特許6411692基板検査システム

発明の名称　基板検査システム

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）

出願人　日邦プレシジョン株式会社　（識別番号 599126017）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6411692

公報発行日　2018年10月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6411692

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