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▶ キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイションの特許一覧
特許6434501酸化物および窒化物に選択的な高除去速度および低欠陥を有するＣＭＰ組成物
発明の名称 酸化物および窒化物に選択的な高除去速度および低欠陥を有するＣＭＰ組成物
出願人 キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション （識別番号 500397411）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6434501
公報発行日 2018年12月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6434501
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