでいる。
【0041】
調整板４のハンガ部４ｂは、ねじ３２によって第２の位置決めブロック２３に固定されている。このねじ３２は、雄ねじ部３２ａおよびねじ頭部３２ｂを有している。調整板４のハンガ部４ｂには、雄ねじ部３２ａが挿入される雌ねじ（図示せず）が形成されている。第２の位置決めブロック２３は、鉛直方向に延びる切り欠き２６を有しており、ねじ３２の雄ねじ部３２ａは切り欠き２６を通じて上記雌ねじ部に螺合される。切り欠き２６の幅は、雄ねじ部３２ａの直径よりも大きく、ねじ頭部３２ｂよりも小さい。
【0042】
調整板４は、その筒状部５が遮蔽壁８の開口８ａ内に挿入されるように、フレーム６上に設置される。調整板４のハンガ部４ｂ，４ｂは位置決めブロック２２，２３にねじ３０，３１，３２により固定され、これにより調整板４の上部と支持台１０，１０との相対位置が固定される。
【0043】
調整板４のハンガ部４ｂ，４ｂが支持台１０，１０にそれぞれ置かれると同時に、調整板４の下部（より具体的には下端）が調整板ストッパ４４および遮蔽壁８に保持される。調整板ストッパ４４は遮蔽壁８と平行に配置された突起部であり、遮蔽壁８の下端に隣接して箱体７の底壁７ｃ上に配置されている。
【0044】
調整板ストッパ４４と遮蔽壁８との間の距離は調整板４の下部（下端）の厚さと実質的に同じである。したがって、調整板４の下部が調整板ストッパ４４と遮蔽壁８との間の隙間に挿入されると、調整板４の下部と箱体７との相対位置が固定される。調整板４の上部の位置が固定された状態で、調整板４の下部の位置が固定されるので、調整板４の水平面に対する角度が固定される。すなわち、調整板４は鉛直姿勢に保持される。
【0045】
ねじ３０の雄ねじ部３０ａと切り欠き２４との間、およびねじ３２の雄ねじ部３２ａと切り欠き２６との間との間には隙間が形成されている。よって、調整板４の水平方向の位置は、雄ねじ部３０ａ，３２ａと切り欠き２４，２６との間のクリアランスの範囲内で微調整することが可能となっている。さらに、切り欠き２４，２５，２６は鉛直方向に延びているので、調整板４の鉛直方向の微調整も可能である。
【0046】
図１５（ａ）および図１５（ｂ）は、調整板４のハンガ部４ｂの下面と支持台１０の上面との間にスペーサ３６が配置され、さらに調整板４のハンガ部４ｂの端面と第１の位置決めブロック２２との間にスペーサ３７が配置された状態を示す図である。図１６は、調整板４のハンガ部４ｂの下面と支持台１０の上面との間にスペーサ３８が配置された状態を示す図である。スペーサ３６，３７，３８を使用して、図１５（ａ）、図１５（ｂ）、および図１６に示すように、調整板４の鉛直方向および水平方向の位置を微調整することが可能である。調整板４の位置の微調整は、例えば、めっきを行う基板のパターン配置に応じて電位分布を最適化する場合などに行われる。遮蔽壁８の開口８ａの直径は、調整板４の筒状部５の外径よりも大きいので、調整板４の位置の調整は遮蔽壁８によって阻害されない。
【0047】
図１に示すように、アノードホルダ２および調整板４は、フレーム６の箱体７内に配置され、基板ホルダ３は箱体７の外に配置される。めっき液がめっき槽５０内に保持されている状態でアノード１と基板Ｗとの間に電圧を印加したとき、電流はアノード１から調整板４の開口４ａを通って基板Ｗに流れる。箱体７は電場を遮るように構成されているので、調整板４の開口４ａ以外に電場が漏れることがない。よって、調整板４はその開口４ａの大きさに依存して電場を調整することができる。
【0048】
箱体７は支持台１０，１０に固定されている。箱体７は堅牢な構造体であるので、支持台１０，１０は箱体７によって補強され、支持台１０，１０の機械的強度が向上する。さらに、支持台１０，１０は変形しにくい金属から形成されている。したがって、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４がフレーム６に設置されたときに、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４の重みによって支持台１０，１０が撓むことはなく、フレーム６はアノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４を安定して支持することができる。
【0049】
アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４がフレーム６に設置されるとき、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４のそれぞれの上部の位置は位置決め突起１２，１３および位置決めブロック２２，２３によって固定され、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４のそれぞれの下部の位置はアノードホルダストッパ４２，基板ホルダストッパ４３，調整板ストッパ４４によって固定される。位置決め突起１２，１３および位置決めブロック２２，２３は、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４の上部の位置を固定する上側位置決め構造体を構成し、アノードホルダストッパ４２，基板ホルダストッパ４３，調整板ストッパ４４は、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４の下部の位置を固定する下側位置決め構造体を構成する。
【0050】
位置決め突起１２，１３、位置決めブロック２２，２３、ストッパ４２，４３，４４は、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４が互いに平行に、かつアノード１，調整板４の開口４ａ、および基板Ｗの中心が一直線上に並ぶ位置に予め設置されている。したがって、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４をフレーム６に設置するだけで、アノードホルダ２，基板ホルダ３，および調整板４の正確な位置決めが完了する。
【0051】
フレーム６がめっき槽５０に設置された後、アノードホルダ２および調整板４はフレーム６に設置される。そして、めっき槽５０にめっき液が供給された後に基板ホルダ３がフレーム６に設置される。アノード１と基板Ｗとの間に電圧が印加され、基板Ｗの表面に均一な厚さの金属膜が形成される。
【0052】
基板Ｗのめっきが終了すると、基板Ｗを保持した基板ホルダ３は搬送装置（図示しない）によってめっき槽５０から取り出される。フレーム６の位置決め突起１３，１３は基板ホルダ３の孔１５，１６に挿入されているだけであるので、基板ホルダ３の引き上げにより、基板ホルダ３をフレーム６から容易に取り外すことができる。基板ホルダ３が取り出された後、別の基板を保持した別の基板ホルダ３がフレーム６にセットされる。
【0053】
アノードホルダ２も基板ホルダ３と同様の仕組みでフレーム６にセットされている。したがって、アノードホルダ２の引き上げにより、アノードホルダ２をフレーム６から容易に取り外すことができ、アノードホルダ２の下降により、アノードホルダ２をフレーム６に容易にセットすることができる。
【0054】
上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。
【符号の説明】
【0055】
１,１０２ アノード２,１０３ アノードホルダ
３,１０４ 基板ホルダ
３ａ ホルダハンガ
４,１０６ 調整板
５ 筒状部
６ フレーム
７ 箱体
７ａ 端壁
７ｂ 側壁
７ｃ 底壁
８ 遮蔽壁
１０ 支持台
１１Ａ，１１Ｂ ブリッジ
１２，１３ 位置決め突起
１５，１７ 位置決め孔
１６，１８ 位置決め孔（長孔）
２２ 第１の位置決めブロック
２２ａ 第１ストッパブロック
２２ｂ 第２ストッパブロック
２３ 第２の位置決めブロック
２４，２５，２６ 切り欠き
３０，３１，３２ ねじ
３０ａ，３１ａ，３２ａ 雄ねじ部
３０ｂ，３１ｂ，３２ｂ ねじ頭部
３６，３７，３８ スペーサ
４２ アノードホルダストッパ
４３ 基板ホルダストッパ
４４ 調整板ストッパ
５０,１０１ めっき槽
５１，１０７ 電源