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特許6429170堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート
発明の名称 堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 26 位（237件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 60 位（126件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6429170
公報発行日 2018年11月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6429170
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