特許6429352ルテニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

発明の名称　ルテニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

出願人　株式会社ＡＤＥＫＡ　（識別番号 387）

　　　　特許公開件数ランキング 556 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 333 位（34件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6429352

公報発行日　2018年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6429352

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6429352「ルテニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録