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特許6446590局所研磨加工方法、および局所研磨加工装置、並びに該局所研磨加工装置を用いた修正研磨加工装置
発明の名称 局所研磨加工方法、および局所研磨加工装置、並びに該局所研磨加工装置を用いた修正研磨加工装置
出願人 国立大学法人 東京大学 （識別番号 504137912）
特許公開件数ランキング 187 位（75件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 357 位（51件）（共同出願を含む）
出願人 夏目光学株式会社 （識別番号 594066637）
特許公開件数ランキング 12122 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 10056 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6446590
公報発行日 2018年12月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6446590
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