特許6429170堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート

発明の名称　堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（235件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6429170

公報発行日　2018年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6429170

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6429170「堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録