特許6445191静電チャック、および、プラズマ処理装置

発明の名称　静電チャック、および、プラズマ処理装置

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 535 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 626 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6445191

公報発行日　2018年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6445191

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