特許6445004セリアを含有する研磨粒子を含むＣＭＰ組成物

発明の名称　セリアを含有する研磨粒子を含むＣＭＰ組成物

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 144 位（74件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 223 位（43件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6445004

公報発行日　2018年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6445004

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