特許 6443222出願番号特願 2015-106600
蒸着材料およびその成形体

出願人日亜化学工業株式会社（識別番号 226057）

2026年特許公開件数ランキング 99位 241件（※）

2026年特許取得件数ランキング 125位 165件（※）

公報発行日　2018年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6443222　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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蒸着材料およびその成形体

しかしながら、Ｔａ_２Ｏ_５は比較的高価な材料であるため、その使用量はできるだけ低減することが望ましい。そこで、本発明は、屈折率変動幅が小さい光学薄膜を成膜することができる安価な蒸着材料を提供することを目的とする。

以上の目的を達成するために本発明の一形態は、ＺｒＯ２とＴａ２Ｏ５とＮｂ２Ｏ５とを含むことを特徴とする蒸着材料である。

【発明の効果】

本発明の一形態によれば、屈折率変動幅が小さい光学薄膜を成膜することができる安価な蒸着材料が提供される。

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