特許6429171ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット

発明の名称　ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 492 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6429171

公報発行日　2018年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6429171

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