技術分野
少なくとも1個又は複数個のイオンの質量選択判定装置に関する。本発明の装置は、特に、少なくとも1個又は複数個のイオンを判定するために機能するものである。本発明に係る装置は、例えば、イオントラップを備える粒子ビーム機器に使用される。イオンは、電界又は磁界によってイオントラップ内に蓄積されるものである。イオントラップ内に蓄積されたこれらイオンは、質量分析法によって検査することができる。この場合の検査は、例えば、イオンに作用する電界及び磁界の種類や強度に応じて行われる。代替的には、特定の質量を有するイオンは、電界及び磁界を変化させることにより、推測し分析することができる。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
従って、本発明の課題は、補償電流と、合成信号の後発的なフィルタリングとによって、クロストーク電流の補償をより容易に行うことのできるイオンの質量選択判定装置を提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、この課題は、請求項1の特徴を有すると共に、少なくとも1個又は複数個のイオンの質量選択判定装置によって解決される。このような装置を備える測定機器は、請求項14の特徴を有する。本発明の更なる特徴は、以下の記載、添付の特許請求の範囲及び/又は添付図面のとおりである。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】電子ビームカラム及びイオンを発生させるためのイオン発生ユニットを備える測定機器を示す第1概略図である。
【図2】図1に係る測定機器の実施形態を正面図として示す第2概略図である。
【図3】粒子分析装置を示す概略図である。
【図4】イオントラップの蓄積セルを示す概略断面図である。
【図5】図4に係るイオントラップを制御及び測定ユニットと共に示す詳細図である。
1 測定機器
2 第1ビームカラム
3 第2ビームカラム
4 第1光軸
5 第2光軸
6 第2ビーム発生器
7 第1電極
8 第2電極
9 第3電極
10 ビームガイド管
11 コリメータアセンブリ
12 第1環状コイル
13 ヨーク
14 ピンホール絞り
15 検出器
16 対象物
17 中央開口
18 第2対物レンズ
19 磁気レンズ
20 静電レンズ
21 第2環状コイル
22 内側磁極片
23 外側磁極片
24 ビームガイド管の端部
25 終端電極
26 走査ユニット
27 第1ビーム発生器
28 抽出電極
29 コリメータ
30 可変絞り
31 第1対物レンズ
32 走査電極
49 試料チャンバ
1000 粒子分析装置
1001 試料チャンバの接続要素
1100 抽出ユニット
1200 エネルギ伝達装置
1300 イオン伝達ユニット
1400 分析ユニット
1401 環状電極
1402 第1端部キャップ電極
1403 第2端部キャップ電極
1404 蓄積セル
1405 第2内部空間(蓄積セル)
1406 開口
1407 第1軸線
1408 増幅器
1409 一次変圧器
1410 第1コンデンサ
1411 第1変圧器
1412 第2コンデンサ
1413 第2変圧器
1414 第1水晶フィルタユニット
1415 第2水晶フィルタユニット
1416 第1測定増幅器
1417 第1励起ユニット
1418 第1スイッチ
1419 第2スイッチ
1420 第1フィルタ
1421 第1信号増幅器
1422 第2測定増幅器
1423 第2励起ユニット
1424 第3スイッチ
1425 第4スイッチ
1426 第2フィルタ
1427 第2信号増幅器
1428 一次巻線
1429 第1二次巻線
1430 第2二次巻線
1431 第3二次巻線
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