特許第6452098号(P6452098)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6452098大口径CZ単結晶の成長装置およびその成長方法
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  • 特許6452098-大口径CZ単結晶の成長装置およびその成長方法 図000002
  • 特許6452098-大口径CZ単結晶の成長装置およびその成長方法 図000003
  • 特許6452098-大口径CZ単結晶の成長装置およびその成長方法 図000004
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