特許6451884ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスク

発明の名称　ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスク

出願人　旭硝子株式会社　（識別番号 44）

　　　　特許公開件数ランキング 118 位（263件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 66 位（341件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6451884

公報発行日　2019年1月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6451884

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