特許6426602極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法

発明の名称　極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 467 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 736 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6426602

公報発行日　2018年11月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6426602

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