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特許6440716周期的エッチング工程を用いたエッチング停止層のエッチング方法
発明の名称 周期的エッチング工程を用いたエッチング停止層のエッチング方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 26 位（237件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 60 位（126件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6440716
公報発行日 2018年12月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6440716
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