特許6446164残渣廃棄方法及びトリクロロシランの製造方法

発明の名称　残渣廃棄方法及びトリクロロシランの製造方法

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 277 位（115件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 270 位（107件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6446164

公報発行日　2018年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6446164

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