特許6434985レーザ装置及び極端紫外光生成装置

発明の名称　レーザ装置及び極端紫外光生成装置

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 424 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 736 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6434985

公報発行日　2018年12月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6434985

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