特許6431096真空室用の閉鎖またはエアロック装置

発明の名称　真空室用の閉鎖またはエアロック装置

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 22 位（134件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 41 位（90件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6431096

公報発行日　2018年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6431096

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