特許第6426538号(P6426538)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6426538アルキルアルコキシシラ環状化合物及びそれを用いた膜の堆積方法
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  • 特許6426538-アルキルアルコキシシラ環状化合物及びそれを用いた膜の堆積方法 図000016
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